位置检测装置、描绘装置、位置检测方法及记录有程序的记录介质与流程

本发明涉及一种检测基板位置的技术。[相关申请参考]本申请主张2022年11月25日提出申请的日本专利申请jp2022-188314的优先权的权益，该申请的全部公开内容编入本申请。

背景技术：

1、以往，通过向形成于半导体基板、印刷电路，或者有机el显示装置或液晶显示装置用玻璃基板等(以下，称作“基板”)的感光材料照射光来描绘图案。在进行这种描绘的描绘装置中执行对准处理，即，检测设置于基板上的对准标记的位置，从而自动调节图案的描绘位置。

2、近年来，在对印刷基板的描绘中，为了增加能够从一张基板采集的片数，要求削减用于配置对准标记的空间。为此，采用了在基板上不设置对准专用标记，而将基板上的部分图案用作对准标记的方式。

3、例如，在日本特开2013-171988号公报(文献1)的曝光装置中，在拍摄基板上的图案而得到的图像内，该图案的一部分被设定为用于对准处理的基准标记模型(即，模板)并预先登记。并且，若将要曝光的基板搬入曝光装置，则摄像头拍摄该基板上的部分图案，并将得到的图像与上述基准标记模型进行图案匹配，进行该基板的对准处理。

4、另一方面，日本特开2000-236007号公报(文献2)提出了下述技术，即，在扫描电子显微镜的图案的自动测长中，从cad(计算机辅助设计)数据获取任意区域的图案数据，并从该图案数据提取图案轮廓边缘数据，生成模板边缘数据。

5、但是，实际形成在基板上的图案的线宽，因形成该图案的装置的特性等，会比cad数据所指定的线宽粗或细。因此，若如文献2那样，使用依据cad数据的模板进行模板匹配，则可能出现模板中的图案的线宽与预先设置在基板上的图案的线宽有所不同，匹配分数降低，基板的位置检测精度降低。此外，在匹配分数低的情况下，虽然可以考虑操作人员逐渐改变模板图案的线宽，反复试错直至匹配分数提高到某种程度，但是，该作业需要大量的时间。

技术实现思路

1、本发明提供一种检测基板的位置的位置检测装置，其目的在于，高精度地检测基板的位置。

2、本发明方式一是一种位置检测装置，用于检测基板的位置，所述位置检测装置具有：拍摄部，拍摄预先设置在基板的上表面上的图案的一部分；存储部，存储包括选自基准模板和复数个偏移模板中的、两个以上的模板的模板组，所述基准模板是根据所述图案的cad数据即基准cad数据生成的模板，所述复数个偏移模板是分别改变所述基准模板所包括的图案要素的线宽而形成的模板；模板选择部，使用所述模板组所包括的各模板对由所述拍摄部获取到的拍摄图像进行图案匹配，并根据匹配分数从所述模板组选择适用模板；位置检测部，根据使用所述适用模板对所述拍摄图像进行图案匹配得到的结果，来检测所述基板的位置。

3、根据本发明，能够高精度地检测基板的位置。

4、本发明的方式二是方式一的位置检测装置，利用所述模板选择部进行的图案匹配是使用所述适用模板和所述拍摄图像分别包括的图案要素的边缘来进行的。

5、本发明的方式三是方式一或二的位置检测装置，所述位置检测装置还具有：模板生成部，从所述基准cad数据选择规定大小的模板区域并将该模板区域栅格化，从而生成所述基准模板。

6、本发明方式四是方式三的位置检测装置，其中，所述模板生成部从分别改变所述基准cad数据的所述图案的线宽而形成的复数个偏移cad数据分别选择所述模板区域并将该模板区域栅格化，从而，生成所述复数个偏移模板。

7、本发明的方式五是方式一或二(也可以是方式一至四中的任一个)的位置检测装置，所述位置检测装置还具有：显示部，针对规定张数的基板的每一个显示由所述模板选择部选出的所述适用模板的类型。

8、本发明方式六是方式一或二(也可以是方式一至五中的任一个)的位置检测装置，所述位置检测装置还具有：模板组变更部，根据所述模板选择部使用所述模板组所包括的各模板进行图案匹配得到的结果，生成新的偏移模板并将该新的偏移模板追加至所述模板组。

9、本发明方式七是方式一或二(也可以是方式一至六中的任一个)的位置检测装置，在所述基板上，设定有利用所述位置检测部分别进行图案匹配的复数个匹配区域，利用所述模板选择部分别针对复数个所述匹配区域中的一个匹配区域之外的两个以上的匹配区域选出两个以上的所述适用模板，能够根据两个以上的所述适用模板，从与所述一个匹配区域对应的所述模板组选出用于所述复数个匹配区域中的所述一个匹配区域的图案匹配的模板。

10、本发明方式八是方式一或二(也可以是方式一至七中的任一个)的位置检测装置，在所述基板的所述上表面上，预先设有位于所述图案的下侧的下层图案，在所述拍摄部的焦点深度的范围包括所述图案而不包括所述下层图案。

11、本发明方式九是对基板照射光来进行图案的描绘的描绘装置，所述描绘装置具有：方式一或二(也可以是方式一至八中的任一个)的位置检测装置；载物台，保持所述基板；描绘头，向所述基板的所述上表面照射调制后的光；扫描机构，在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上，使所述载物台相对于所述描绘头相对地移动；描绘控制部，根据利用所述位置检测装置检测出的所述基板的位置，控制所述描绘头和所述扫描机构，从而对相对于所述描绘头在所述扫描方向上相对移动的所述基板进行描绘。

12、本发明方式十是检测基板的位置的位置检测方法，所述位置检测方法包括：a)工序，对预先设置在基板的上表面上的图案的一部分进行拍摄；b)工序，准备包括选自基准模板和复数个偏移模板中的两个以上的模板的模板组，所述基准模板是根据所述图案的cad数据即基准cad数据生成的模板，所述复数个偏移模板是分别改变所述基准模板所包括的图案要素的线宽而形成的模板；c)工序，针对在所述a)工序中获取到的拍摄图像，使用所述模板组所包括的各模板进行图案匹配，并根据匹配分数从所述模板组选择适用模板；d)工序，根据使用所述适用模板对所述拍摄图像进行图案匹配得到的结果，来检测所述基板的位置。

13、本发明方式十一是记录了检测基板的位置的程序的记录介质，通过计算机执行上述程序，从而执行下述工序：a)工序，对预先设置在基板的上表面上的图案的一部分进行拍摄；b)工序，准备包括选自基准模板和复数个偏移模板中的两个以上的模板的模板组，所述基准模板是根据所述图案的cad数据即基准cad数据生成的模板，所述复数个偏移模板是分别改变所述基准模板所包括的图案要素的线宽而形成的模板；c)工序，针对在所述a)工序中获取到的拍摄图像，使用所述模板组所包括的各模板进行图案匹配，并根据匹配分数从所述模板组选择适用模板；d)工序，根据使用所述适用模板对所述拍摄图像进行图案匹配得到的结果，来检测所述基板的位置。

14、参考附图并通过下述本发明的详细说明，上述目的及其他目的、特征、方式和优点将更加明确。

技术特征：

1.一种位置检测装置，用于检测基板的位置，其中，具有：

2.根据权利要求1所记载的位置检测装置，其中，

3.根据权利要求1或2所记载的位置检测装置，其中，

4.根据利要求3所记载的位置检测装置，其中，

5.根据权利要求1或2所记载的位置检测装置，其中，

6.根据利要求1或2所记载的位置检测装置，其中，

7.根据权利要求1或2所记载的位置检测装置，其中，

8.根据权利要求1或2所记载的位置检测装置，其中，

9.一种描绘装置，向基板照射光来描绘图案，其中，具有：

10.一种位置检测方法，检测基板的位置，其中，包括：

11.一种记录介质，记录有检测基板的位置的程序，其中，

技术总结位置检测装置的存储部111存储模板组。该模板组包括选自基准模板和复数个偏移模板中的两个以上的模板，所述基准模板是根据所述图案的CAD数据即基准CAD数据生成的模板，所述复数个偏移模板是分别改变所述基准模板所包括的图案要素的线宽而形成的模板。模板选择部114针对由拍摄部3获取到的拍摄图像，使用上述模板组所包括的各模板进行图案匹配，并根据匹配分数从模板组选择适用模板。位置检测部115根据使用适用模板对拍摄图像进行图案匹配得到的结果，来检测基板的位置。由此，能够高精度地检测基板的位置。技术研发人员：中井浩平,坂本道昭,田中尚武受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团技术研发日：技术公布日：2024/5/29