一种压阻式双轴运动传感器的制作方法

本申请涉及微机电系统技术领域，具体涉及一种压阻式双轴运动传感器。背景技术：微机电系统(mems，micro-electro-mechanicalsystem)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，......

2024-07-27 59

#制作方法#传感器#压阻式双轴