本技术涉及微阀,尤其涉及一种垂直开合式超滑微阀。背景技术:1、微阀具有尺寸小、重量轻、反应快、功耗低,可靠性好及控制精度高等优点,能够对流体进行开关控制、流量调节、压力控制等,作为微流控制系统的主要元......