图像对位区域选定方法及装置、设备及存储介质与流程

本申请涉及半导体检测，尤其涉及一种图像对位区域选定方法及装置、检测设备及计算机可读存储介质。

背景技术：

1、目前，晶圆表面检测主要采用光学检测技术，通过光学镜头实时拍摄晶圆表面图像，基于晶圆表面图像进行检测分析，以识别确定晶圆表面是否存在缺陷部位。

2、已知的对晶圆表面缺陷进行的检测方案，包括通过采集大量的晶圆表面图像进行分析，对晶圆表面可能出现的缺陷类型进行整理，确定出各缺陷类型对应的缺陷图像，在后续对晶圆进行缺陷检测的过程中，实时采集待检测的晶圆表面图像进行图像检测，以识别是否存在相应的缺陷图像而实现缺陷检测；然而，该种方式不仅需要大量样本来完善缺陷类型的整理，耗费大量人力，而且对于一些出现较少的缺陷类型容易漏检。

3、为了解决上述问题，已知的另一对晶圆表面缺陷进行检测的检测方案，包括采集无缺陷的晶圆表面图像作为标准图像，在对晶圆表面缺陷进行检测的过程中，通过将实时采集的晶圆表面图像与标准图像进行对比，以识别与标准图像之间的区别而确定是否存在缺陷部位。然而，该种方式中，将晶圆表面图像与标准图像进行对比之前，需要在标准图像中选择准确的对位区域，根据对位区域对晶圆表面图像和标准图像进行校准，以防止对晶圆图像进行实时采集过程中由于硬件成像精度造成的偏差，而影响后续对比检测的准确性，或者由于对位失败而影响检测效率。如此，如何实现高效、准确的对位区域的选定，是基于标准图像实现缺陷检测的重要环节。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本申请提供一种能够高效、准确地实现对位区域选择且降低对位区域选择难度的图像对位区域选定方法及装置、检测设备及计算机可读存储介质。

2、为达到上述目的，本申请实施例的技术方案是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提供一种图像对位区域选定方法，包括：

4、获取目标对位区域的尺寸设置参数；

5、对当前待选图像进行图像滤波得到滤波图像，根据所述当前待选图像和滤波图像得到差分图像；

6、根据所述尺寸设置参数确定滑动窗口，基于所述滑动窗口遍历所述差分图像，获得所述滑动窗口在各个移动步对应的图像区域的特征值；

7、根据所述图像区域的特征值，选择满足预设条件的目标图像区域作为推荐对位区域。

8、第二方面，本申请实施例提供一种图像对位区域选定装置，包括：

9、获取模块，用于获取目标对位区域的尺寸设置参数；

10、差分模块，用于对当前待选图像进行图像滤波得到滤波图像，根据所述当前待选图像和滤波图像得到差分图像；

11、特征模块，用于根据所述尺寸设置参数确定滑动窗口，基于所述滑动窗口遍历所述差分图像，获得所述滑动窗口在各个移动步对应的图像区域的特征值；

12、推荐模块，用于根据所述图像区域的特征值，选择满足预设条件的目标图像区域作为推荐对位区域。

13、第三方面，本申请实施例提供一种检测设备，包括处理器及存储器，所述存储器内存储有可被所述处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现本申请任一实施例所述的图像对位区域选定方法。

14、第四方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被控制器执行时实现本申请任一实施例所述的图像对位区域选定方法。

15、本申请上述实施例提供的图像对位区域选定方法，通过对当前待选图像进行滤波，根据当前待选图像滤波前后的图像计算差分图像，按照目标对位区域的尺寸设置参数设计滑动窗口，通过滑动窗口对差分图像进行遍历，计算滑动窗口在各个移动步对应的图像区域的特征值，根据各图像区域的特征值来筛选满足预设条件的目标图像区域作为推荐对位区域，如此，通过利用图像滤波计算差分图像以及通过遍历当前待选图像计算图像特征值，从而可以将当前待选图像中特征纹理更加丰富且非重复单元的图像区域筛选出来作为推荐对位区域，不仅可以高效、准确地自动选择出最适合的推荐对位区域，降低用户选择对位区域的难度，而且可以避免对位区域选择不佳而导致影响后续对比检测的准确性，也避免对位失败而影响检测效率。

16、上述实施例中，图像对位区域选定装置、检测设备及计算机可读存储介质与对应的图像对位区域选定方法实施例属于同一构思，从而分别与对应的图像对位区域选定方法实施例具有相同的技术效果，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种图像对位区域选定方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述对当前待选图像进行图像滤波得到滤波图像，根据所述当前待选图像和滤波图像得到差分图像，包括：

3.如权利要求2所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述基于所述高斯滤波参数，计算所述当前待选图像中各像素点对应的滤波权重值，包括：

4.如权利要求1所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述根据所述尺寸设置参数确定滑动窗口，基于所述滑动窗口遍历所述差分图像，获得所述滑动窗口在各个移动步对应的图像区域的特征值，包括：

5.如权利要求4所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述根据所述滑动窗口在各个移动步对应的图像区域内像素点的灰度值，计算对应所述图像区域的特征值，包括：

6.如权利要求5所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述基于所述滑动窗口按照设置步长遍历所述差分图像，包括：

7.如权利要求1所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，所述根据所述图像区域的特征值，选择满足预设条件的目标图像区域作为推荐对位区域，包括：

8.如权利要求7所述的图像对位区域选定方法，其特征在于，还包括：

9.一种图像对位区域选定装置，其特征在于，包括：

10.一种检测设备，其特征在于，包括处理器及存储器，所述存储器内存储有可被所述处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的图像对位区域选定方法。

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被控制器执行时实现如权利要求1至8中任一项所述的图像对位区域选定方法。

技术总结本申请提供一种图像对位区域选定方法及装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取目标对位区域的尺寸设置参数；对当前待选图像进行图像滤波得到滤波图像，根据所述当前待选图像和滤波图像得到差分图像；根据所述尺寸设置参数确定滑动窗口，基于所述滑动窗口遍历所述差分图像，获得所述滑动窗口在各个移动步对应的图像区域的特征值；根据所述图像区域的特征值，选择满足预设条件的目标图像区域作为推荐对位区域。技术研发人员：陈鲁,肖遥,张鹏斌,张嵩受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/16