一种用于掩膜版条纹观察装置的制作方法

本技术涉及掩膜版生产，具体为一种用于掩膜版条纹观察装置。

背景技术：

1、在掩膜版制造行业，条纹是掩膜版主要的缺陷之一，条纹的存在会导致下游行业产品出现潜在的品质风险，为了验证光刻机的条纹表现，工程师们会在曝光客户订单前进行小板测试来验证光刻条纹的程度。

2、目前，在掩膜版制造行业，测试版条纹观测主要是通过工程师肉眼，手持小板(一般是6寸)在不同角度下，通过白光射灯照射，对工程师的个人经验和专业性要求极高。此外，由于是手持小板观测，极易污染板材，对观测带来不小的干扰；且传统的工程师手持观测条纹，无法统一观测条件，存在随机性和主观性，个体差别大，而且条纹再现性差，不利于实现标准化和规范化。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于掩膜版条纹观察装置，避免了由于通过工作人员手持掩膜版进行观测而导致掩膜版出现污染的情况，提高了掩膜版标准化以及规范化的条纹检测，提高了观测效率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版进行观测的观测机构，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座上的支撑板、以及设置在旋转组件上的夹持组件，支撑板上端面设置有旋转组件，平面调节组件调节支撑板板面的倾斜方向；

3、夹持组件包括四个呈圆周阵列设置在旋转组件上且两两单独配合的卡爪、以及设置在旋转组件上并驱动两两单独配合的卡爪进行相互靠近或相互远离的夹持件；

4、观测机构包括设置在移动组件上的调高组件、设置在调高组件上的调向组件、以及设置在调向组件上的白光射灯，白光射灯上设置有调节白光射灯光聚焦的调教旋钮。

5、优选的，旋转组件包括设置在第一旋转槽内的第一旋转台、以及设置在第一旋转槽内并驱动第一旋转台沿竖直方向轴线进行转动的电机，支撑板顶端端面开设有第一旋转槽，第一旋转台上设置夹持件和卡爪。

6、优选的，第一旋转台顶端端面上开设有两个开口长度方向相互垂直的限位槽，且两个限位槽的中部位置相互贯通；夹持件包括两根分别沿长度方向穿设于不同限位槽内的双向螺杆、四根呈圆周阵列分别一一对应设置在限位槽开口位置上的支撑条、以及套设于两根双向螺杆两端杆身上且分别与双向螺杆螺纹连接的四个螺纹块，四个螺纹块均设置在限位槽内且分别与四个支撑条一一对应连接；四个支撑条上侧面相互远离的一端端部上均设置卡爪。

7、优选的，平面调节组件包括四个底端呈圆周阵列设置在底座上端面上且杆身沿竖直方向设置的升降螺杆、四根分别与四根升降螺杆一一对应且通过底端套设于升降螺杆上的升降臂、以及设置在升降臂顶端与支撑板底端端面连接的连接件，升降臂与升降螺杆螺纹连接，四根升降螺杆分别通过镶嵌于底座内的升降电机驱动。

8、优选的，支撑板底端端面呈圆周阵列设置有四根分别一一对应设于四根升降臂上的斜杆，四根斜杆顶端分别与支撑板底端端面固定连接，底端通过连接块进行连接；连接件包括设置在升降臂顶端上的万向球套、以及设置在万向球套内并与万向球套配合的万向球，万向球通过连接杆连接位于万向球上方的斜杆。

9、优选的，移动组件包括底端端面设置滚轮的移动台，移动台上设置调高组件。

10、优选的，调高组件包括底端垂直设置在移动台顶端端面上的调节臂、底端活动贯穿调节臂顶端端面于调节臂内的调节杆、以及设置在调节臂内并驱动调节杆内进行升降的驱动结构，调节杆顶端连接调向组件。

11、优选的，调向组件包括设置在调节杆顶端上的第一转动块、设置在第一转动块上并与第一转动块转动连接的第二转动块、设置在第二转动块上且上端面开设第二旋转槽的固定块、以及设置在第二旋转槽内并通过电机驱动且与白光射灯连接的第二旋转台，第一转动块上设置有带动第二转动块进行转动的转动电机。

12、本实用新型的有益效果：

13、1、通过夹持件带动两两单独配合的卡爪相互靠近或相互远离，从而便于对放置于四个卡爪内不同尺寸的掩膜版进行夹持固定。

14、2、其中夹持件通过旋转组件设置在支撑板上，且支撑板通过平面调节组件设置在底座上，通过平面调节组件调节支撑板板面的倾斜方向和旋转组件带动被卡爪固定掩膜版进行转动，从而便于调节经夹持固定掩膜版的倾斜状态以及朝向，从而便于观测机构对掩膜版进行观测，避免了由于通过工作人员手持掩膜版进行观测而导致掩膜版出现污染的情况，提高了掩膜版标准化以及规范化的条纹检测，提高了观测效率。

15、3、通过调高组件和调向组件便于调节白光射灯的光线方向，并与夹持机构相互配合，通过参数化来调整掩膜版观测的流程，规范化了条纹检测，提高了观测效率。

技术特征：

1.一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版(14)固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版(14)进行观测的观测机构，其特征在于，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座(1)上的支撑板(9)、以及设置在旋转组件上的夹持组件，支撑板(9)上端面设置有旋转组件，平面调节组件调节支撑板(9)板面的倾斜方向；

2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：旋转组件包括设置在第一旋转槽(10)内的第一旋转台(11)、以及设置在第一旋转槽(10)内并驱动第一旋转台(11)沿竖直方向轴线进行转动的电机，支撑板顶端端面开设有第一旋转槽(10)，第一旋转台(11)上设置夹持件和卡爪(13)。

3.根据权利要求2所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：第一旋转台(11)顶端端面上开设有两个开口长度方向相互垂直的限位槽(25)，且两个限位槽(25)的中部位置相互贯通；夹持件包括两根分别沿长度方向穿设于不同限位槽(25)内的双向螺杆(26)、四根呈圆周阵列分别一一对应设置在限位槽(25)开口位置上的支撑条(12)、以及套设于两根双向螺杆(26)两端杆身上且分别与双向螺杆(26)螺纹连接的四个螺纹块，四个螺纹块均设置在限位槽(25)内且分别与四个支撑条(12)一一对应连接；四个支撑条(12)上侧面相互远离的一端端部上均设置卡爪(13)。

4.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：平面调节组件包括四个底端呈圆周阵列设置在底座(1)上端面上且杆身沿竖直方向设置的升降螺杆(3)、四根分别与四根升降螺杆(3)一一对应且通过底端套设于升降螺杆(3)上的升降臂(4)、以及设置在升降臂(4)顶端与支撑板(9)底端端面连接的连接件，升降臂(4)与升降螺杆(3)螺纹连接，四根升降螺杆(3)分别通过镶嵌于底座(1)内的升降电机(2)驱动。

5.根据权利要求4所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：支撑板(9)底端端面呈圆周阵列设置有四根分别一一对应设于四根升降臂(4)上的斜杆(7)，四根斜杆(7)顶端分别与支撑板(9)底端端面固定连接，底端通过连接块(8)进行连接；连接件包括设置在升降臂(4)顶端上的万向球套(5)、以及设置在万向球套(5)内并与万向球套(5)配合的万向球(6)，万向球(6)通过连接杆连接位于万向球(6)上方的斜杆(7)。

6.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：移动组件包括底端端面设置滚轮(16)的移动台(15)，移动台(15)上设置调高组件。

7.根据权利要求6所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：调高组件包括底端垂直设置在移动台(15)顶端端面上的调节臂(17)、底端活动贯穿调节臂(17)顶端端面于调节臂(17)内的调节杆(18)、以及设置在调节臂(17)内并驱动调节杆(18)内进行升降的驱动结构，调节杆(18)顶端连接调向组件。

8.根据权利要求7所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：调向组件包括设置在调节杆(18)顶端上的第一转动块(19)、设置在第一转动块(19)上并与第一转动块(19)转动连接的第二转动块(20)、设置在第二转动块(20)上且上端面开设第二旋转槽的固定块(21)、以及设置在第二旋转槽内并通过电机驱动且与白光射灯(23)连接的第二旋转台(22)，第一转动块(19)上设置有带动第二转动块(20)进行转动的转动电机。

技术总结本技术提供一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版进行观测的观测机构，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座上的支撑板、以及设置在支撑板上端面设置旋转组件上的夹持组件，平面调节组件调节支撑板板面的倾斜方向；夹持组件包括四个呈圆周阵列设置在旋转组件上且两两单独配合的卡爪、以及设置在旋转组件上并驱动两两单独配合的卡爪进行相互靠近或相互远离的夹持件；本技术避免了由于通过工作人员手持掩膜版进行观测而导致掩膜版出现污染的情况，提高了掩膜版标准化以及规范化的条纹检测，提高了观测效率。技术研发人员：徐智俊,李文,杜晓威,徐兵,陈宝胜受保护的技术使用者：合肥清溢光电有限公司技术研发日：20231025技术公布日：2024/5/29