一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法与流程

本发明涉及光刻，具体为一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法。

背景技术：

1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，光刻胶能够吸收外部光线，并转化成化学反应，常用的光刻胶通常能够感受到紫外线或可见光波长的光线，而光刻胶聚合组合物是由光刻胶单体通过聚合反应得到的高分子化合物，光刻胶聚合组合物是实际应用中的光刻胶材料，其特性包括悬浮性、黏度、溶解性等，影响着光刻胶在芯片制造过程中的表现，具有优异的成膜性能、附着性、耐化学性等，能够确保光刻胶在光刻过程中的稳定性和可靠性，同时，可以帮助实现微米级甚至纳米级的芯片制造工艺，并且不断进行研究和改进以满足不断变化的工艺需求。

2、现有光刻胶单体及其聚合组合物在进行制备过程中，光刻胶单体或聚合物在不同温度下可能表现出不同的性能，对温度变化较为敏感，导致光刻效果不稳定，并且，在光照条件下易发生反应，其光敏感性还可能受到环境光照、光源波长等因素影响，导致性能不稳定。

3、为此，我们研发出了新的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法。

技术实现思路

1、解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，解决了现有光刻胶单体及其聚合组合物在进行制备过程中，光刻胶单体或聚合物对温度变化和在光照条件下较为敏感，导致性能不稳定的问题。

3、技术方案

4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，包括以下具体步骤：

5、s1、选取原料：组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、光稳定剂、增塑剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂和溶剂，按照重量份进行称取；

6、s2、初步搅拌混合：将s1中的组合树脂、聚合单体、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯和溶剂均加入小型混合搅拌机中，进行均匀搅拌，搅拌机转速控制98-110r/min，搅拌3-5min，搅拌完毕后静置5-10min，得混合物；

7、s3、进步搅拌混合：将s2中得到的混合物以及s1中的光引发剂、光稳定剂、增塑剂、活性稀释剂均加入小型混合搅拌机中，进行均匀搅拌，搅拌机转速控制在75-100r/min，搅拌10-15min，搅拌完毕后得基料；

8、s4、过滤：将s3中制得的基料用0.02μm及以下孔径的滤膜过滤，得到最终光刻胶混合物；

9、s5、浸泡冲洗：将s4中制备得到的光刻胶混合物浸泡在溶剂中，进行浸润和溶解，得到光刻胶混合物溶液；

10、s6、超声震荡：使用超声波设备对s5中的光刻胶混合物溶液进行超声震荡；

11、s7、干燥处理：最后将s6中处理后的光刻胶混合物溶液放置在通风处或使用氮气吹干，进行干燥，最终得到成品光刻胶聚合组合物；

12、优选的，所述s1中原料重量份为：组合树脂30-45份、聚合单体6-12份、散射粒子4-6份、光引发剂5-10份、光稳定剂4-8份、增塑剂5-12份、乳酸乙酯8-16份、丙二醇甲基醚乙酸酯6-12份、活性稀释剂4-6份和溶剂90-110份；

13、优选的，所述s1和s3中进行搅拌的温度为30-50℃。

14、优选的，所述s5中的溶剂为丙酮。

15、优选的，所述s7中氮气风力设置为0.2-1m/s，温度为20-50℃。

16、优选的，所述s1中的组合树脂由聚酰胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂组成。

17、优选的，所述s1中的光引发剂由1173光引发剂、184光引发剂和tpo-l光引发剂组成。

18、优选的，所述s1中的光稳定剂为uv120光稳定剂，所述s1中的增塑剂为dop二辛酯；

19、有益效果

20、本发明提供了一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法。具备以下有益效果：

21、该种通过光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，通过采用由聚酰胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂组成的组合树脂可以通过调节不同树脂的配比和组合方式，可以灵活地调节光刻胶的物理性能、化学性能和光学性能，满足不同应用领域的需求，可以改善光刻胶的工艺稳定性，使其在制备过程中更容易操作，减少制备过程中的变化和不确定性，并且，可以提高光刻胶的质量稳定性和一致性，确保最终制备的光刻胶单体及其聚合组合物具有优异的性能和可靠性；

22、该种通过光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，通过在搅拌过程中，加入光稳定剂和增塑剂可以提高光刻胶的抗紫外线性能，降低光照引起的分解和老化速度，延长光刻胶的使用寿命，保持其稳定性和可靠性，而适量的增塑剂可以调节光刻胶的折射率、透光性和散射性等光学性能，有助于优化光刻胶在光刻过程中的表现，提高成品的质量；

技术特征：

1.一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于，包括以下具体步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s1中原料重量份为：组合树脂30-45份、聚合单体6-12份、散射粒子4-6份、光引发剂5-10份、光稳定剂4-8份、增塑剂5-12份、乳酸乙酯8-16份、丙二醇甲基醚乙酸酯6-12份、活性稀释剂4-6份和溶剂90-110份。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s2和s3中进行搅拌的温度为30-50℃。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s5中的溶剂为丙酮。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s7中氮气风力设置为0.2-1m/s，温度为20-50℃。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s1中的组合树脂由聚酰胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂组成。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s1中的光引发剂由1173光引发剂、184光引发剂和tpo-l光引发剂组成。

8.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，其特征在于：所述s1中的光稳定剂为uv120光稳定剂，所述s1中的增塑剂为dop二辛酯。

技术总结本发明提供一种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，涉及光刻技术领域。该种光刻胶单体及其聚合组合物的制备方法，包括以下具体步骤：S1、选取原料：组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、光稳定剂、增塑剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂和溶剂，按照重量份进行称取；S2、初步搅拌混合：将S1中的组合树脂、聚合单体、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯和溶剂均加入小型混合搅拌机中，进行均匀搅拌，搅拌机转速控制98‑110r/min，搅拌3‑5min，搅拌完毕后静置5‑10min，得混合物。通过采用组合树脂、光稳定剂和增塑剂，减少制备过程中的变化和不确定性，同时，提高光刻胶的抗紫外线性能，延长光刻胶的使用寿命，保持其稳定性和可靠性。技术研发人员：王桥,杨遇春,刘启升,卜江受保护的技术使用者：珠海市容大感光科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27