一种用于半导体加工的石英管清洗机的制作方法

本发明涉及半导体加工，尤其是涉及一种用于半导体加工的石英管清洗机。

背景技术：

1、石英管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料，石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，用于半导体加工的石英管在使用后，需要对其清洗，这就使用到石英管清洗机；

2、现有技术中的石英管清洗机，将石英管固定在夹持组件上，通过第二喷淋头对石英管内壁进行冲洗，通过第一喷淋头对石英管外壁进行清洗，启动电机，电机通过传动组件带动毛刷上升，毛刷进入石英管内部，同时电机通过传动组件带动夹持组件转动，这样毛刷就可以对石英管内壁进行刷洗，同时，电机也通过传动组件带动第一喷淋头上升运动，然后配合夹持组件的转动，石英管的外壁和内壁每个角度都会被清洗到，同时因为毛刷对内壁刷洗，使得内壁不会出现清洗不干净的问题；

3、但是在清洗的过程中，需要人工将待清洗的石英管一端插进夹持板中，利用夹持板对石英管进行夹紧固定，这就导致夹持板与石英管接触的部分位置无法被第一喷淋头冲洗，需要人工重新拆下石英管，将石英管的另一端插进夹持板中夹持中，再利用第一喷淋头对石英管上剩下部分进行清洗，这样操作费时、费力，还降低了工作效率，因此，存在有可改进之处。

技术实现思路

1、为了解决上述背景技术中提出的问题，本发明提供一种用于半导体加工的石英管清洗机。

2、本发明提供的一种用于半导体加工的石英管清洗机采用如下的技术方案：

3、一种用于半导体加工的石英管清洗机，包括清洗箱，所述清洗箱上面左侧处通过调节结构设置有上料结构，所述清洗箱上面右侧位置处设置有输送结构，所述清洗箱内设置有外部清洗结构，所述清洗箱后侧面上方中间处安装有固定架，所述固定架上安装有升降转移结构，所述升降转移结构上安装有l形板，所述l形板上靠近两端的位置处均设置有夹紧结构，所述l形板的上面处通过螺栓紧固有u形板，所述u形板上设置有更换结构；

4、所述夹紧结构包括开设在l形板上靠近两端位置处的第一开口，每个所述第一开口的两侧内壁之间分别连接有两根转轴，每根所述转轴上的一端处固定的套设有第六齿轮，每根所述转轴的另一端处固定的套设有转柄，每根所述转柄的底端处均连接有连接条，所述连接条的一端上安装有夹片，每根所述第一开口内的中间处均穿过有带动条，所述带动条的两侧面上均设置有与第六齿轮啮合连接的齿牙；

5、所述更换结构包括连接在带动条顶端上的升降条，所述升降条活动的穿过u形板，远离所述固定架的一根升降条的顶端上连接有第一更换板，所述第一更换板上开设有第一引导槽，另一根所述升降条的顶端上连接有第二更换板，所述第二更换板上开设有第二引导槽和第三引导槽，所述第二引导槽与第三引导槽之间相互连通，所述第一引导槽、第二引导槽和第三引导槽均呈类“z”形状，所述第一更换板和第二更换板下面远离升降条的一端处均连接有贯穿条，所述u形板上开设有供贯穿条穿过的第二开口，所述l形板上的顶端位置处安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆输出轴的一端上安装有带动块，所述带动块上连接有贯穿框，所述贯穿框穿过第一引导槽和第二引导槽。

6、优选的，所述升降转移结构包括活动的套设在固定架上的升降座，所述固定架的顶端上安装有气缸，所述气缸输出轴的底端连接在升降座上，所述升降座的正面处安装有导轨，所述导轨上滑动设置有移动座，所述导轨上的一端处安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆输出轴的一端连接在移动座上，所述l形板通过螺栓紧固在移动座上。

7、优选的，所述上料结构包括设置在清洗箱上面左侧位置处的上料框，所述上料框前后两侧面靠近固定架的一侧位置处均开设有第三开口，所述上料框上面靠近固定架一端的中间处安装有遮挡块，所述上料框上面前后两侧边沿处均连接有遮挡板。

8、优选的，所述调节结构包括连接在清洗箱上面左侧边沿中间位置处的第二固定块，所述清洗箱上面处于上料框右端下方的位置处连接有第一固定块，所述第一固定块上转动设置有u形杆，所述u形杆的顶端固定连接在上料框上，所述第一固定块靠近第二固定块一侧面的中间处转动连接有第一螺杆，所述第一螺杆转动穿过第二固定块，所述第一螺杆上套有移动块，所述移动块上开设有供第一螺杆穿过的螺纹槽，所述第一螺杆远离第一固定块的一端上安装有转轮，所述移动块的顶端上转动连接有曲杆，所述曲杆的顶端转动连接在上料框上。

9、优选的，所述输送结构包括安装在清洗箱上面右侧位置处的输送台，所述输送台前后两侧内壁的两端位置处均转动穿过有转杆，所述转杆上靠近两端位置处均套紧有皮带，两根所述皮带相互靠近的一侧面上分别连接有多根等间距分布的下料杆，每组两根所述下料杆相互靠近的一端之间均连接有下料板，所述下料板的上面呈凹弧形面，所述输送台正面右端位置处安装有第一电机，所述第一电机输出轴的一端与对应转杆的一端连接。

10、优选的，所述外部清洗结构包括安装在清洗箱正面中间处的第二电机，所述第二电机输出轴插进清洗箱内的一端上连接有第二螺杆，所述第二螺杆的一端转动连接在清洗箱后侧内壁上，所述第二螺杆上套设有移动套，所述移动套内壁上设置有供第二螺杆穿过的螺纹，所述移动套上的通孔中活动的穿过有限位杆，所述限位杆的两端分别连接在清洗箱的前后两侧内壁上，所述移动套的上方位置处连接有连接块，所述连接块的顶端安装有固定套，所述固定套内活动的套设有清洗套，所述清洗套的内壁上设置有刷毛，所述连接块上设置有带动清洗套转动的带动结构。

11、优选的，所述带动结构包括转动穿过连接块的传动筒，所述传动筒的一端上固定的套设有第三齿轮，所述连接块远离第三齿轮一侧面的上方位置处连接有l形条，所述l形条上转动穿过有传动杆，所述传动杆的一端上套设有第二齿轮，所述第二齿轮与第三齿轮之间啮合连接，所述清洗套的一端上套设有第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮之间啮合连接，所述传动筒上的另一端处固定的插进有插杆，所述传动筒中活动的穿过有横杆，所述横杆的两端连接在清洗箱的内壁上，所述横杆上开设有螺旋槽，所述插杆呈半球状的一端活动的插进螺旋槽中，所述l形条上设置有内部清洗结构。

12、优选的，所述内部清洗结构包括转动穿过l形条一端处的清洗杆，所述清洗杆靠近清洗套的一端上安装有清洗块，所述清洗块的外侧面上设置有刷毛，所述清洗杆的另一端上固定的套设有第五齿轮，所述传动杆的另一端上固定的套设有第四齿轮，所述第四齿轮与第五齿轮之间啮合连接。

13、综上所述，本发明包括以下有益技术效果：

14、1、本发明通过在l形板和u形板上设置有两组夹紧结构和更换结构，利用更换结构可灵活的自动切换两组夹紧结构，使得两组夹紧结构依次可对清洗过程中石英管上的不同位置夹紧固定，避免在清洗过程中，夹紧结构妨碍到石英管的清洗，对石英管清洗不够彻底的问题，操作更加的省力、方便，提高了清洗工作效率；

15、2、本发明通过在清洗箱内设置有外部清洗结构、内部清洗结构以及传动结构，在第二电机和传动结构的作用，使得来回移动的外部清洗结构和内部清洗结构上的清洗套和清洗块发生转动，进而同时对石英管内外两侧进行清洗工作，大大的提高了清洗工作效率；

16、3、本发明通过在清洗箱上设置有上料结构、升降转移结构和输送结构，配合夹紧结构，可自动夹取上料结构中存放的待清洗的石英管转移至清洗箱中清洗，在清洗后，又可将清洗后的石英管转移至输送结构上，进行自动下料，操作快捷、方便，进一步的提高了对石英管的清洗工作效率。