传片机械手的制作方法

本发明涉及半导体生产设备，尤其涉及一种传片机械手。

背景技术：

1、当前半导体行业中，普遍采用r-theta坐标系或平面坐标系机械手进行芯片传输操作，但此类机械手普遍存在动作迟缓、传输效率低下等问题，尤其在应对大行程且要求快速传输的应用场合下，现有的机械手技术性能难以满足高效精准的传片需求。

技术实现思路

1、本发明提供一种传片机械手，用以满足现有技术中半导体行业内对快速传片工艺的迫切需求。

2、本发明提供一种传片机械手，包括：

3、执行末端，用于获取及释放产品；

4、旋转驱动机构，连接所述执行末端，用于驱动所述执行末端水平旋转；

5、升降机构，包括升降座和升降驱动结构，所述升降驱动结构设置于所述升降座，与所述旋转驱动机构连接，所述升降驱动结构运行时适于驱动所述执行末端和所述旋转驱动机构升降；

6、平移驱动机构，连接所述升降座，用于驱动升降座水平往复移动。

7、根据本发明提供的一种传片机械手，所述平移驱动机构包括：

8、滑台，水平设置并直线延伸，所述滑台与所述升降座的底部可滑动地配合连接；

9、平移驱动件，连接所述滑台和所述升降座，所述平移驱动件适于驱动所述升降座沿所述滑台往复滑动。

10、根据本发明提供的一种传片机械手，所述平移驱动件包括第一直线电机和第一位移传感器，所述第一直线电机连接所述滑台和所述升降座，用于驱动升降座沿所述滑台往复滑动，所述第一位移传感器与所述第一直线电机的控制电路连接，用于获取所述升降座的位移信息。

11、根据本发明提供的一种传片机械手，所述升降驱动结构包括：

12、安装座，与所述升降座竖向滑接配合，所述安装座与所述旋转驱动机构和所述执行末端连接；

13、升降驱动件，设置于所述升降座，连接所述安装座，适于驱动所述安装座沿所述升降座竖向滑动。

14、根据本发明提供的一种传片机械手，所述升降驱动件采用双同步带驱动形式。

15、根据本发明提供的一种传片机械手，所述升降座设置有方形导轨，所述方形导轨竖向设置；

16、所述安装座包括滑套、座板和滚动配合组件，所述滑套套设于所述方形导轨外侧，所述滚动配合组件与所述滑套连接，并与所述方形导轨的侧壁滚动配合，所述方形导轨的每一侧对应至少两个沿竖向排列的所述滚动配合组件，所述座板与所述滑套的一侧固定连接，所述座板与所述滑套连接位置的下侧设置有加强筋板，所述座板与所述旋转驱动机构和所述执行末端连接。

17、根据本发明提供的一种传片机械手，所述滚动配合组件包括：

18、安装筒，所述安装筒的一端与所述滑套的内壁固定连接，另一端朝向所述方形导轨；

19、滚动件，与所述方形导轨滚动接触；

20、滑块，与所述滚动件转动连接，并与所述安装筒可伸缩地插接配合；

21、伸缩驱动件，设置于所述安装筒内；

22、压力传感器，设置于所述伸缩驱动件与所述滑块之间，用于采集所述伸缩驱动件与所述滑块之间的压力；

23、控制器，分别与所述压力传感器和所述伸缩驱动件信号连接，配置为基于所述压力传感器的信号控制所述伸缩驱动件，以将所述伸缩驱动件与所述滑块之间的压力控制在预设范围内。

24、根据本发明提供的一种传片机械手，所述旋转驱动机构包括：

25、转接轴，竖向设置，与所述执行末端固定连接，并与所述安装座转动连接；

26、旋转驱动件，与所述转接轴连接，用于驱动所述转接轴水平转动。

27、根据本发明提供的一种传片机械手，所述旋转驱动件为直接驱动电机。

28、根据本发明提供的一种传片机械手，所述执行末端包括：

29、安装臂，连接所述旋转驱动机构，适于在所述旋转驱动机构的驱动下水平旋转；

30、指部，所述指部与所述安装臂水平滑动连接，所述指部为真空吸盘装置；

31、第二直线电机，连接所述安装臂和所述指部，用于驱动所述指部水平滑动。

32、本发明提供的传片机械手，通过旋转驱动机构、升降机构和平移驱动机构能够实现执行末端的角度调整、升降和平移，满足现有技术中半导体行业内对快速传片工艺的需求。

技术特征：

1.一种传片机械手，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传片机械手，其特征在于，所述平移驱动机构包括：

3.根据权利要求2所述的传片机械手，其特征在于，所述平移驱动件包括第一直线电机和第一位移传感器，所述第一直线电机连接所述滑台和所述升降座，用于驱动升降座沿所述滑台往复滑动，所述第一位移传感器与所述第一直线电机的控制电路连接，用于获取所述升降座的位移信息。

4.根据权利要求1所述的传片机械手，其特征在于，所述升降驱动结构包括：

5.根据权利要求4所述的传片机械手，其特征在于，所述升降驱动件采用双同步带驱动形式。

6.根据权利要求4或5所述的传片机械手，其特征在于，所述升降座设置有方形导轨，所述方形导轨竖向设置；

7.根据权利要求6所述的传片机械手，其特征在于，所述滚动配合组件包括：

8.根据权利要求4或5所述的传片机械手，其特征在于，所述旋转驱动机构包括：

9.根据权利要求8所述的传片机械手，其特征在于，所述旋转驱动件为直接驱动电机。

10.根据权利要求1所述的传片机械手，其特征在于，所述执行末端包括：

技术总结本发明涉及半导体生产设备技术领域，提供一种传片机械手。传片机械手包括执行末端、旋转驱动机构、升降机构和平移驱动机构；执行末端用于获取及释放产品；旋转驱动机构连接所述执行末端，用于驱动所述执行末端水平旋转；升降机构包括升降座和升降驱动结构，所述升降驱动结构设置于所述升降座，与所述旋转驱动机构连接，所述升降驱动结构运行时适于驱动所述执行末端和所述旋转驱动机构升降；平移驱动机构连接所述升降座，用于驱动升降座水平往复移动。本发明提供的传片机械手，通过旋转驱动机构、升降机构和平移驱动机构能够实现执行末端的角度调整、升降和平移，满足现有技术中半导体行业内对快速传片工艺的需求。技术研发人员：尹诚诚,刘冬梅,王勇,王强受保护的技术使用者：北京锐洁机器人科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5