一种IGZO靶材的制备方法与流程

本发明涉及陶瓷靶材，具体涉及一种igzo靶材的制备方法。背景技术：1、igzo(indium gallium zinc oxide，铟镓锌氧化物)靶材是一种用于沉积薄膜的材料，常用于液晶显示器(lcd......

2024-11-19 89

#制备方法#流程#IGZO