基于MES系统协同的天车任务调度方法与装置与流程

本技术涉及自动化控制，尤其涉及一种基于mes系统协同的天车任务调度方法与装置。

背景技术：

1、随着自动物料传输系统（automatic material handling system，amhs）的高速发展及在半导体加工厂中的应用，半导体加工厂的加工效率得到了显著提升。天车作为amhs系统中的主要物料搬运工具，在半导体物料运输中逐渐扮演着越来越重要的角色。

2、现有的amhs系统中天车的调度模式为基于预先设定的半导体加工计划生成物料搬运任务指令并发送给天车，天车基于物料搬运任务指令将物料从起始位置移动到目标位置，通过合理规划搬运路径能够提高物料搬运的效率和速度。然而，现有的天车调度方式并未考虑半导体加工产线的异常状态对物料运输的影响，导致物料运输过程中存在堵塞甚至运输轨道瘫痪的情形，极大影响了物料搬运的效率。

技术实现思路

1、本技术提供一种基于mes系统协同的天车任务调度方法与装置，以最大限度降低半导体加工产线的异常状态对物料搬运效率的影响。

2、本技术提供一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述方法包括：

3、从mes系统中获取预设的生产计划，基于所述生产计划确定关联天车并生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列；所述生产计划中包括各条半导体加工产线对应的生产子计划，各生产子计划中包括当前半导体加工产线对应的生产任务的执行计划，各生产任务的执行计划中包括当前生产任务的执行起止时间、需求物料数量、关联工艺节点的位置及工艺起止时间；所述初始搬运任务指令序列中的任一搬运任务指令中均包括作业起点、作业终点及作业起止时间；

4、基于各关联天车对应的初始搬运任务指令序列对各关联天车进行工作调度，并从mes系统获取半导体加工产线的异常状态信息；

5、基于半导体加工产线的异常状态信息及各关联天车的当前运行状态向目标天车发送紧急调度指令以控制目标天车调整作业参数；所述目标天车为搬运作业受到半导体加工产线的异常状态影响的关联天车。

6、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于所述生产计划确定关联天车并生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列，具体包括：

7、基于所述生产计划中各条半导体加工产线对应的生产子计划，确定存在生产任务的目标半导体加工产线；

8、基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的需求物料量、关联工艺节点的位置及各天车的初始位置，确定目标半导体加工产线的关联天车；

9、基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的执行起止时间、关联工艺节点的位置及工艺起止时间，生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列。

10、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的需求物料量、关联工艺节点的位置及各天车的初始位置，确定目标半导体加工产线的关联天车，具体包括：

11、基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的需求物料量，确定需求天车的数量；

12、基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的初始关联工艺节点的位置、各天车的初始位置及需求天车的数量，确定目标半导体加工产线的关联天车。

13、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的执行起止时间、关联工艺节点的工艺起止时间，生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列，具体包括：

14、基于目标半导体加工产线对应的生产子计划中生产任务的执行起止时间、关联工艺节点的位置及工艺起止时间，确定各关联天车的多个搬运子任务对应的作业起点、作业终点及作业起止时间；所述搬运子任务指将物料从一个工艺节点搬运到下一工艺节点的搬运任务；

15、基于各关联天车的多个搬运子任务对应的作业起点、作业终点及作业起止时间，生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列。

16、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于各关联天车对应的初始搬运任务指令序列对各关联天车进行工作调度，具体包括：

17、对于任一关联天车，将所述关联天车对应的初始搬运任务指令序列发送给所述关联天车，以控制所述关联天车依次完成对应的搬运子任务。

18、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于半导体加工产线的异常状态信息及各关联天车的当前运行状态向目标天车发送紧急调度指令以控制目标天车调整作业参数，具体包括：

19、基于半导体加工产线的异常状态信息，确定发生异常的目标工艺节点及所述目标工艺节点的异常类型；

20、基于所述目标工艺节点、所述目标工艺节点的异常类型及所述半导体加工产线的关联天车的当前运行状态，确定目标天车并生成各目标天车对应的紧急调度指令；

21、向目标天车发送对应的紧急调度指令，以控制目标天车调整初始搬运任务指令序列中的目标搬运任务指令的作业参数；所述紧急调度指令中包括目标搬运任务指令及目标搬运任务指令对应的已修正作业参数的指示信息。

22、根据本技术提供的一种基于mes系统协同的天车任务调度方法，所述基于所述目标工艺节点、所述目标工艺节点的异常类型及所述半导体加工产线的关联天车的当前运行状态，确定目标天车并生成各目标天车对应的紧急调度指令，具体包括：

23、基于目标工艺节点的异常类型确定当前生产任务的执行起止时间、关联工艺节点的工艺起止时间的变化量，并基于当前生产任务的执行起止时间、关联工艺节点的工艺起止时间的变化量及所述半导体加工产线的关联天车当前正在执行的搬运子任务，确定目标天车并生成各目标天车对应的紧急调度指令。

24、本技术还提供一种基于mes系统协同的天车任务调度装置，所述装置包括：

25、初始搬运任务指令序列生成单元，用于从mes系统中获取预设的生产计划，基于所述生产计划确定关联天车并生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列；所述生产计划中包括各条半导体加工产线对应的生产子计划，各生产子计划中包括当前半导体加工产线对应的生产任务的执行计划，各生产任务的执行计划中包括当前生产任务的执行起止时间、需求物料数量、关联工艺节点的位置及工艺起止时间；所述初始搬运任务指令序列中的任一搬运任务指令中均包括作业起点、作业终点及作业起止时间；

26、工作调度及异常监控单元，用于基于各关联天车对应的初始搬运任务指令序列对各关联天车进行工作调度，并从mes系统获取半导体加工产线的异常状态信息；

27、应急处理单元，用于基于半导体加工产线的异常状态信息及各关联天车的当前运行状态向目标天车发送紧急调度指令以控制目标天车调整作业参数；所述目标天车为搬运作业受到半导体加工产线的异常状态影响的关联天车。

28、本技术还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述基于mes系统协同的天车任务调度方法的步骤。

29、本技术还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述基于mes系统协同的天车任务调度方法的步骤。

30、本技术提供的基于mes系统协同的天车任务调度方法与装置，从mes系统中获取预设的生产计划，基于所述生产计划确定关联天车并生成各关联天车对应的初始搬运任务指令序列；所述生产计划中包括各条半导体加工产线对应的生产子计划，各生产子计划中包括当前半导体加工产线对应的生产任务的执行计划，各生产任务的执行计划中包括当前生产任务的执行起止时间、需求物料数量、关联工艺节点的位置及工艺起止时间；所述初始搬运任务指令序列中的任一搬运任务指令中均包括作业起点、作业终点及作业起止时间；基于各关联天车对应的初始搬运任务指令序列对各关联天车进行工作调度，并从mes系统获取半导体加工产线的异常状态信息；基于半导体加工产线的异常状态信息及各关联天车的当前运行状态向目标天车发送紧急调度指令以控制目标天车调整作业参数；所述目标天车为搬运作业受到半导体加工产线的异常状态影响的关联天车，能够从mes系统中及时获取半导体加工产线的异常状态信息，并对天车进行紧急调度，进而最大限度降低半导体加工产线的异常状态对物料搬运效率的影响。