清洁刷的制作方法

1.本公开涉及原子层沉积设备清洁技术领域，具体地，涉及一种清洁刷。背景技术：2.相关技术中，原子层沉积设备的顶齿件的多个顶齿往往会出现脏污的情况，但是顶齿之间的间距特别窄且数量多，清洁工作困难。另外，相关技术中，往往操作人员利用硅片包裹无尘布进行擦拭，该方式比较耗时，且有划伤手指的风险，安全系数低。技术实现要素：3.本公开的目的是提供一种清洁刷，该清洁刷能够解决相关技术中存在的技术问题。4.为了实现上述目的，本公开提供一种清洁刷，所述清洁刷用于对原子层沉积设备的顶齿件进行清洁，所述清洁刷包括刷柄，所述刷柄的端部形成有多个刷槽，多个所述刷槽沿所述刷柄的宽度方向间隔设置，所述刷槽沿所述刷柄的长度方向延伸并用于供所述顶齿件的顶齿插入，以用于使所述刷槽的内壁对所述顶齿进行清洁。5.可选地，所述刷柄包括多个刷柄杆，多个所述刷柄杆沿所述宽度方向依次排布连接，且每个所述刷柄杆包括刷柄杆本体、第一刷齿以及第二刷齿，所述第一刷齿和所述第二刷齿连接于所述刷柄杆本体沿所述长度方向的同一端，所述第一刷齿和所述第二刷齿均沿所述长度方向延伸并沿所述宽度方向间隔设置，且所述刷柄杆本体、所述第一刷齿以及所述第二刷齿共同限定出所述刷槽。6.可选地，所述第一刷齿或所述第二刷齿远离所述刷柄杆本体的一端形成有第一斜面，所述第一斜面和所述第二刷齿或所述第一刷齿限定出与所述刷槽连通的引导通道。7.可选地，所述第一刷齿远离所述刷柄杆本体的一端形成有所述第一斜面，所述第二刷齿远离所述刷柄杆本体的一端形成有第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面限定出与所述刷槽连通的引导通道，所述引导通道沿逐渐远离所述刷槽的方向上呈渐扩状。8.可选地，所述刷槽沿所述长度方向的尺寸为第一尺寸，所述引导通道沿所述长度方向的尺寸为第二尺寸，所述第一尺寸和所述第二尺寸的和用于大于所述顶齿的长度。9.可选地，所述第一刷齿沿所述宽度方向靠近所述第二刷齿的第一侧面铺覆有第一清洁绒，和/或，所述第二刷齿沿所述宽度方向靠近所述第一刷齿的第二侧面铺覆有第二清洁绒。10.可选地，相邻两个所述刷槽沿所述宽度方向上的尺寸用于与相邻两个所述顶齿之间的尺寸相同。11.可选地，每个所述刷柄杆的所述第一刷齿和所述第二刷齿沿所述宽度方向上的尺寸在0.8mm至1mm之间。12.可选地，所述刷柄杆中的第一刷齿、第二刷齿以及刷柄杆本体一体成型。13.可选地，至少部分相邻两个所述刷柄杆通过粘接层进行粘接。14.可选地，所述刷柄由聚酮材质制成。15.在上述技术方案中，通过在刷柄的端部形成有多个刷槽，且刷槽沿刷柄的长度方向延伸并用于供顶齿件的顶齿插入，以使刷槽的内壁对顶齿进行清洁，从而可以有效地将顶齿上的污垢清除，保证顶齿件的顶齿的清洁度。并且操作人员在使用该清洁刷时，只需要将顶齿插入至刷槽内，并操作清洁刷进行往复移动，以实现对顶齿表面的清洁。操作方式简单且安全系数高，有效地避免对操作人员造成伤害。16.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明17.附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：18.图1是本公开一种实施方式的清洁刷的结构示意图，并且该图中还示意出了顶齿件，且清洁刷与顶齿件处于相互配合的状态。19.附图标记说明[0020]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ刷柄ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ10ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ刷槽[0021]11ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ刷柄杆ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ110ꢀꢀꢀꢀꢀ刷柄杆本体[0022]111ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ第一刷齿ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1110ꢀꢀꢀꢀ第一斜面[0023]1111ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ第一侧面ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ112ꢀꢀꢀꢀꢀ第二刷齿[0024]1120ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ第二斜面ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1121ꢀꢀꢀꢀ第二侧面[0025]20ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ引导通道ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ100ꢀꢀꢀꢀꢀ顶齿件[0026]101ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ顶齿具体实施方式[0027]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。[0028]如图1所示，本公开提供一种清洁刷，该清洁刷用于对原子层沉积设备的顶齿件100进行清洁，清洁刷包括刷柄1，刷柄1的端部形成有多个刷槽10，多个刷槽10沿刷柄1的宽度方向间隔设置，刷槽10沿刷柄1的长度方向延伸并用于供顶齿件100的顶齿101插入，以用于使刷槽10的内壁对顶齿101进行清洁。[0029]在上述技术方案中，通过在刷柄1的端部形成有多个刷槽10，且刷槽10沿刷柄1的长度方向延伸并用于供顶齿件100的顶齿101插入，以使刷槽10的内壁对顶齿101进行清洁，从而可以有效地将顶齿101上的污垢清除，保证顶齿件10的顶齿101的清洁度。并且操作人员在使用该清洁刷时，只需要将顶齿101插入至刷槽10内，并操作清洁刷进行往复移动，以实现对顶齿101表面的清洁。操作方式简单且安全系数高，有效地避免对操作人员造成伤害。[0030]在一种实施方式中，参照图1所示，刷柄1包括多个刷柄杆11，多个刷柄杆11沿宽度方向依次排布连接，且每个刷柄杆11包括刷柄杆本体110、第一刷齿111以及第二刷齿112，第一刷齿111和第二刷齿112连接于刷柄杆本体110沿长度方向的同一端，第一刷齿111和第二刷齿112均沿长度方向延伸并沿宽度方向间隔设置，且刷柄杆本体110、第一刷齿111以及第二刷齿112共同限定出刷槽10。[0031]也即，在该实施方式中，刷柄1由多个刷柄杆11构造而成，并且每个刷柄杆11上均设置有上述的刷槽10。多个刷柄杆11沿宽度方向依次排布连接，既可以可拆卸的连接，也可以固定连接，例如可以通过粘接层(未图示)进行粘接，本公开对此不作限定。在可拆卸的连接方式下，当其中一个或多个刷柄杆11出现损害时，无需整体更换刷柄1，只需要将对应损坏的刷柄杆11进行更换即可。另外，在进行清洁时，第一刷齿111和/或第二刷齿112可以插入至相邻的两个顶齿101之间的缝隙内，清扫刷在进行清扫时，利用第一刷齿111和/或第二刷齿112可以将相邻两个顶齿101内的杂物进行清除，从而更好地对顶齿件100进行清洁。[0032]可选地，参照图1所示，第一刷齿111或第二刷齿112远离刷柄杆本体110的一端形成有第一斜面1110，第一斜面1110和第二刷齿112或第一刷齿111限定出与刷槽10连通的引导通道20。该引导通道20用于引导顶齿101插入至刷槽10内，便于顶齿101插入至刷槽10内。[0033]可选地，参照图1所示，第一刷齿111远离刷柄杆本体110的一端形成有第一斜面1110，第二刷齿112远离刷柄杆本体110的一端形成有第二斜面1120，第一斜面1110和第二斜面1120限定出与刷槽10连通的引导通道20，引导通道20沿逐渐远离刷槽10的方向上呈渐扩状，通过设置该呈渐扩状的引导通道20，可以更好地引导顶齿101插入至刷槽10内。[0034]在一种实施方式中，刷槽10沿长度方向的尺寸为第一尺寸，引导通道20沿长度方向的尺寸为第二尺寸，第一尺寸和第二尺寸的和用于大于顶齿101的长度。从而避免顶齿101触碰到刷槽10的底部而出现损坏的情况，在实现对顶齿101的清洁的同时，保证顶齿101不受损坏，保证该顶齿101的完整性。[0035]在其他的实施方式中，第一刷齿111沿宽度方向靠近第二刷齿112的第一侧面1111铺覆有第一清洁绒，和/或，第二刷齿112沿宽度方向靠近第一刷齿111的第二侧面1121铺覆有第二清洁绒。通过设置该第一清洁绒和/或第二清洁绒可以更好地提高清洁的效果。[0036]可选地，相邻两个刷槽10沿宽度方向上的尺寸用于与相邻两个顶齿101之间的尺寸相同。这样当多个顶齿101插入至对应的多个刷槽10内时，可以沿一特定方向依次进行清洁，避免出现顶齿101未清洁到位的情况。[0037]在一种实施方式中，顶齿101沿宽度方向上的尺寸可以为0.7mm，对应的，刷柄杆11的第一刷齿111和第二刷齿112沿宽度方向上的尺寸可以在0.8mm至1mm之间，在保证顶齿101能够插入的同时，也能够使得顶齿101能够尽可能地靠近第一刷齿111和/或第二刷齿112，第一刷齿111和/或第二刷齿112对顶齿101进行清洁。[0038]可选地，刷柄杆11中的第一刷齿111、第二刷齿112以及刷柄杆本体110一体成型，便于进行制造加工。[0039]在材料的选择上，刷柄1可以由聚酮材质制成，耐磨性好的同时且重量轻，便于操作人员进行清扫操作。但是本公开并不对该刷柄1的具体材质作限定。[0040]以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。[0041]另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。[0042]此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。