电动机控制装置及机械装置的制作方法

本发明涉及用于对设置于架台的多个电动机进行控制的电动机控制装置及机械装置。

背景技术：

1、在电子部件安装机、曝光装置或工作机械等工业用机械装置中，要求高速且高精度的控制性能。作为工业用机械装置的一个，举出在架台设置有2个电动机的装置。在该装置中，有时由于一个电动机的加减速的影响而另一个电动机的控制性能劣化，要求将轴间的影响非干涉化的控制。

2、在专利文献1所记载的定位控制系统的干扰非干涉化补偿装置中，针对受到干扰的影响侧的驱动体的观测量而进行干扰的非干涉化补偿的干扰非干涉化补偿器具有：第1前馈补偿器fnl(s)，其将干扰发生侧的驱动体的操作量ub作为输入而输出前馈补偿量uc，该前馈补偿量uc用于进行针对受到干扰的影响侧的驱动体的观测量xlm的该干扰的非干涉化补偿；以及第1运算器，其通过第1前馈补偿器fnl(s)的输出，对受到干扰的影响侧的驱动体的操作量c1(s)的输出进行校正。

3、专利文献1：日本特开2010－204878号公报

技术实现思路

1、但是，在专利文献1所记载的定位控制系统的干扰非干涉化补偿装置中，存在下述课题，即，为了对将轴间的影响非干涉化的补偿器进行调整而需要长时间。即，在现有技术中存在下述课题，即，无法提供能够以短时间对将轴间的影响非干涉化的补偿器进行调整、且能够抑制轴间的干涉的电动机控制装置。

2、本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到能够抑制轴间的干涉、且能够以短时间对将轴间的影响非干涉化的补偿器进行调整的电动机控制装置。

3、为了解决上述课题，并达到目的，本发明所涉及的电动机控制装置具有：第1电动机，其设置于架台；第2电动机，其设置于架台，与第1电动机不同；以及第2控制器，其决定第2偏差抑制信号，该第2偏差抑制信号是对第2电动机进行驱动，以使得基于指定第2电动机的可动件的位置的第2位置指令的信号和表示第2电动机的可动件和第2电动机的固定件的相对位置的第2电动机位置信号的差分变小的信号。本发明所涉及的电动机控制装置还具有：架台状态推定器，其基于表示对第1电动机的可动件进行驱动的力的信号即基准驱动力信号，决定通过第1电动机的可动件的驱动的反作用力而弹性变形的架台的绝对位置的推定值即架台模型位置；校正量决定器，其基于由架台状态推定器决定的架台模型位置而决定位移校正信号；以及

4、运算器，其基于由校正量决定器决定的位移校正信号和由第2控制器决定的第2偏差抑制信号，决定对第2电动机进行驱动的校正电动机驱动信号。

5、发明的效果

6、本发明所涉及的电动机控制装置具有下述效果，即，能够抑制轴间的干涉、且能够以短时间对将轴间的影响非干涉化的补偿器进行调整。

技术特征：

1.一种电动机控制装置，其特征在于，具有：

2.根据权利要求1所述的电动机控制装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的电动机控制装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的电动机控制装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的电动机控制装置，其特征在于，

6.一种机械装置，其特征在于，具有：

技术总结电动机控制装置具有：第1电动机(2)及第2电动机(3)，它们设置于架台(1)；第2控制器(13)，其决定第2偏差抑制信号，该第2偏差抑制信号是对第2电动机(3)进行驱动，以使得基于指定第2电动机(3)的可动件(3b)的位置的第2位置指令的信号和表示可动件(3b)和第2电动机(3)的固定件(3a)的相对位置的第2电动机位置信号的差分变小的信号；架台状态推定器(15)，其基于表示对第1电动机(2)的可动件(2b)进行驱动的力的信号即基准驱动力信号，决定通过第1电动机(2)的可动件(2b)的驱动的反作用力而弹性变形的架台(1)的绝对位置的推定值即架台模型位置；校正量决定器(16A)，其基于架台模型位置而决定位移校正信号；以及运算器(17)，其基于位移校正信号和第2偏差抑制信号而决定对第2电动机(3)进行驱动的校正电动机驱动信号。技术研发人员：奥村慎司,关口裕幸,上野将受保护的技术使用者：三菱电机株式会社技术研发日：技术公布日：2025/1/13