一种牙盘扳手及真空镀膜结构的制作方法

本技术涉及牙盘，尤其涉及一种牙盘扳手及真空镀膜结构。

背景技术：

1、在半导体或者光伏行业中，真空镀膜工序会大量使用到真空泵，由于制程中会产生一定的粉尘，致使真空泵使用寿命缩短，因此经常需要专业维修技术人员拆解维修。

2、在拆解维修真空泵的过程中，没有专用的维修治具，经常会将一些精密的零部件损坏，尤其是在拆解轴系结构中，会将牙盘损坏，导致轴系结构无法进行拆解，最后只能使用破坏拆解方法。

3、现有的拆解和安装方法是用通力型一字螺丝批嵌在牙盘的齿形槽中，用手锤进行敲击，其要点是在敲击过程中通力型一字螺丝批要严格和牙盘的齿形槽进行贴合，否则就会出现跳齿的情况，损坏其他牙盘齿形，同时要把通力型一字螺丝批的受力方向尽量朝向牙盘齿根的切线方向，使牙盘在切线方向获得最大的受力，减少牙盘所受的径向力，将牙盘振松，但是这个操作过程经常会出现通力型一字螺丝批从牙盘齿根位置将齿牙切断，导致牙盘崩坏。

4、也即是，在破坏拆解切割的过程中极容易造成其他零部件的二次损坏，且对拆解人员的技能要求极高，实施过程比较困难，并且，在安装真空泵轴系结构时，需要反复多次调整牙盘，才可以调整出轴系结构中转子与腔体端面之间要求的装配间隙值，导致真空泵的维修效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种牙盘扳手及真空镀膜结构，以保证真空泵的维修效率。

2、第一方面，本实用新型提供一种牙盘扳手，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：

3、牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；

4、所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。

5、采用上述技术方案时，本实用新型实施例提供的用于拆解或安装真空泵的轴系结构，牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装，在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

6、在一些实施方式中，每侧所述牙盘锯齿结构包括多个牙盘锯齿，通过在牙盘扳手本体上端两侧设置牙盘锯齿以保证牙盘扳手和牙盘的啮合效果。

7、在一些实施方式中，每侧所述牙盘锯齿结构的多个牙盘锯齿的个数取值大于或者等于8齿，且小于或者等于12齿。

8、在一些实施方式中，所述牙盘锯齿结构对应的牙盘锯齿为t型直齿。

9、在一些实施方式中，所述牙盘锯齿结构设置于齿牙布置在以所述牙盘的中心点为原点，以所述牙盘的中心横轴为角度起点的5°-25°和155°-175°之间，可以保证牙盘扳手本体和牙盘的啮合效果。

10、在一些实施方式中，所述牙盘扳手本体两端均设置有圆弧倒角，可以有效防止划伤零部件和工作人员，所述牙盘扳手本体的厚度范围为3-6毫米。

11、在一些实施方式中，所述牙盘扳手本体下端为凸形燕尾结构，通过所述凸形燕尾结构与所述牙盘手柄完成连接。

12、在一些实施方式中，所述牙盘手柄的上端为凹形燕尾结构，所述牙盘扳手本体和所述牙盘手柄通过所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构进行嵌套安装。

13、在一些实施方式中，所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构中均设置有锥形半圆孔，两个所述锥形半圆孔形成锥形孔，在所述锥形孔内设置有锥形销，所述锥形孔和所述锥形销实现自锁功能。

14、第二方面，本实用新型还提供一种真空镀膜结构，包括真空泵和第一方面任一所述的牙盘扳手，其中，所述牙盘扳手与所述真空泵的轴系结构固定连接设置或者可拆卸连接设置，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装，在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

技术特征：

1.一种牙盘扳手，其特征在于，用于拆解或安装真空泵的轴系结构，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：

2.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，每侧所述牙盘锯齿结构包括多个牙盘锯齿。

3.根据权利要求2所述的牙盘扳手，其特征在于，每侧所述牙盘锯齿结构的多个牙盘锯齿的个数取值大于或者等于8齿，且小于或者等于12齿。

4.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘锯齿结构对应的牙盘锯齿为t型直齿。

5.根据权利要求2所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘锯齿结构设置于齿牙布置在以所述牙盘的中心点为原点，以所述牙盘的中心横轴为角度起点的5°-25°和155°-175°之间。

6.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘扳手本体两端均设置有圆弧倒角；所述牙盘扳手本体的厚度范围为3-6毫米。

7.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘扳手本体下端为凸形燕尾结构，通过所述凸形燕尾结构与所述牙盘手柄完成连接。

8.根据权利要求7所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘手柄的上端为凹形燕尾结构，所述牙盘扳手本体和所述牙盘手柄通过所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构进行嵌套安装。

9.根据权利要求8所述的牙盘扳手，其特征在于，所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构中均设置有锥形半圆孔，两个所述锥形半圆孔形成锥形孔，在所述锥形孔内设置有锥形销，所述锥形孔和所述锥形销实现自锁功能。

10.一种真空镀膜结构，其特征在于，包括真空泵和权利要求1-9任一所述的牙盘扳手，其中，所述牙盘扳手与所述真空泵的轴系结构固定连接设置或者可拆卸连接设置。

11.根据权利要求10所述的真空镀膜结构，其特征在于，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手和所述牙盘固定连接设置或者可拆卸连接设置。

技术总结本技术公开一种牙盘扳手及真空镀膜结构，涉及牙盘技术领域。用于拆解或安装真空泵的轴系结构，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。技术研发人员：郭毅,马瑞东,鲁寅南,王浩受保护的技术使用者：宁夏隆基光电科技有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/2