一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列

一种背衬型高频宽带pmut单元及pmut阵列技术领域1.本发明涉及超声换能器技术领域，尤其是涉及背衬型高频宽带pmut单元及pmut阵列。背景技术：2.超声换能器是一种有效、廉价、无辐射的非破坏性检测......

2024-07-27 4

#阵列#单元#背衬型