一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构的制作方法

技术特征：
1.一种薄膜生产系统，其特征在于，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，所述真空蒸镀机构，用于对待蒸镀的薄膜进行蒸镀；所述搬运机构，用于将蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构；所述水电镀机构，用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；其中，所述真空蒸镀机构包括真空腔室(10)，以及竖直的设置在所述真空腔室(10)中的蒸镀装置。2.根据权利要求1所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述真空蒸镀机构包括：承载单元，包括：竖直地设置在所述真空腔室(10)的底部的第一承载架(11)和第二承载架(12)；放卷单元，包括：对称安装于所述第一承载架(11)上的第一放卷部(21)和第二放卷部(22)；收卷单元，包括：第一收卷部(31)和第二收卷部(32)，对称安装于所述第一承载架(11)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述放卷单元；第一转向单元，包括：第一转向辊(41)和第二转向辊(42)，对称安装于所述第二承载架(12)上；第二转向单元，包括：第三转向辊(43)和第四转向辊(44)，对称安装于所述第二承载架(12)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一转向单元；第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源(51)和第二蒸镀源(52)，对称安装于所述第二承载架(12)上；所述第一蒸镀源单元设置于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源(53)和第四蒸镀源(54)，对称安装于所述第二承载架(12)上，所述第二蒸镀源单元设置于所述收卷单元和所述第二转向单元之间，所述第二蒸镀源单元在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀源单元。3.根据权利要求2所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一放卷部(21)、所述第二放卷部(22)、所述第一转向辊(41)和所述第二转向辊(42)的中心轴线在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在所述第一蒸镀源(51)和所述第二蒸镀源(52)的上方成水平走带；所述第一收卷部(31)、所述第二收卷部(32)、所述第三转向辊(43)和所述第四转向辊(44)的中心轴线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜分别在所述第三蒸镀源(53)和所述第四蒸镀源(54)的上方成水平走带。4.根据权利要求3所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述蒸镀装置还包括挤压机构，所述挤压机构包括第一挤压辊(61)和第二挤压辊(62)，所述第一挤压辊(61)和所述第二挤压辊(62)对称地安装于所述第二承载架(12)上，且分别与所述第一转向辊(41)和所述第二转向辊(42)滚动接触。5.根据权利要求4所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述挤压机构还包括第三挤压辊(63)和第四挤压辊(64)，所述第三挤压辊(63)和所述第四挤压辊(64)对称地安装于所述第二承载架(12)上，且分别与所述第三转向辊(43)和第四转向辊(44)滚动接触。6.根据权利要求5所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一蒸镀源(51)与所述第三蒸镀源(53)在竖直方向上的间隔为60～100厘米，所述第二蒸镀源(52)与所述第四蒸镀源(54)在竖直方向上的间隔为60～100厘米。7.根据权利要求6所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一放卷部(21)和所述第二放卷部(22)，分别用于对待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜进行放膜；
所述第一蒸镀源(51)和所述第二蒸镀源(52)，分别用于对经过其上方的所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的第一面进行蒸镀；所述第一转向辊(41)和所述第二转向辊(42)，分别用于将所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由水平方向转变为竖直方向；所述第三转向辊(43)和所述第四转向辊(44)，分别用于将所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由竖直方向转变为水平方向；所述第三蒸镀源(53)和所述第四蒸镀源，分别用于对经过其上方的所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的第二面进行蒸镀；第一收卷部(31)和所述第二收卷部，分别用于对第一面和第二面均完成蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。8.根据权利要求7所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一承载架(11)和所述第二承载架(12)上分别设置有多个安装座，所述安装座包括轴承座和轴承，所述轴承竖直安装于所述轴承座中，所述第一放卷部(21)、所述第二放卷部(22)、所述第一收卷部(31)、所述第二收卷部(32)、所述第一转向辊(41)、所述第二转向辊(42)、所述第三转向辊(43)和所述第四转向辊(44)分别通过所述多个安装座与所述第一承载架(11)或所述第二承载架(12)可拆卸的转动连接。9.根据权利要求1所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述水电镀机构包括放卷辊(1)、第一对导电辊(2)、电镀槽(3)、第一过辊(4)和收卷辊(5)；其中，所述电镀槽(3)内设置有镀液(6)，在所述镀液(6)中设置有上下阳极板(7)和第二过辊(8)，蒸镀后的薄膜(9)通过所述放卷辊(1)放卷后，依次经过所述第一对导电辊(2)、所述上下阳极板(7)、所述第二过辊(8)、所述第一过辊(4)后，通过所述收卷辊(5)进行收卷。10.一种真空蒸镀机构，其特征在于，所述真空蒸镀机构包括：真空腔室(10)，以及设置在所述真空腔室(10)中的蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：承载单元，包括：第一承载架(11)和第二承载架(12)，分别竖直设置在所述真空腔室(10)内；放卷单元，包括：第一放卷部(21)和第二放卷部(22)，对称安装于所述第一承载架(11)上；收卷单元，包括：第一收卷部(31)和第二收卷部(32)，对称安装于所述第一承载架(11)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述放卷单元；第一转向单元，包括：第一转向辊(41)和第二转向辊(42)，对称安装于所述第二承载架(12)上；第二转向单元，包括：第三转向辊(43)和第四转向辊(44)，对称安装于所述第二承载架(12)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一转向单元；第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源(51)和第二蒸镀源(52)，对称安装于所述第二承载架(12)上；所述第一蒸镀源单元设置于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源(53)和第四蒸镀源(54)，对称安装于所述第二承载架(12)上，所述第二蒸镀源单元设置于所述收卷单元和所述第二转向单元之间，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀源单元。

技术总结
本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。本。本。


技术研发人员：臧世伟
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：2021.12.10
技术公布日：2022/5/25