一种精密两轴位移台的制作方法

本技术属于显微镜，具体涉及一种精密两轴位移台。

背景技术：

1、在显微镜等高精度仪器中，载物台是重要的装置。传统显微镜的载物台普遍采用齿轮齿条配合传动的方法进行样本对中，存在调节速度慢且易受到齿轮传动比及齿间距的影响，精度不好控制，特别是针对40x以上的显微镜而言，难以实现精准调整。其次，在高倍率条件下，由于物镜镜深较小，显微镜载物台与镜筒垂直度有偏差或载玻片、样本的不平整都会使成像存在部分区域失焦情况，即局部清晰、边缘模糊等现象，使得传统显微镜在高倍率下容易引起成像效果差的问题。对此，传统的显微镜主要通过提高加工精度，或资深实验人员靠经验完成，其观察成本高，测试时间长，难以灵活方便地调节载物台的倾斜角度，难以实现载物台的快速调平及对中。此外，样本无法实现快速拆装，不利于提高操作便捷性和工作效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对上述问题，提出一种精密两轴位移台，能够实现样本平台的快速调平及对中，有助于保证整体成像效果，且样本拆装便捷，大大提高工作效率。

2、为实现上述目的，本实用新型所采取的技术方案为：

3、本实用新型提出的一种精密两轴位移台，包括第一导向单元、第二导向单元、底板、调节座、第一直线电机、第一移动平台、第二移动平台、第二直线电机和俯仰调节单元，底板、调节座、第一移动平台和第二移动平台依次并排设置，其中：

4、俯仰调节单元，包括球体、多个拉簧和多个调节手轮，球体固定于底板上并与调节座球面配合实现万向运动，拉簧的两端分别与底板和调节座连接，调节手轮的一端与调节座间隙配合连接或球面配合连接，另一端与底板螺纹连接，通过转动调节手轮调整调节座的俯仰角度；

5、第一移动平台，通过第二导向单元与调节座滑动连接，并在第一直线电机的驱动下沿第二导向单元进行第一水平方向的直线运动；

6、第二移动平台，通过第一导向单元与第一移动平台滑动连接，并在第二直线电机的驱动下沿第一导向单元进行第二水平方向的直线运动，第一水平方向和第二水平方向相互垂直，且第二移动平台还用于安装样本固定座，样本固定座用于放置样本。

7、优选地，精密两轴位移台还包括多个锁紧单元，锁紧单元包括安装座、调节螺钉、弹簧和锁紧块，安装座与第二移动平台连接，且安装座上还开设有水平设置的第一通孔，调节螺钉穿设于第一通孔并与锁紧块螺纹连接，弹簧套设于调节螺钉上且两端分别抵靠安装座和锁紧块，样本固定座通过各锁紧单元的锁紧块进行夹持固定。

8、优选地，拉簧和调节手轮均为两个，俯仰调节单元为对称结构。

9、优选地，精密两轴位移台还包括用于检测第一移动平台的移动距离的第一位置检测单元和用于检测第二移动平台的移动距离的第二位置检测单元，各位置检测单元均为光栅尺位移传感器。

10、优选地，调节座、第一移动平台和第二移动平台上均开设有若干个沉槽，第一导向单元、第二导向单元、第一直线电机、第二直线电机、第一位置检测单元和第二位置检测单元均固定于对应的沉槽内。

11、优选地，第一导向单元和第二导向单元均包括多个相互平行的导轨滑块机构。

12、优选地，第一移动平台和第二移动平台的侧壁还均设有用于标识移动距离的刻度尺。

13、优选地，精密两轴位移台还包括多个电机固定座，第一直线电机的定子的两端分别通过电机固定座与调节座连接，第一直线电机的动子与第一移动平台连接，第二直线电机的定子的两端分别通过电机固定座与第一移动平台连接，第二直线电机的动子与第二移动平台连接。

14、优选地，底板、调节座、第一移动平台和第二移动平台上均开设有对应的贯穿孔。

15、优选地，底板背离调节座的一侧还设有多个脚垫。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

17、该精密两轴位移台可快速、高精度调平样本平台的倾斜角度和水平位移，具体地，通过俯仰调节单元调节样本平台的倾斜角度，实现其快速调平，以避免显微镜成像存在部分区域失焦情况，保证显微镜在高倍率下的成像效果，并可通过直线电机直接驱动实现双轴方向的样本固定座水平运动调节，通过导向单元进行导向，配合位置检测单元，具有微米级重复精度、体积轻薄、外观美观，且有助于实现低噪音长时间稳定运行，结构简单紧凑；此外，还可通过锁紧单元实现多种规格样本固定座的固定，拆装迅速，操作便捷，有助于进一步提高工作效率。

技术特征：

1.一种精密两轴位移台，应用于显微镜观察时进行样本对中，其特征在于：所述精密两轴位移台包括第一导向单元(1)、第二导向单元(2)、底板(6)、调节座(8)、第一直线电机(11)、第一移动平台(14)、第二移动平台(15)、第二直线电机(19)和俯仰调节单元，所述底板(6)、调节座(8)、第一移动平台(14)和第二移动平台(15)依次并排设置，其中：

2.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述精密两轴位移台还包括多个锁紧单元(16)，所述锁紧单元(16)包括安装座(16a)、调节螺钉(16b)、弹簧(16c)和锁紧块(16d)，所述安装座(16a)与第二移动平台(15)连接，且所述安装座(16a)上还开设有水平设置的第一通孔，所述调节螺钉(16b)穿设于所述第一通孔并与所述锁紧块(16d)螺纹连接，所述弹簧(16c)套设于所述调节螺钉(16b)上且两端分别抵靠所述安装座(16a)和锁紧块(16d)，所述样本固定座(20)通过各所述锁紧单元(16)的锁紧块(16d)进行夹持固定。

3.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述拉簧(4)和调节手轮(5)均为两个，所述俯仰调节单元为对称结构。

4.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述精密两轴位移台还包括用于检测所述第一移动平台(14)的移动距离的第一位置检测单元和用于检测所述第二移动平台(15)的移动距离的第二位置检测单元，各所述位置检测单元均为光栅尺位移传感器。

5.如权利要求4所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述调节座(8)、第一移动平台(14)和第二移动平台(15)上均开设有若干个沉槽，所述第一导向单元(1)、第二导向单元(2)、第一直线电机(11)、第二直线电机(19)、第一位置检测单元和第二位置检测单元均固定于对应的所述沉槽内。

6.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述第一导向单元(1)和第二导向单元(2)均包括多个相互平行的导轨滑块机构。

7.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述第一移动平台(14)和第二移动平台(15)的侧壁还均设有用于标识移动距离的刻度尺(18)。

8.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述精密两轴位移台还包括多个电机固定座(13)，所述第一直线电机(11)的定子的两端分别通过所述电机固定座(13)与所述调节座(8)连接，所述第一直线电机(11)的动子与所述第一移动平台(14)连接，所述第二直线电机(19)的定子的两端分别通过所述电机固定座(13)与所述第一移动平台(14)连接，所述第二直线电机(19)的动子与所述第二移动平台(15)连接。

9.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述底板(6)、调节座(8)、第一移动平台(14)和第二移动平台(15)上均开设有对应的贯穿孔。

10.如权利要求1所述的精密两轴位移台，其特征在于：所述底板(6)背离所述调节座(8)的一侧还设有多个脚垫(17)。

技术总结本技术公开了一种精密两轴位移台，包括第一导向单元、第二导向单元、底板、调节座、第一直线电机、第一移动平台、第二移动平台、第二直线电机和俯仰调节单元，其中：俯仰调节单元，包括球体、多个拉簧和多个调节手轮，球体固定于底板上并与调节座球面配合实现万向运动，拉簧的两端分别与底板和调节座连接，调节手轮的一端与调节座间隙配合连接或球面配合连接，另一端与底板螺纹连接，通过转动调节手轮调整调节座的俯仰角度；各移动平台在对应直线电机的驱动下进行水平方向的直线运动，且第二移动平台还用于放置样本。该装置能够实现样本平台的快速调平及对中，保证成像效果，且样本拆装便捷，工作效率高。技术研发人员：付卫强,葛磊,洪弋,文永富受保护的技术使用者：江西高瑞光电股份有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/5/29