一种新型抛光垫开孔模具的制作方法

本技术属于抛光垫，具体而言，涉及一种新型抛光垫开孔模具。

背景技术：

1、抛光垫开孔属于加工抛光垫中的一部分，而直接购买成品抛光垫价格较高，手动开孔也存在一些弊端。

2、目前，抛光垫手动开孔至少需要两个人共同完成；抛光垫开孔加工中，将有圆孔的模具放在上面，另一块圆板放在下面，二者之间为抛光垫。两块圆板与抛光垫整齐叠放后，一个人进行开孔，另一个人需负责稳固模具和抛光垫位置，防止加工中抛光垫与圆孔模具发生错位情况；此方法耗时耗力，开孔加工时间长，参与人员多；开孔过程中，抛光垫与圆孔模具位置容易发生移动，造成孔的位置与抛光机上药孔的位置不完全吻合，开孔效果差；同时，修复后的小孔边缘粗糙，容易对晶片的上表面造成划伤。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案为：

2、一种新型抛光垫开孔模具，包括：

3、圆孔模具，所述圆孔模具为无下底面的空心圆柱体，所述圆孔模具的上底面设置有多个通孔；

4、底托，所述底托包括底板和圆柱体，所述圆柱体的一端与所述底板固定连接，所述圆柱体的另一端延伸至所述圆孔模具的内腔中，用于放置抛光垫。

5、进一步地，所述圆孔模具的通孔与抛光机的药孔对应设置。

6、进一步地，所述圆柱体的直径比所述圆孔模具的内腔直径小。

7、进一步地，所述圆柱体的高比所述圆孔模具的内腔高低。

8、进一步地，所述圆柱体靠近所述底板的一端设置有第一螺旋纹，所述圆孔模具的下底端内腔壁上设置有与所述第一螺旋纹相匹配的第二螺旋纹。

9、进一步地，所述底板为圆形，所述底板与所述圆柱体同心设置。

10、进一步地，所述底板的半径等于所述圆孔模具的外表面半径。

11、本实用新型的有益效果：

12、1、省时省力，开孔时间短，一个人便能单独完成；

13、2、开孔过程中，抛光垫的位置不会发生移动，圆孔的位置与药孔位置完全吻合，无需进行圆孔修复；

14、3、通孔边缘圆滑，不易对晶片表面造成划伤，使晶片加工后外观效果好。

技术特征：

1.一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述圆孔模具的通孔与抛光机的药孔对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述圆柱体的直径比所述圆孔模具的内腔直径小。

4.根据权利要求3所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述圆柱体的高比所述圆孔模具的内腔高低。

5.根据权利要求4所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述圆柱体靠近所述底板的一端设置有第一螺旋纹，所述圆孔模具的下底端内腔壁上设置有与所述第一螺旋纹相匹配的第二螺旋纹。

6.根据权利要求1所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述底板为圆形，所述底板与所述圆柱体同心设置。

7.根据权利要求6所述的一种新型抛光垫开孔模具，其特征在于，所述底板的半径等于所述圆孔模具的外表面半径。

技术总结本技术公开了一种新型抛光垫开孔模具，属于抛光垫技术领域，其包括圆孔模具，所述圆孔模具为无下底面的空心圆柱体，所述圆孔模具的上底面设置有多个通孔；底托，所述底托包括底板和圆柱体，所述圆柱体的一端与所述底板固定连接，所述圆柱体的另一端延伸至所述圆孔模具的内腔中，用于放置抛光垫。本技术大大减少了人工劳动成本，省时省力，开孔时间短；同时，通孔边缘圆滑，不易对晶片表面造成划伤，使晶片加工后外观效果好。技术研发人员：房强,赵波受保护的技术使用者：保定通美晶体制造有限责任公司技术研发日：20231020技术公布日：2024/6/11