光学数模转换器及其形成方法与流程

本申请的实施例涉及光学数模转换器及其形成方法。

背景技术：

1、马赫-曾德尔调制器(mzm)是一种干涉结构，其使用相长和/或相消干涉来调制电磁波(例如光)。典型的mzm配置为将光学输入信号分成沿着两个不同路径行进的两个光束。可以选择性地将相移引入沿着其中一个路径延伸的光束中。这两个光束随后被合并以形成光学输出信号。通过控制相移的值，可以控制两个光束之间的干涉以调制光学输出信号的幅度。

技术实现思路

1、根据本申请的实施例的一个方面，提供了一种光学数模转换器，包括：第一波导路径，配置为接收第一光学信号；第二波导路径，配置为接收第二光学信号；第一相移器区段，与第一波导路径和第二波导路径对接，第一相移器区段配置为响应于第一数字输入而选择性地在第一光学信号和第二光学信号之间产生第一相移；第二相移器区段，与第一波导路径和第二波导路径对接，第二相移器区段配置为响应于第二数字输入而选择性地在第一光学信号和第二光学信号之间产生第二相移；以及其中，第一数字输入和第二数字输入对应于数字信号的不同位。

2、根据本申请的实施例的另一个方面，提供了一种光学数模转换器，包括：第一相移器区段，包括在第一长度上延伸的第一多个掺杂区，第一多个掺杂区形成第一p-n结和第二p-n结；第二相移器区段，包括在不同于第一长度的第二长度上延伸的第二多个掺杂区，多个第二掺杂区形成第三p-n结和第四p-n结；第一波导路径，具有第一路径长度并延伸穿过第一p-n结和第三p-n结；以及第二波导路径，具有第二路径长度并延伸穿过第二p-n结和第四p-n结，第二路径长度大于第一路径长度。

3、根据本申请的实施例的又一个方面，提供了一种形成光学数模转换器的方法，包括：执行第一注入工艺以将具有第一掺杂类型的掺杂剂注入到衬底中以形成第一对掺杂区和第二对掺杂区；执行第二注入工艺以将具有第二掺杂类型的掺杂剂注入到衬底中以形成第三对掺杂区和第四对掺杂区，第三对掺杂区沿着分别具有第一长度的第一对pn结与第一对掺杂区邻接，并且第四对掺杂区沿着分别具有第二长度的第二对pn结与第二对掺杂区邻接；和图案化衬底以形成具有第一路径长度的第一波导路径和具有第二路径长度的第二波导路径，第一波导路径及第二波导路径分别延伸穿过第一对pn结中的一个和第二对pn结的一个。

技术特征：

1.一种光学数模转换器，包括：

2.根据权利要求1所述的光学数模转换器，还包括：

3.根据权利要求1所述的光学数模转换器，其中，所述第一相移器区段包括具有第一类型掺杂的第一掺杂区和具有第二掺杂类型的第二掺杂区。

4.根据权利要求1所述的光学数模转换器，其中，所述第一相移器区段包括沿着所述第一波导路径延伸第一长度的第一p-n结，并且所述第二相移器区段包括沿着所述第一波导路径延伸第二长度的第二p-n结。

5.根据权利要求1所述的光学数模转换器，其中，所述第一波导路径具有比所述第二波导路径更小的路径长度。

6.根据权利要求5所述的光学数模转换器，还包括：

7.根据权利要求1所述的光学数模转换器，其中，所述第二相移器区段位于所述第一相移器区段的下游。

8.一种光学数模转换器，包括：

9.根据权利要求8所述的光学数模转换器，还包括：

10.一种形成光学数模转换器的方法，包括：

技术总结本公开涉及一种光学数模转换器(DAC)及其形成方法。光学DAC包括配置为接收第一光学信号的第一波导路径和配置为接受第二光学信号的第二波导路径。第一相移器区段与第一和第二波导路径对接。第一相移器区段配置为响应于第一数字输入而选择性地在第一光学信号和第二光学信号之间产生第一相移。第二相移器区段与第一和第二波导路径对接。第二相移器区段配置为响应于第二数字输入而选择性地在第一光学信号和第二光学信号之间产生第二相移。第一数字输入和第二数字输入对应于数字信号的不同位。技术研发人员：锺铭洋,周淳朴,卓联洲,斯帝芬·鲁苏,汤承哲,黄泰钧,鲁又诚受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/12