一种动铁式二维驱动微振镜的制作方法

本技术涉及微机电系统，特别涉及一种动铁式二维驱动微振镜。背景技术：1、微振镜是基于微纳工艺制备的光学扫描反射镜，在光通信、激光雷达、激光投影、医学成像等领域有广泛应用，主要通过位移反射光的路径。微振镜......

2024-06-21 79

#制作方法#动铁式#微振镜