一种ITO粉料的装粉装置的制作方法

本技术涉及靶材成型，特别是涉及一种ito粉料的装粉装置。

背景技术：

1、目前工业大规模生产ito靶材的主要方法是气氛烧结法，该法可以使ito坯体烧结致密，而且能够大批量连续生产大尺寸靶材，生产成本低，ito靶材缺氧率低，微观组织均匀，可以制备高档次的ito靶材。

2、气氛烧结法中成型工艺对ito靶材的质量有着相当重要的影响。目前主要的ito靶材成型工艺有：(1)钢模冷等静压(cip)成型；(2)注浆成型。前者属于干法成型，由于工艺简单，方便操作，易于掌握，非常适合制备各种尺寸的ito靶坯。后者属于湿法成型，这类方法成型的ito靶坯需要在特性的温度与湿度下经过长时间的干燥过程，对ito靶材的生产非常不利，不适合现代化的高技术企业。

3、ito靶材在cip成型时，需要将ito粉料放置在外模框，将ito粉料放置在外模框内，然后用液体在高压下将ito粉料压制成实体，过程中使用冷等静压模具会造成外模框进水开裂等问题。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是：ito靶材在cip成型时，需要将ito粉料放置在外模框，将ito粉料放置在外模框内，然后用液体在高压下将ito粉料压制成实体，过程中使用冷等静压模具会造成外模框进水开裂等问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种ito粉料的装粉装置，其包括：外模框、密封垫片、密封座、螺杆以及密封罩；所述外模框上开设有用于排气的第一螺纹孔；所述密封座上开设有第二螺纹孔；所述密封座上设置有螺纹支撑柱；所述密封罩的内壁设置有与所述螺纹支撑柱相适配的内螺纹；所述密封座通过所述内螺纹与所述螺纹支撑柱螺纹连接；所述螺杆依次穿设所述第二螺纹孔、所述密封垫片以及所述第一螺纹孔。

3、可选的，所述密封垫片呈圆柱状；所述密封座呈圆柱状；所述密封罩呈圆柱状；所述螺纹支撑柱呈圆柱状；所述密封垫片、所述密封座、所述密封罩以及所述螺纹支撑柱同轴设置。

4、可选的，所述密封垫片的邵氏硬度30-60度。

5、可选的，所述密封垫片的厚度大于2mm；所述密封垫片的直径大于40mm。

6、可选的，所述密封座的直径与所述密封垫片的直径一致。

7、可选的，所述密封罩的邵氏硬度大于70度。

8、可选的，所述第一螺纹孔的直径大于10mm。

9、可选的，所述密封垫片为聚氨酯密封垫片。

10、本实用新型实施例一种ito粉料的装粉装置与现有技术相比，其有益效果在于：

11、本实用新型实施例在需要对第一螺纹孔进行密封防水时，首先通过将密封垫片贴合外模框的外壁，然后将密封座贴合在密封垫片上，然后通过螺杆依次将穿设第二螺纹孔、密封垫片以及第一螺纹孔以将外模框、密封垫片以及密封座相固定，然后将密封罩套设通过螺纹连接的方式与螺纹支撑柱相连接，以使密封座与外模框之间通过密封垫片进行密封，密封座与密封罩之间通过内螺纹与螺纹支撑柱进行密封，以此实现对第一螺纹孔的密封作用。

技术特征：

1.一种ito粉料的装粉装置，其特征在于，包括：外模框、密封垫片、密封座、螺杆以及密封罩；所述外模框上开设有用于排气的第一螺纹孔；所述密封座上开设有第二螺纹孔；所述密封座上设置有螺纹支撑柱；所述密封罩的内壁设置有与所述螺纹支撑柱相适配的内螺纹；所述密封座通过所述内螺纹与所述螺纹支撑柱螺纹连接；所述螺杆依次穿设所述第二螺纹孔、所述密封垫片以及所述第一螺纹孔。

2.根据权利要求1所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封垫片呈圆柱状；所述密封座呈圆柱状；所述密封罩呈圆柱状；所述螺纹支撑柱呈圆柱状；所述密封垫片、所述密封座、所述密封罩以及所述螺纹支撑柱同轴设置。

3.根据权利要求2所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封垫片的邵氏硬度30-60度。

4.根据权利要求2所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封垫片的厚度大于2mm；所述密封垫片的直径大于40mm。

5.根据权利要求4所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封座的直径与所述密封垫片的直径一致。

6.根据权利要求2所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封罩的邵氏硬度大于70度。

7.根据权利要求2所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述第一螺纹孔的直径大于10mm。

8.根据权利要求2所述的ito粉料的装粉装置，其特征在于，所述密封垫片为聚氨酯密封垫片。

技术总结本技术涉及靶材成型技术领域，公开了一种I TO粉料的装粉装置，其包括：外模框、密封垫片、密封座、螺杆以及密封罩；外模框上开设有用于排气的第一螺纹孔；密封座上开设有第二螺纹孔；密封座上设置有螺纹支撑柱；密封座通过所述内螺纹与所述螺纹支撑柱螺纹连接；所述螺杆依次穿设所述第二螺纹孔、所述密封垫片以及所述第一螺纹孔。本技术通过螺杆依次将穿设第二螺纹孔、密封垫片以及第一螺纹孔以将外模框、密封垫片以及密封座相固定，然后将密封罩套设通过螺纹连接的方式与螺纹支撑柱相连接，以使密封座与外模框之间通过密封垫片进行密封，密封座与密封罩之间通过内螺纹与螺纹支撑柱进行密封，以此实现对第一螺纹孔的密封作用。技术研发人员：马胜,康洙男,余芳,李帅受保护的技术使用者：先导薄膜材料（广东）有限公司技术研发日：20230901技术公布日：2024/6/11