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一种下料用防压篮机械臂的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-08 11:06:56

本技术涉及硅片加工,尤其涉及一种下料用防压篮机械臂。

背景技术:

1、硅片在加工过程中经过打磨等操作后,表面会存在大量的污渍,就需要将其进行清洗,一般时将硅片放置在硅片篮中通过机械臂起吊的方式在清洗池中进行清洗。

2、如申请号为cn208854619u的专利一种带防压篮保护的机械臂所公开的,现有技术中确实存在机械手提篮时,如果发生脱钩等异常,plc控制器仍是记忆槽内篮已被提出,继续执行正常情况下的程序,将下一篮放入槽内,产生压篮,造成工件和设备的损坏,为了解决此类问题,我们提出一种下料用防压篮机械臂。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种下料用防压篮机械臂。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

3、一种下料用防压篮机械臂,包括伸缩机械臂立柱、硅片篮和设置于伸缩机械臂立柱一侧的机械手横臂,所述机械手横臂的底部固定连接有两个固定板,两个所述固定板的一侧均固定连接有两个卡杆,多个所述卡杆的一端均固定连接有限位板,所述硅片篮位于两个固定板之间,所述硅片篮的两侧均开设有两个避位槽,且卡杆与避位槽卡接,多个所述避位槽的一侧均开设有限位槽,限位槽内滑动连接有挡住卡杆的楔形块,楔形块的一侧固定连接有两个弹簧,且弹簧与限位槽相固定。

4、作为本实用新型再进一步的方案,所述限位槽的顶部开设有滑槽,滑槽内滑动连接有固定块,且固定块与楔形块相固定。

5、作为本实用新型再进一步的方案,所述固定块的外侧套接有橡胶套。

6、作为本实用新型再进一步的方案,所述限位槽的一侧固定连接有对楔形块进行导向的滑杆。

7、作为本实用新型再进一步的方案,所述硅片篮的顶部设有多个第一感应块,且第一感应块均匀分布。

8、作为本实用新型再进一步的方案,所述硅片篮的底部设有多个与第一感应块位置相对应的第二感应块。

9、作为本实用新型再进一步的方案,所述伸缩机械臂立柱的顶端设有报警器,且第一感应块和第二感应块与报警器电性连接。

10、作为本实用新型再进一步的方案,所述伸缩机械臂立柱的底端固定连接有固定脚。

11、本实用新型的有益效果为:

12、1.通过楔形块和弹簧的配合使用,使用楔形块挡住卡杆,从而可以防止硅片篮与机械手横臂发生脱钩的情况,避免了压篮的情况产生,提高了机械臂的使用效果。

13、2.通过第一感应块、第二感应块和报警器的配合使用,当第一感应块和第二感应块接触时,会使报警器发出警报,从而提醒工作人员发生压篮的情况,方便工作人员及时进行调整,进一步提高了机械臂的使用效果。

技术特征:

1.一种下料用防压篮机械臂,包括伸缩机械臂立柱(1)、硅片篮(6)和设置于伸缩机械臂立柱(1)一侧的机械手横臂(2),其特征在于,所述机械手横臂(2)的底部固定连接有两个固定板(5),两个所述固定板(5)的一侧均固定连接有两个卡杆(13),多个所述卡杆(13)的一端均固定连接有限位板(14),所述硅片篮(6)位于两个固定板(5)之间,所述硅片篮(6)的两侧均开设有两个避位槽(12),且卡杆(13)与避位槽(12)卡接,多个所述避位槽(12)的一侧均开设有限位槽(17),限位槽(17)内滑动连接有挡住卡杆(13)的楔形块(11),楔形块(11)的一侧固定连接有两个弹簧(16),且弹簧(16)与限位槽(17)相固定。

2.根据权利要求1所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述限位槽(17)的顶部开设有滑槽(18),滑槽(18)内滑动连接有固定块(10),且固定块(10)与楔形块(11)相固定。

3.根据权利要求2所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述固定块(10)的外侧套接有橡胶套(9)。

4.根据权利要求1所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述限位槽(17)的一侧固定连接有对楔形块(11)进行导向的滑杆(15)。

5.根据权利要求1所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述硅片篮(6)的顶部设有多个第一感应块(7),且第一感应块(7)均匀分布。

6.根据权利要求5所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述硅片篮(6)的底部设有多个与第一感应块(7)位置相对应的第二感应块(8)。

7.根据权利要求6所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述伸缩机械臂立柱(1)的顶端设有报警器(4),且第一感应块(7)和第二感应块(8)与报警器(4)电性连接。

8.根据权利要求7所述的一种下料用防压篮机械臂,其特征在于,所述伸缩机械臂立柱(1)的底端固定连接有固定脚(3)。

技术总结本技术公开了一种下料用防压篮机械臂,包括伸缩机械臂立柱、硅片篮和设置于伸缩机械臂立柱一侧的机械手横臂,所述机械手横臂的底部固定连接有两个固定板,两个所述固定板的一侧均固定连接有两个卡杆,多个所述卡杆的一端均固定连接有限位板,所述硅片篮位于两个固定板之间,所述硅片篮的两侧均开设有两个避位槽,且卡杆与避位槽卡接,多个所述避位槽的一侧均开设有限位槽。本技术不仅能够防止硅片篮与机械手横臂发生脱钩的情况,避免了压篮的情况产生,提高了机械臂的使用效果,而且能够提醒工作人员发生压篮的情况,方便工作人员及时进行调整,进一步提高了机械臂的使用效果。技术研发人员:朱仁德,冯培良受保护的技术使用者:无锡京运通科技有限公司技术研发日:20231019技术公布日:2024/6/13

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