波前检测装置的制作方法

本技术涉及光学检测设备，具体而言，涉及一种波前检测装置。

背景技术：

1、镜头在组装前，需要对镜头的多个透镜进行检测，透镜的检测通常采用三坐标、ua3p、luphscan等设备进行轮廓检测，当透镜的面形满足设计要求既认为该透镜可以进行镜头组装，但单透镜其他信息无法进行检测，更无法知道单透镜对整个光学系统的影响，如透镜镀膜过程中温度对镜头内部应力的影响，透镜镀膜的微观结构对折射率的影响等。

2、镜头在组装过程中大多采用一体式组装，每透镜在组装过程中均会存在一定偏差，如偏心、倾斜、面形变化和间隙变化等，部分参数可以通过间隙测量仪进行检测，但更多的组装后镜头内部的变化是无法检测的，仅能通过镜头完全组装完成后进行mtf等像质检测才可评价镜头的ok与ng。同时，未组装完成的非完整镜头的检测存在难点，无法获得前几片透镜的更多信息。

3、也就是说，现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种波前检测装置，以解决现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种波前检测装置，包括：干涉仪结构，干涉仪结构用于发射检测光；镜头承靠结构，镜头承靠结构位于干涉仪结构的出光侧，镜头承靠结构包括中心通孔和多个限位件，多个限位件绕中心通孔的周向间隔设置在镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上，以在多个限位件之间形成容置区域，容置区域用于放置待测镜头，限位件的至少一部分朝向容置区域可伸缩地设置，以使得限位件的可伸缩部分能够将待测镜头限位在容置区域处；空镜结构，空镜结构位于镜头承靠结构远离干涉仪结构的一侧，空镜结构朝向镜头承靠结构的一侧至少包括非球面反射面，非球面反射面与中心通孔对应。

3、进一步地，干涉仪结构包括干涉仪主机和位于干涉仪主机出光侧的干涉仪标准镜。

4、进一步地，限位件包括：主体部，主体部具有活动槽，活动槽沿远离中心通孔的方向进行延伸，且活动槽的槽口朝向中心通孔设置；活动部，活动部通过弹性件可运动地设置在活动槽中，以使得活动部相对于容置区域可伸缩，当待测镜头放置在容置区域处时，活动部的一端与待测镜头抵接。

5、进一步地，活动部由球体和柱塞组成，球体与柱塞连接且球体位于柱塞朝向中心通孔的一侧。

6、进一步地，弹性件为弹簧，弹簧抵接在活动部远离中心通孔的一侧表面与活动槽的槽底面之间。

7、进一步地，镜头承靠结构上还设置有玻璃片，玻璃片位于镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上。

8、进一步地，玻璃片与镜头承靠结构的表面胶接，镜头承靠结构还具有多个溢胶槽，多个溢胶槽绕玻璃片的周向间隔设置。

9、进一步地，空镜结构还包括平面反射面，平面反射面呈环形，环形的平面反射面绕非球面反射面的周向连续设置。

10、进一步地，空镜结构沿远离干涉仪结构的方向包括顺次连接的柱体结构和底座，柱体结构位于底座的中心位置，平面反射面和非球面反射面均位于柱体结构远离底座的一侧。

11、进一步地，镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧具有沉槽，中心通孔和多个限位件均设置在沉槽的槽底部，沉槽的槽底部还具有多个凹槽，多个凹槽绕中心通孔的周向间隔设置，多个限位件一一对应的设置在多个凹槽中。

12、应用本实用新型的技术方案，波前检测装置包括干涉仪结构、镜头承靠结构和空镜结构，干涉仪结构用于发射检测光；镜头承靠结构位于干涉仪结构的出光侧，镜头承靠结构包括中心通孔和多个限位件，多个限位件绕中心通孔的周向间隔设置在镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上，以在多个限位件之间形成容置区域，容置区域用于放置待测镜头，限位件的至少一部分朝向容置区域可伸缩地设置，以使得限位件的可伸缩部分能够将待测镜头限位在容置区域处；空镜结构位于镜头承靠结构远离干涉仪结构的一侧，空镜结构朝向镜头承靠结构的一侧至少包括非球面反射面，非球面反射面与中心通孔对应。

13、干涉仪结构用于发射检测光，镜头承靠结构用来固定待测镜头，干涉仪结构发出的平行光经待测镜头传递到空镜结构的非球面反射面，在经非球面反射面的反射后通过待测镜头返回到干涉仪结构中，形成干涉条纹，根据干涉条纹可计算镜头中透镜的透射波前，根据透射波前信息可对待测镜头中的透镜进行二次优化，以补偿待测镜头中的透镜误差、组装误差等带来的影响。本申请通过设置镜头承靠结构包括中心通孔和多个限位件，多个限位件绕中心通孔的周向间隔设置在镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上，以在多个限位件之间形成容置区域，容置区域用于放置待测镜头，限位件的至少一部分朝向容置区域可伸缩地设置，以使得限位件的可伸缩部分能够将待测镜头限位在容置区域处，这样设置有利于保证在检测过程中，限位件能够将待测镜头稳定固定在容置区域处且与中心通孔对应，有利于保证待测镜头的位置稳定性，进而保证透射波前信息的准确性。

技术特征：

1.一种波前检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述干涉仪结构包括干涉仪主机(11)和位于所述干涉仪主机(11)出光侧的干涉仪标准镜(12)。

3.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述限位件(22)包括：

4.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述活动部由球体(222)和柱塞(223)组成，所述球体(222)与所述柱塞(223)连接且所述球体(222)位于所述柱塞(223)朝向所述中心通孔(21)的一侧。

5.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧抵接在所述活动部远离所述中心通孔(21)的一侧表面与所述活动槽的槽底面之间。

6.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述镜头承靠结构(20)上还设置有玻璃片(23)，所述玻璃片(23)位于所述镜头承靠结构(20)朝向所述干涉仪结构的一侧表面上。

7.根据权利要求6所述的波前检测装置，其特征在于，所述玻璃片(23)与所述镜头承靠结构(20)的表面胶接，所述镜头承靠结构(20)还具有多个溢胶槽(26)，多个所述溢胶槽(26)绕所述玻璃片(23)的周向间隔设置。

8.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述空镜结构(30)还包括平面反射面(34)，所述平面反射面(34)呈环形，环形的所述平面反射面(34)绕所述非球面反射面(33)的周向连续设置。

9.根据权利要求8所述的波前检测装置，其特征在于，所述空镜结构(30)沿远离所述干涉仪结构的方向包括顺次连接的柱体结构(31)和底座(32)，所述柱体结构(31)位于所述底座(32)的中心位置，所述平面反射面(34)和所述非球面反射面(33)均位于所述柱体结构(31)远离所述底座(32)的一侧。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的波前检测装置，其特征在于，所述镜头承靠结构(20)朝向所述干涉仪结构的一侧具有沉槽(24)，所述中心通孔(21)和多个所述限位件(22)均设置在所述沉槽(24)的槽底部，所述沉槽(24)的槽底部还具有多个凹槽(25)，多个所述凹槽(25)绕所述中心通孔(21)的周向间隔设置，多个所述限位件(22)一一对应的设置在多个所述凹槽(25)中。

技术总结本技术提供了一种波前检测装置。波前检测装置包括：干涉仪结构用于发射检测光；镜头承靠结构，镜头承靠结构位于干涉仪结构的出光侧，镜头承靠结构包括中心通孔和多个限位件，多个限位件绕中心通孔的周向间隔设置在镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上，以在多个限位件之间形成容置区域，容置区域用于放置待测镜头，限位件的至少一部分朝向容置区域可伸缩地设置，以使得限位件的可伸缩部分能够将待测镜头限位在容置区域处；空镜结构，空镜结构位于镜头承靠结构远离干涉仪结构的一侧，空镜结构朝向镜头承靠结构的一侧至少包括非球面反射面，非球面反射面与中心通孔对应。本技术解决了现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。技术研发人员：张健,刘泉,张晓彤受保护的技术使用者：浙江舜宇光学有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/8/16