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结合智能手机CMOS的微型光谱仪
本发明涉及光谱检测领域,并且更具体地,涉及一种与智能手机coms结合的光谱检测装置。背景技术:1、光谱仪是一种用于分析物质的仪器,它可以将光信号分解成不同波长的光谱,并测量各个波长的光强度。目前,光谱......
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CMOS-MEMS集成声换能器及其制备方法
cmos-mems集成声换能器及其制备方法技术领域1.本发明涉及cmos-mems集成的传感器制造技术领域,具体是一种cmos-mems集成声换能器及其制备方法。背景技术:2.电容式麦克风传感器和电容......