一种手动光学调节装置的制作方法

本技术涉及扫描电镜结构，具体为一种手动光学调节装置。

背景技术：

1、扫描电镜是半导体检测设备中的关键精密组件，由多层mems芯片组成。层与层之间需要在六个自由度中精确对准，这就需要镜框具有六自由度调节功能。mems镜组现有调节方案比较粗糙，采用垫片，小锤等工具进行手动调节，调节完成后还须对芯片位置进行锁定。该方案调节难度大，精度不理想，且在进行位置锁定时，会反过来影响调节精度，从而使调节-锁定过程反复进行，使整个芯片对准效率大大降低。

2、业界中可进行六自由度调节的方案有很多，但是扫描电镜应用环境十分苛刻，这就对其芯片镜框提出了很高的要求。镜框须在真空无磁的环境下稳定运行，同时在电子光学的要求下，整体结构须限制在5mm的高度空间内。上述要求使得业界中多数调节方案不得已采纳，故目前仍然在使用较为原始的小锤垫片的方式进行调节，这种方式的调节，无法方便快捷精准的对芯片姿态进行调节，并且位置锁定的过程对前置的姿态调节精度也会产生影响。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种手动光学调节装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种手动光学调节装置，包括镜框、水平顶丝、垂向顶丝和芯片基板，所述镜框中间开设有贯通的安装槽，所述安装槽的内侧壁上设置有多个凸台，所述芯片基板设置在安装槽的凸台上，所述镜框侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽，每个所述连接槽端部均开设有贯通所述安装槽的第一螺孔，并且所述镜框表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔，第一螺孔中螺纹连接有水平顶丝，水平顶丝端部设置有半球头，半球头抵在芯片基板侧边，第二螺孔中螺纹连接有垂向顶丝；水平布置的八个水平顶丝作用对象为芯片基板，垂向布置的四个垂向顶丝作用对象为下方镜框。两组顶丝的作用对象不同，可使两组顶丝对应自由度的调节解耦。实际操作时，优先进行性垂向布置垂向顶丝的调节，调节完成后进行位置锁紧；后进行水平布置水平顶丝的调节。调节水平顶丝时，由于垂向顶丝已调节完成并锁紧，所以并不会干扰先前已调节完成的垂向顶丝。

3、优选的，所述镜框为方形，每个拐角的附近分别开设有两个，连接槽共八个。

4、优选的，每侧所述第二螺孔均设置有两个，第二螺孔共四个。

5、优选的，所述芯片基板与所述安装槽之间留有间隙，以便于在拧动水平顶丝的时候，水平顶丝挤动芯片基板，实现对其调节。

6、优选的，所述镜框的每个拐角处均开设有固定孔，设置的固定孔主要在完成z、rx、ry调节完成后，x、y、rz调节前这个节点，通过固定孔和螺栓将镜框锁紧。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

8、本实用新型通过水平顶丝对芯片基板的角度进行调节，通过垂向顶丝对整个镜框的角度进行调节，以此实现对芯片基板的多角度调节，可显著提高芯片姿态调节的精度，提高调节效率，并增加调节结果的可重复性。顶丝作为调节工具的同时也起到位置锁紧的功能，这使得位置锁定的步骤对反过来对调节准精度的影响有所下降。

技术特征：

1.一种手动光学调节装置，其特征在于：包括镜框(1)、水平顶丝(2)、垂向顶丝(3)和芯片基板(4)，所述镜框(1)中间开设有贯通的安装槽(103)，所述安装槽(103)的内侧壁上设置有多个凸台(104)，所述芯片基板(4)设置在安装槽(103)的凸台(104)上，所述镜框(1)侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽(101)，每个所述连接槽(101)端部均开设有贯通安装槽(103)的第一螺孔(1011)，并且所述镜框(1)表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔(102)，第一螺孔(1011)中螺纹连接有水平顶丝(2)，水平顶丝(2)端部设置有半球头，半球头抵在芯片基板(4)侧边，第二螺孔(102)中螺纹连接有垂向顶丝(3)。

2.根据权利要求1所述的一种手动光学调节装置，其特征在于：所述镜框(1)为方形，每个拐角的附近分别开设有两个，连接槽(101)共八个。

3.根据权利要求1所述的一种手动光学调节装置，其特征在于：每侧所述第二螺孔(102)均设置有两个，第二螺孔(102)共四个。

4.根据权利要求1所述的一种手动光学调节装置，其特征在于：所述芯片基板(4)与所述安装槽(103)之间留有间隙。

5.根据权利要求1所述的一种手动光学调节装置，其特征在于：所述镜框(1)的每个拐角处均开设有固定孔(105)。

技术总结本技术属于扫描电镜结构技术领域，具体公开了一种手动光学调节装置，包括镜框、水平顶丝、垂向顶丝和芯片基板，所述镜框中间开设有贯通的安装槽，所述安装槽的内侧壁上设置有多个凸台，所述芯片基板设置在安装槽的凸台上，所述镜框侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽，每个所述连接槽端部均开设有贯通所述安装槽的第一螺孔，并且所述镜框表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔，第一螺孔中螺纹连接有水平顶丝，水平顶丝端部设置有半球头，半球头抵在芯片基板侧边，第二螺孔中螺纹连接有垂向顶丝；水平布置的八个水平顶丝作用对象为芯片基板，垂向布置的四个垂向顶丝作用对象为下方镜框。技术研发人员：刘康,石锦钰,翟鹏受保护的技术使用者：上海大尘微影半导体科技有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/5/29