具有包含斜表面的闩锁的光罩盒的制作方法

本公开涉及用于光罩的存储及/或运送的盒，特定来说，包含具有包含斜表面的介接表面的盒段的盒。

背景技术：

1、光罩通常在包含内盒及外盒的光罩盒中被运送、处理及存储。内盒经配置使得其可在光罩的处理期间使用，例如在例如极紫外(euv)过程的光刻中使用。内盒的使其适合于在光罩处理(例如滤光器、密封的形成)中使用的特征部及/或内盒的其它特征部可使内盒更复杂及昂贵，且较不适合于光罩的存储。

技术实现思路

1、本公开涉及用于光罩的存储及/或运送的盒，特定来说，包含具有包含斜表面的介接表面的盒段的盒。

2、光罩盒可使用包含至少一个斜表面的介接表面来提供夹持力以闭合所述盒且夹持装纳在其中的光罩。可通过分别设置于第一及第二段上的第一及第二斜表面的接口将光罩盒固持在一起。斜表面的接口可将第一及第二段固持在一起，使得其在设置于第一及第二段中的每一者中的光罩接触件处夹持光罩，使得光罩被固定在形成在储料盒内的光罩容纳空间内。此可改进光罩的夹持，从而即使在光罩盒的移动或冲击事件(例如光罩盒被撞击或掉落)期间仍固定光罩。

3、光罩盒可为储料盒。储料盒可通过比传统光罩盒体积小而容许更高存储密度，且可通过仅包含涉及光罩存储的特征部而非用于光罩处理的特征部(例如滤光器、盒的密封或类似物)而具有降低的成本。储料盒可包含一或多个流动路径，其可容许冲洗气体流动通过储料盒以排出氧气、水、颗粒物质、其它污染物或类似物以保护所装纳的光罩，且因此改进总体过程产量。流动路径可为光罩盒的段之间的间隙。可在储料盒容器中使用多个光罩盒来存储数个光罩，其中储料盒容器提供适合于光罩的存储的环境，例如，包含通过储料盒的冲洗气体流。

4、在实施例中，一种物品包含光罩盒。所述光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

5、在实施例中，当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径。在实施例中，所述冲洗气体流动路径由所述第一光罩盒段与所述第二光罩盒段之间的间隙形成。在实施例中，所述间隙在从0.5到6毫米(mm)的范围内。在实施例中，所述间隙由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件中的每一者的高度及所述光罩的厚度形成。

6、在实施例中，所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含多个光罩接触凸台，且其中所述第一多个光罩接触件中的至少一些或所述第二多个光罩接触件中的至少一些部分安置在所述多个光罩接触凸台中。

7、在实施例中，所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件包含聚醚醚酮(peek)材料。

8、在实施例中，所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段中的至少一者包含铝。

9、在实施例中，所述第一接口表面及所述第二接口表面两者为斜表面。

10、在实施例中，所述第二接口表面中的每一者安置在所述第二光罩盒段的外表面上。在实施例中，开口设置于所述第二光罩盒段上，所述开口经配置以容许包含所述第一接口表面的闩锁部件本体的部分通过所述开口，且其中所述开口邻近于所述第二接口表面中的每一者定位。

11、在实施例中，所述第二接口表面中的每一者安置在凸缘上，每一凸缘在组装所述光罩盒时突出朝向所述第一光罩盒段。

12、在实施例中，所述闩锁中的每一者包含：通道；闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。在实施例中，选择所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度及所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的摩擦系数，使得当所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，闩锁主体阻挡从所述闩锁位置退出。在实施例中，所述第一接口表面中的每一者及所述第二接口表面中的每一者的角度是30°或更小。

13、在实施例中，一种存储光罩的方法包含将所述光罩放置到光罩盒中。所述光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。

14、在实施例中，当所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触时，所述光罩盒界定从所述光罩盒的外部通过所述光罩空间的冲洗气体流动路径，且其中所述方法进一步包括提供通过所述冲洗气体流动路径的冲洗气体流。

15、在实施例中，所述闩锁中的每一者包含：通道；闩锁部件本体，其经配置以可在所述通道内移动，所述闩锁部件本体包含所述多个第一接口表面中的一者；及弹簧，所述弹簧经配置以沿着所述通道驱动所述闩锁部件本体，使得所述闩锁部件本体被驱动朝向所述闩锁位置。将所述光罩放置到所述物品中包含：将所述闩锁部件本体中的每一者牵引到解锁位置中；将所述第一光罩盒段及所述第二光罩盒段带到一起，使得所述光罩由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件接触；及释放所述闩锁部件本体中的每一者，使得所述弹簧可将所述闩锁部件本体驱动到所述闩锁位置。

16、在实施例中，一种光罩存储系统包含：盒容器；冲洗气体供应器；及多个光罩盒，其各自经配置以装纳在所述盒容器内。每一光罩盒包含第一光罩盒段，其中所述第一光罩盒包含多个第一光罩接触件及多个闩锁，且所述多个闩锁中的每一者包含第一接口表面。所述光罩盒进一步包含第二光罩盒段，所述第二光罩盒段包含多个第二光罩接触件及多个第二接口表面。所述多个闩锁的所述第一接口表面中的每一者经配置以当所述第一接口表面处于闩锁位置时接触所述多个第二接口表面中的一者。所述第一接口表面及所述第二接口表面中的一者或两者是斜表面。所述光罩盒经配置以将光罩容纳在光罩容纳空间中，使得当所述光罩位于所述光罩容纳空间内且所述第一接口表面接触所述第二接口表面时，由所述多个第一光罩接触件及所述多个第二光罩接触件夹持所述光罩。