一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构的制作方法

1.本实用新型涉及薄膜生产技术领域，具体涉及一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构。


背景技术：

2.水电镀是一种电离子沉积过程，是利用电极通过电流，使金属附着在物体表面上，其目的为改变物体表面的特性或尺寸。
3.蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的多次蒸镀，效率低下。
4.并且现有的金属薄膜生产装置，不能够快速对薄膜进行增厚，完全靠蒸镀设备成本又太高。
5.基于此，本实用新型设计了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，以解决上述问题。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，以解决现有技术中不能同时进行蒸镀和电镀的技术问题，以及真空蒸镀时空间利用率低以及每次只能生产一卷薄膜的技术问题。
7.为达上述目的，第一方面，本实用新型提供了一种薄膜生产系统，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，所述真空蒸镀机构，用于对待蒸镀的薄膜进行蒸镀；所述搬运机构，用于对蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构；所述水电镀机构，用于对所述蒸镀后的薄膜进行水电镀；
8.所述真空蒸镀机构包括真空腔室，以及竖直设置在所述真空腔室中的蒸镀装置。
9.在一些可能的实施方式中，所述蒸镀装置包括：
10.承载单元，包括：第一承载架和所述第二承载架，分别竖直的设置在所述真空腔室内；
11.放卷单元，包括：第一放卷部和所述第二放卷部，对称安装于所述第一承载架上；
12.收卷单元，包括：第一收卷部和第二收卷部，对称安装于所述第一承载架上，且在竖直方向上的安装高度高于所述放卷单元；
13.第一转向单元，包括：第一转向辊和第二转向辊，对称安装于所述第二承载架上；
14.第二转向单元，包括：第三转向辊和第四转向辊，对称安装于所述第二承载架上，且在竖直方向上的安装高度分别高于所述第一转向单元；
15.第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源和第二蒸镀源，对称安装于所述第二承载架上；所述第一蒸镀源单元设置于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；
16.第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源和第四蒸镀源，对称安装于所述第二承载架
上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀单元；所述第二蒸镀源单元位于所述收卷单元和第二转向单元之间。
17.在一些可能的实施方式中，所述第一放卷部、所述第二放卷部、所述第一转向辊和所述第二转向辊的中心轴线在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源的上方成水平走带。
18.在一些可能的实施方式中，所述第一收卷部、所述第二收卷部、所述第三转向辊和所述第四转向辊的中心轴线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜分别在所述第三蒸镀源和所述第四蒸镀源的上方成水平走带。
19.在一些可能的实施方式中，所述蒸镀装置还包括挤压机构，所述挤压机构包括第一挤压辊和第二挤压辊，所述第一挤压辊和所述第二挤压辊对称的安装于所述第二承载架上，且分别与所述第一转向辊和所述第二转向辊滚动接触。
20.在一些可能的实施方式中，所述挤压机构还包括：第三挤压辊和第四挤压辊，所述第三挤压辊和所述第四挤压辊对称的安装于所述第二承载架上，且分别与所述第三转向辊和第四转向辊滚动接触。
21.在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀源与所述第三蒸镀源在竖直方向上的间隔为60～100cm，所述第二蒸镀源与所述第四蒸镀源在竖直方向上的间隔为60～100cm。
22.在一些可能的实施方式中，所述第一放卷部和所述第二放卷部，分别用于对待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜进行放膜；
23.所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源，分别用于对经过其上方的所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的第一面进行蒸镀；
24.所述第一转向辊和所述第二转向辊，用于将所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由水平方向转变为竖直方向；
25.所述第三转向辊和所述第四转向辊，用于将所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由竖直方向转变为水平方向；
26.所述第三蒸镀源和所述第四蒸镀源，用于对经过其上方的所述待蒸镀的第一卷薄膜和所述待蒸镀的第二卷薄膜的第二面进行蒸镀；
27.第一收卷部和所述第二收卷部，用于对第一面和第二面均完成蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。
28.在一些可能的实施方式中，所述第一承载架和所述第二承载架上分别设置有多个安装座，所述安装座包括轴承座和轴承，所述轴承竖直安装于所述轴承座中，所述第一放卷部、所述第二放卷部、所述第一收卷部、所述第二收卷部、所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊和所述第四转向辊分别通过所述多个安装座与所述第一承载架或所述第二承载架可拆卸的转动连接。
29.所述水电镀机构包括放卷辊、第一对导电辊、电镀槽、第一过辊和收卷辊；其中，所述电镀槽内设置有镀液，在所述镀液中设置有上下阳极板和第二过辊，蒸镀后的薄膜通过所述放卷辊放卷后，依次经过所述第一对导电辊、所述上下阳极板、所述第二过辊、所述第一过辊后，通过所述收卷辊进行收卷。
30.第二方面，本实用新型提供了一种真空蒸镀机构，所述真空蒸镀机构包括：真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置包括：
31.承载单元，包括：第一承载架和第二承载架，分别竖直的设置在所述真空腔室的底部；
32.放卷单元，包括：第一放卷部和第二放卷部，对称安装于所述第一承载架上；
33.收卷单元，包括：第一收卷部和第二收卷部，对称安装于所述第一承载架上，且在竖直方向上的安装高度高于所述收卷单元；
34.第一转向单元，包括：第一转向辊和第二转向辊，对称安装于所述第二承载架上；
35.第二转向单元，包括：第三转向辊和第四转向辊，对称安装于所述第二承载架上，且在竖直方向上的安装高度分别高于所述第一转向单元；
36.第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源和第二蒸镀源，对称安装于所述第二承载架上；所述第一蒸镀单元位于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；
37.第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源和第四蒸镀源，对称安装于所述第二承载架上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀单元；所述第二蒸镀源单元位于所述收卷单元和所述第二转向单元之间。
38.上述技术方案具有如下技术效果如下：
39.本实用新型实施例提供的一种薄膜生产系统，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；单纯的真空镀膜成本比水电镀高，且一次性在薄膜上增厚的金属厚度比水镀薄。这样本实施例提供的薄膜生产系统不仅快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率。
附图说明
40.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
41.图1是本实用新型实施例提供的一种薄膜蒸镀系统的整体结构示意图；
42.图2是本实用新型实施例提供的一种真空蒸镀机构的主视图；
43.图3是本实用新型实施例提供的一种水电镀机构的结构示意图；
44.图4是本实用新型实施例提供的一种第一承载架的侧视图；
45.图5是本实用新型实施例提供的一种第二承载架的侧视图；
46.图6是本实用新型实施例提供的另一种真空蒸镀机构的主视图；
47.图7是本实用新型实施例提供的另一种第二承载架的侧视图；
48.图8是本实用新型实施例提供的一种薄膜生产方法流程图。
49.附图标号说明：
50.1、放卷辊；2、第一对导电辊；3、电镀槽；4、第一过辊；5、收卷辊；6、镀液；7、上下阳极板；8、第二过辊；9、蒸镀后的薄膜；11、第一承载架；12、第二承载架；21、第一放卷部；22、第二放卷部；31、第一收卷部；32、第二收卷部；41、第一转向辊；42、第二转向辊；43、第三转
向辊；44、第四转向辊；51、第一蒸镀源；52、第二蒸镀源；53、第三蒸镀源；54、第四蒸镀源；61、第一挤压辊；62、第二挤压辊；63、第三挤压辊；64、第四挤压辊。
具体实施方式
51.下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
52.如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统，其包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，真空蒸镀机构用于对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀。本实用新型实施例提供的薄膜蒸镀系统，可以同时进行蒸镀和水电镀，提高了薄膜的生产效率。
53.在一些实施例中，真空蒸镀机构包括真空腔室10，以及竖直设置在真空腔室10中的蒸镀装置，该蒸镀装置包括承载单元、放卷单元、收卷单元、第一转向单元、第二转向单元、第一蒸镀单元和第二蒸镀源单元，其中，承载单元包括第一承载架11和第二承载架12，第一承载架11和第二承载架12竖直的设置于真空腔室10的底部，并且具有一定的间隔，优选的为50～100cm；放卷单元包括第一放卷部21和第二放卷部22，对称安装于第一承载架11上；收卷单元包括第一收卷部31和第二收卷部32，对称安装于第一承载架11上，收卷单元在竖直方向上的安装高度高于放卷单元，即第一收卷部31和第二收卷部32在竖直方向上的安装高度分别高于第一放卷部21和第二放卷部22；第一转向单元包括第一转向辊41和第二转向辊42，分别对称安装于第二承载架12上；第二转向单元，包括第三转向辊43和第四转向辊44，分别对称安装于第二承载架12上，第二转向单元在竖直方向上的安装高度高于第一转向单元，即第三转向辊43和第四转向辊44在竖直方向上的高度分别高于第一转向辊41和第二转向辊42；第一蒸镀源单元包括第一蒸镀源51和第二蒸镀源52，分别对称安装于第二承载架12上；其中第一蒸镀源51位于第一放卷部21和第一转向辊41之间，并且在竖直方向上的安装高度分别低于第一放卷部21的最低点和第一转向辊41的最低点，第二蒸镀源52位于第二放卷部22和第二转向辊42之间，并且在竖直方向上的安装高度分别低于第二放卷部22的最低点和第二转向辊42的最低点；第三蒸镀单元包括第三蒸镀源53和第四蒸镀源54，分别对称安装于第二承载架12上，第二蒸镀源单元在竖直方向上的安装高度高于第一蒸镀单元，即第三蒸镀源53和第四蒸镀源54在竖直方向上的安装高度分别高于第一蒸镀源51和第二蒸镀源52，第三蒸镀源53位于第一收卷部31和第三转向辊43之间，且在竖直方向上，第三蒸镀源53的顶部最高点要分别低于第一收卷部31的最高点和第三转向辊43最高点，第四蒸镀源54位于第二收卷部32和第四转向辊44之间，且在竖直方向上，第四蒸镀源54的顶部的最高点分别低于第二收卷部32的顶部的最高点和第四转向辊44顶部的最高点。
54.本实用新型实施例提供的一种薄膜生产系统，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜
进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以大大减少镀膜所需的费用，而且大大提高了蒸镀的效率。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室10，以及设置在所述真空腔室10中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，也提高了薄膜生产效率，同时极大的减少了成本。
55.在一些实施例中，水电镀机构包括放卷辊1、第一对导电辊2、电镀槽3、第一过辊4和收卷辊5，其中，电镀槽3内设置有镀液6，在镀液6中设置有上下阳极板7和第二过辊8，蒸镀后的薄膜9通过放卷辊1放卷后，依次经过第一对导电辊2、上下阳极板7、第二过辊8、第一过辊4后，通过收卷辊5进行收卷，电镀时，第一对导电辊1同时为薄膜9的两面提供阴极电，上下阳极板7提供阳机电，电镀槽3中的镀液6、蒸镀后的薄膜9和上下阳极板7形成了两个电镀循环回路，分别为蒸镀后的薄膜9的双面进行水电镀，需要说明的是，一方面为了增加薄膜的导电性能，第一过辊4可以替换为导电辊，为导电薄膜提供阴极电，增加镀膜效率，另一方面，如果为了节省成本，在第一过辊4可以替换为导电辊后，也可以将第一对导电辊2的中下面的导电辊替换为过辊，只要在走膜路径上可以对薄膜的双面同时导电即可。本实用新型实施例中的导电辊和过辊的具体设置本实用新型不做具体限制。另外，电镀槽中的上下阳极板7也可以设置为两对，分别设置在第二过辊8的两侧，可以更进一步增加镀膜效率。
56.由于蒸镀或者磁控溅射镀膜所得到的薄膜镀层的厚度小于用水电镀的方式所得的薄膜的镀层的厚度，本实用新型实施例通过对蒸镀后的薄膜进行水电镀，不仅可以快速增加薄膜上的待镀金属材料的厚度，增加镀膜效率，还能节约成本。
57.在一些实施例中，第一转向辊41、第二转向辊42、第三转向辊43和第四转向辊44的表面为耐高温的材料，例如绝缘橡胶层，丁晴橡胶等，且与第二承载架12转动连接；第一蒸镀源51、第二蒸镀源52、第三蒸镀源53和第四蒸镀源54分别与第二承载架12可拆卸连接。通过在转向辊的表面设置耐高温的绝缘橡胶层，避免电镀过程中温度过高烫伤转向辊。同时，蒸镀源可拆卸的连接，便于管理和运输。
58.在一些实施例中，第一放卷部21、第二放卷部22、第一转向辊41和第二转向辊42的中心轴线在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在第一蒸镀源51和第二蒸镀源52的上方成水平走带，能够使待蒸镀的材料均匀蒸镀在第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面上，提高了镀膜的质量。
59.在一些实施例中，第一收卷部31、第二收卷部32、第三转向辊43和第四转向辊44的中心轴线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜分别在第三蒸镀源53和第四蒸镀源54的上方成水平走带，能够使待蒸镀的材料均匀地蒸镀在第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面上，提高了镀膜的质量。
60.在一些实施例中，如图5和图6所示，蒸镀装置还包括挤压机构，挤压机构包括第一挤压辊61和第二挤压辊，第一挤压辊61和第二挤压辊62对称地安装于第二承载架12上，且分别与第一转向辊41和第二转向辊42滚动接触。
61.在一些实施例中，如图7所示，挤压机构还包括第三挤压辊63和第四挤压辊64，第三挤压辊63和第四挤压辊64对称地安装于第二承载架12上，且分别与第三转向辊43和第四转向辊44滚动接触。
62.通过设置挤压辊，能够给予薄膜施加一个挤压力，增加蒸镀材料与薄膜的粘结力，
一般挤压辊表面的材质为橡胶材质，或者其他比较柔软的材料，例如耐温性能较好的橡胶，如氯醇橡胶等，避免对薄膜造成破损。
63.在一些实施例中，第一蒸镀源51与第三蒸镀源53在竖直方向上的间隔为60-100cm，第二蒸镀源52与第四蒸镀源54在竖直方向上的间隔为60-100cm；在蒸镀过程中，蒸发源与蒸发源之间的距离最好为60-100cm，两者之间间距不能过远，因为过远会占据过多的空间，也就是蒸镀架的空间，并且距离较远蒸发源的蒸镀材料层积到薄膜上会需要较多时间，从而降低效率；另外，薄膜从蒸发源的上面走带时，薄膜与蒸发源之间的距离最好为40-50cm，薄膜与蒸发源之间的这个距离使得薄膜不易被蒸镀材料的高温烫坏。
64.本实施例中，各部件的功能如下：第一放卷部21和第二放卷部22分别用于对待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜进行放膜，第一蒸镀源51和第二蒸镀源分别用于对经过其上方的待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜的第一面进行蒸镀，第一转向辊41和第二转向辊42，分别用于将待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由水平方向转变为竖直方向，第三转向辊43和第四转向辊44，分别用于将待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜的运动方向由竖直方向转变为水平方向；第三蒸镀源53和第四蒸镀源，分别用于对经过其上方的待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜的第二面进行蒸镀；第一收卷部31和第二收卷部分别用于对第一面和第二面均完成蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。
65.本实用新型实施例通过在承载架上设置两组镀膜部件，可以同时蒸镀两卷薄膜，通过设置转向辊和多个蒸镀源，可以同时对两卷薄膜进行双面蒸镀，大大提高了镀膜效率，也提高了真空空间的利用率。
66.在一些实施例中，第一承载架11和第二承载架12上分别设置有多个安装座，安装座包括轴承座和轴承，轴承竖直安装于轴承座中，第一放卷部21、第二放卷部22、第一收卷部31、第二收卷部32、第一转向辊41、第二转向辊42、第三转向辊43和第四转向辊44分别通过多个安装座与第一承载架11或第二承载架12可拆卸的转动连接，便于拆卸、运输和管理。
67.本实用新型实施例提供的一种薄膜生产系统，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以对薄膜进行蒸镀，还可以对蒸镀后的薄膜进行水电镀，从而快速增厚金属层。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率。
68.如图2所示，本实用新型实施例提供了一种真空蒸镀机构该真空蒸镀机构包括：真空腔室10，以及设置在真空腔室10中的蒸镀装置，其中，蒸镀装置包括承载单元、放卷单元、收卷单元、第一转向单元、第二转向单元、第一蒸镀源单元和第二蒸镀源单元，其中，
69.承载单元包括：第一承载架11和第二承载架12，第一承载架11和第二承载架12竖直设置在真空腔室10的底部，第一承载架11和第二承载架12在一条直线上，并且具有一定的间隔，例如50～100cm；
70.放卷单元包括：第一放卷部21和第二放卷部22，第一放卷部21和第二放卷部22对称安装于第一承载架11上；
71.收卷单元包括：第一收卷部31和第二收卷部32，分别位于第一放卷部21和第二放
卷部22的上方并且对称安装于第一承载架11上；
72.第一转向单元包括：第一转向辊41和第二转向辊42，对称安装于第二承载架12上；
73.第二转向单元包括：第三转向辊43和第四转向辊44，分别位于第一转向辊41和第二转向辊42的上方并且对称安装于第二承载架12上；
74.第一蒸镀源单元包括：第一蒸镀源51和第二蒸镀源52，对称安装于第二承载架12上；第一蒸镀源51位于第一放卷部21和第一转向辊41之间，且在竖直方向上的安装高度分别低于第一放卷部21的最低点和第一转向辊41的最低点，第二蒸镀源52位于第二放卷部22和第二转向辊42之间，并且在竖直方向上的安装高度分别低于第二放卷部22的最低点和第二转向辊42的最低点；
75.第二蒸镀源单元包括：第三蒸镀源53和第四蒸镀源54，分别位于第一蒸镀源51和第二蒸镀源52的上方，并且对称安装于第二承载架12上；第三蒸镀源53位于第一收卷部31和第三转向辊43之间，且在竖直方向上，第三蒸镀源53的顶部最高点要分别低于第一收卷部31的最高点和第三转向辊43最高点，第四蒸镀源54位于第二收卷部32和第四转向辊44之间，且在竖直方向上，第四蒸镀源54的顶部的最高点分别低于第二收卷部32的顶部的最高点和第四转向辊44顶部的最高点。
76.本实用新型实施例提供的真空蒸镀机构，包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率以及真空空间利用率。
77.实施例三
78.如图8所示，本实用新型实施例提供了一种薄膜蒸镀方法，该薄膜蒸镀方法应用于上述任意一种薄膜生产系统，薄膜蒸镀方法包括如下步骤：
79.s81，将待蒸镀的第一卷薄膜安装于第一放卷部21，并将待蒸镀的第二卷薄膜安装于第二放卷部22上；
80.s82，通过第一转向辊41和第三转向辊43对待蒸镀的第一卷薄膜进行导向，使第一卷薄膜依次经过第一蒸镀源51和第三蒸镀源53以进行双面蒸镀，通过第二转向辊42和第四转向辊44对待蒸镀的第二卷薄膜进行导向，使待蒸镀的第二卷薄膜依次经过第二蒸镀源52和第四蒸镀源54以进行双面蒸镀；
81.s83，通过第一收卷部31对蒸镀后的第一卷薄膜进行收卷，并通过第二收卷部32对蒸镀后的第二卷薄膜进行收卷；
82.s84，通过搬运机构将蒸镀后的第一卷薄膜和蒸镀后的第二卷薄膜搬运至水电镀机构；
83.s85，通过水电镀机构对蒸镀后的第一卷薄膜和蒸镀后的第二卷薄膜进行水电镀。
84.本实用新型实施例提供的薄膜生产方法，不仅可以对薄膜进行蒸镀，还可以对薄膜进行水电镀；另外，本实用新型提供的薄膜生产方法，可以同时蒸镀两卷薄膜，不仅提高了生产效率还提高了真空空间的利用率。
85.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，对于蒸镀源的数量和转向辊的数量可以根据真空空间以及蒸镀单元的大小任意调整，本实用新型不做限制。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便
于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
86.本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
87.虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。