一种夹具及载盘固定方法与流程

本申请涉及芯片键合工艺，尤其涉及一种夹具及使用方法。

背景技术：

1、晶体振荡器被称为电子设备的“心脏”，用来产生系统需要的频率信号。金丝键合是实现微波多芯片组件电气互联的关键技术，可以直接影响电路的可靠性和稳定性。芯片键合工序主要进行芯片与晶片的电信号的键合连接加工，键合丝的键合强度是保证晶振正常工作的重要因素，因此芯片键合工序是晶体振荡器生产过程中的关键工序。

2、键合丝拉力试验用于测试键合丝的键合强度，最常用的是金属钩直拉法，最常用的键合丝是25μm的金丝，也称为金丝拉力测试。全自动金丝拉力测试技术的应用可以大大提高金丝键合强度检测的效率，降低人为操作带来的人因误差。但在全自动拉力测试过程中仍然会出现的芯片识别有误、光照下金丝黑白显像不清等影响拉力测试完成时间和检测合格率的问题，经验证主要是由长时间的拉力测试过程中，设备勾拉金丝时，装有芯片的载盘出现位移，致使测试中出现识别金丝成像不清，无法聚焦识别的现象，从而降低拉力测试的合格率，芯片键合原材料浪费等问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种夹具及载盘固定方法，解决了金丝拉力测试中载盘位移的问题。

2、本申请实施例提供一种夹具，用于将载盘固定到设备承载台上，包括平板。所述平板中间设置有开口，开口正对载盘上的晶振。所述平板上设置有连接部，用于可拆卸的固定连接平板和设备承载台。所述平板下表面有凹槽，用于容纳载盘且限位载盘在设备承载台上的水平移动。

3、其中还包含一种实施例，所述凹槽深度与载盘厚度一致，平板对载盘施加垂直水平面的压力。

4、其中还包含一种实施例，所述平板为金属材质。

5、其中还包含一种实施例，所述平板表面涂防静电材料。

6、其中还包含一种实施例，所述连接部为销槽。所述平板四角均匀布置销槽。所述销槽为垂直于平板板面的圆柱形贯通槽孔，与平台的通孔重合，通过圆柱销将平板和设备承载台固定连接。

7、其中还包含一种实施例，所述开口为若干长条形状开口，均匀且平行的设置在平板中间。

8、其中还包含一种实施例，所述长条形开口的宽度与晶振宽度一致。

9、其中还包含一种实施例，晶振穿入开口内，晶振上表面与平板上表面齐平。

10、其中还包含一种实施例，所述平板下表面四周边缘有凹口，用于方便抬起平板。

11、本申请实施例提供一种载盘固定方法，使用本申请任意一项实施例所述的夹具，包含步骤：

12、将平板上的开口对准载盘上的晶振；

13、放置平板，确认凹槽卡住载盘；

14、将平板和设备承载台固定连接。

15、本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

16、本申请大大降低了载盘位移的几率，提高了产品单板测试的合格率；降低在拉力测试过程中由于震动造成的位移误差累积所产生的载盘位置变化，提高芯片的图像识别效率；在测试过程中，夹具拆卸方便；避免出现产品非破坏性测试时芯片键合原材料浪费。

技术特征：

1.一种夹具，用于将载盘固定到设备承载台上，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

10.一种载盘固定方法，其特征在于，使用权利要求1-9任意一项所述夹具，包含步骤：

技术总结本申请公开了一种夹具及载盘固定方法，解决了金丝拉力测试中载盘位移的问题。一种夹具，用于将载盘固定到设备承载台上，包括平板，平板中间设置有开口，开口正对载盘上的晶振，平板上设置有连接部，用于可拆卸的固定连接平板和设备承载台，平板下表面有凹槽，用于容纳载盘且限位载盘在设备承载台上的水平移动。本申请覆盖全部尺寸的晶振产品，使用时安装拆卸非常方便，在拉力测试过程中对载盘起到固定的作用，大大提高拉力测试产品合格率。技术研发人员：高远,董胜南,王勇跃,郑文强,刘小光受保护的技术使用者：北京无线电计量测试研究所技术研发日：技术公布日：2024/6/5