一种用于柔性膜衬底压印的装置的制作方法

本技术涉及柔性膜压印，具体涉及一种用于柔性膜衬底压印的装置。

背景技术：

1、纳米压印技术是将已制备好的模具压入液态阻蚀剂，在机械力条件下使阻蚀剂产生物理变形而实现阻蚀剂图形化，可以直接压印制备台阶结构、三维结构、线宽20nm至上百微米的图形，具有工艺周期短、可大批量重复制备的优势，在微纳制造领域具有重要地位。

2、现目前热压印技术和紫外压印技术，都是把已涂覆光刻胶的硬质母板通过真空吸附在一个平面，然后在把柔性的膜覆盖在其表面进行压印得到柔性的复制板，再用柔性的复制板去在硅、玻璃等硬质衬底上压印结构。而柔性膜衬底由于厚度薄，高弹性模量，在真空吸附时会产生形变表面极度不平整，导致不能旋涂、无法压印，从而不能实现在柔性膜衬底表面压印结构。卷对卷压印技术，其在硬质辊轴表面加工图形，通过滚动的方式在柔性膜衬底上压印，但是其具有图形的辊轴易损坏，成本高，加工精度低，本质上也是硬质材料对柔性材料的压印方式，并不是柔性材料对柔性材料的压印。

技术实现思路

1、1、实用新型要解决的技术问题

2、本实用新型提供了一种用于柔性膜衬底压印的装置，解决了柔性膜衬底由于厚度薄，高弹性模量，在真空吸附时会产生形变导致表面极度不平整，从而不能旋涂、无法压印的问题，实现了在柔性膜衬底，如：pet(聚脂薄膜)、ldpe(聚乙烯薄膜)、bopp(聚丙烯薄膜)等材质衬底上大面积制备微纳结构。

3、2、技术方案

4、为解决上述问题，本实用新型提供的技术方案为：

5、一种用于柔性膜衬底压印的装置，包括底座，所述底座为两端凸起的凹陷结构，底座前后侧面开设有用于左右限位移动的导向槽，所述底座凹陷部位的一侧固定设有驱动电机，所述底座内滑动设有支撑臂，驱动电机和支撑臂左端点之间连接设有驱动带，所述底座左右两侧凸起的两端上固定设有盖板，左右两侧的所述盖板之间设置有弹性支撑层，所述盖板上侧设有滚动的压印辊轴，所述盖板下侧设有滚动的支撑辊轴。

6、进一步地，所示支撑臂为“l”形结构，所述支撑臂下侧端壁上设有滚轮，所述滚轮设置与所述导向槽内并在所述导向槽内左右移动，所述支撑臂直角转弯处设置有轴，所述支撑臂直角转弯处设置的轴上安装有支撑辊轴。

7、进一步地，与所述驱动电机反方向的一侧的所述盖板端部设有限位栓。

8、进一步地，弹性支撑层包括弹性支撑膜和弹性材料层，弹性材料层位于两层弹性支撑膜之间被两层弹性支撑膜覆盖，弹性支撑膜两端分别与左右两侧盖板连接。

9、进一步地，所述压印辊轴轴心与所述支撑臂直角转弯处设置的轴之间连接右拉伸弹簧，拉伸弹簧下侧连接轴与支撑辊轴为同轴，所述支撑臂左端与所述压印辊轴轴心之间连接设有可伸缩的连接臂，连接臂一端与压印辊轴轴心连接，另一端与支撑臂左端点连接并可绕其转动。

10、进一步地，所述底座材质为金属合金。

11、进一步地，所述盖板材质为金属合金、树脂有机玻璃或无机玻璃中的一种。

12、进一步地，所述弹性支撑层厚度为400微米至3000微米。

13、有益效果

14、采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

15、本实用新型通过设置两个纵向排列的辊轴，再在两个辊轴间设置一层弹性支撑层。解决了柔性膜衬底由于高弹性模量，在真空吸附时产生形变导致表面极度不平整，从而不能旋涂、压印的问题，实现了在pet(聚脂薄膜)、ldpe(聚乙烯薄膜)、bopp(聚丙烯薄膜)等柔性膜衬底上大面积压印制备微纳结构。

技术特征：

1.一种用于柔性膜衬底压印的装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)为两端凸起的凹陷结构，底座(1)前后侧面开设有用于左右限位移动的导向槽(11)，所述底座(1)凹陷部位的一侧固定设有驱动电机(81)，所述底座(1)内滑动设有支撑臂(21)，驱动电机(81)和支撑臂(21)左端点之间连接设有驱动带(91)，所述底座(1)左右两侧凸起的两端上固定设有盖板(41)，左右两侧的所述盖板(41)之间设置有弹性支撑层(3)，所述盖板(41)上侧设有滚动的压印辊轴(71)，所述盖板(41)下侧设有滚动的支撑辊轴(31)。

2.如权利要求1所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，所示支撑臂(21)为“l”形结构，所述支撑臂(21)下侧端壁上设有滚轮，所述滚轮设置与所述导向槽(11)内并在所述导向槽(11)内左右移动，所述支撑臂(21)直角转弯处设置有轴，所述支撑臂(21)直角转弯处设置的轴上安装有支撑辊轴(31)。

3.如权利要求1所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，与所述驱动电机(81)反方向的一侧的所述盖板(41)端部设有限位栓(51)。

4.如权利要求1所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，弹性支撑层(3)包括弹性支撑膜(13)和弹性材料层(23)，弹性材料层(23)位于两层弹性支撑膜(13)之间被两层弹性支撑膜(13)覆盖，弹性支撑膜(13)两端分别与左右两侧盖板(41)连接。

5.如权利要求2所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，所述压印辊轴(71)轴心与所述支撑臂(21)直角转弯处设置的轴之间连接右拉伸弹簧(61)，拉伸弹簧(61)下侧连接轴与支撑辊轴(31)为同轴，所述支撑臂(21)左端与所述压印辊轴(71)轴心之间连接设有可伸缩的连接臂(33)，连接臂(33)一端与压印辊轴(71)轴心连接，另一端与支撑臂(21)左端点连接并可绕其转动。

6.如权利要求1所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，所述底座(1)材质为金属合金。

7.如权利要求1所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，所述盖板(41)材质为金属合金、树脂有机玻璃或无机玻璃中的一种。

8.如权利要求4所述的一种用于柔性膜衬底压印的装置，其特征在于，所述弹性支撑层(3)厚度为400微米至3000微米。

技术总结本技术公开了一种用于柔性膜衬底压印的装置，包括底座，所述底座为两端凸起的凹陷结构，底座前后侧面开设有用于左右限位移动的导向槽，所述底座凹陷部位的一侧固定设有驱动电机，所述底座内滑动设有支撑臂，驱动电机和支撑臂左端点之间连接设有驱动带，所述底座左右两侧凸起的两端上固定设有盖板，左右两侧的所述盖板之间设置有弹性支撑层，所述盖板上侧设有滚动的压印辊轴，所述盖板下侧设有滚动的支撑辊轴。技术研发人员：陆雨,龙眈受保护的技术使用者：杭州欧光芯科技有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/5/16