用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件的制作方法

本说明书一般涉及电子设备制造。更特别来讲，本说明书涉及用于提高数字光刻精确度的网桥加固构件。

背景技术：

1、光刻(photolithography)用于制造半导体设备及显示设备，诸如平板显示设备。平板显示设备的示例包括薄膜显示设备，诸如，例如液晶显示(liquid crystal display；lcd)设备及有机发光二极管(organic light emitting diode；oled)显示设备。大面积基板可用于制造平板显示设备，这些平板显示设备用于计算机、触摸面板设备、个人数字助理(personal digital assistant；pda)、手机、电视监视器等。

技术实现思路

1、下文是本公开的简化概要以提供本公开的某些方面的基本理解。此概要并非对本公开的广泛概述。此说明既不意欲标识本公开的关键或重要元素，也不意欲描绘本公开的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。其唯一目的是以简化形式呈现本公开的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。

2、根据一实施例，提供了一种网桥加固构件组件。网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的多个夹板。多个夹板可包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括多个加强梁，该多个加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、和设置在第三对夹板上的第三加强梁。

3、根据另一实施例，提供了一种数字光刻系统。该数字光刻系统包括曝光单元区域、包括各自设置在底座上的第一网桥、第二网桥和第三网桥的网桥结构、固定至网桥结构的第一网桥加固构件组件、以及固定至网桥结构的第二网桥加固构件组件。第一网桥加固构件组件包括设置在网桥结构的一端与曝光单元区域的第一端之间的第一加固构件板和第二加固构件板，第二网桥加固构件组件包括第三加固构件板和第四加固构件板，每一加固构件板均与曝光单元区域的第二端相邻。

4、根据又一实施例，提供了一种方法。该方法包括将第一组加固构件板和第二组加固构件板放置在数字光刻系统内的网桥结构上，以及由第一组加固构件板形成第一网桥加固构件组件，且由第二组加固构件板形成第二网桥加固构件组件。网桥结构包括第一网桥、第二网桥和第三网桥，第一组加固构件板包括放置在第一网桥和第二网桥上的第一加固构件板和放置在第二网桥和第三网桥上的第二加固构件板，并且第二组加固构件板包括放置在第一网桥和第二网桥上的第三加固构件板和放置在第二网桥和第三网桥上的第四加固构件板。

技术特征：

1.一种网桥加固构件组件，包括：

2.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板或所述第二加固构件板中的至少一者是由花岗石或不锈钢的至少一者形成。

3.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板和所述第二加固构件板各自具有对应于矩形棱柱体的几何形状。

4.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，其中所述第一加固构件板具有对应于矩形棱柱体的几何形状，并且所述第二加固构件板具有对应于梯形棱柱体的几何形状。

5.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：

6.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：

7.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：

8.根据权利要求1所述的网桥加固构件组件，进一步包括：

9.一种数字光刻系统，包括：

10.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：

11.根据权利要求9所述的数字光刻系统，其中所述第一加固构件板和所述第二加固构件板各自具有对应于矩形棱柱体的几何形状，其中所述第三加固构件板具有对应于矩形棱柱体的几何形状，并且所述第四加固构件板具有对应于梯形棱柱体的几何形状。

12.根据权利要求9所述的数字光刻系统，其中：

13.根据权利要求12所述的数字光刻系统，其中：

14.根据权利要求13所述的数字光刻系统，进一步包括加强梁孔，所述加强梁孔穿过所述第一多个加强梁和所述第二多个加强梁中的每一加强梁形成以接收紧固件，所述紧固件用于将所述第一网桥组件和所述第二网桥组件固定至所述网桥结构。

15.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：

16.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：

17.根据权利要求9所述的数字光刻系统，进一步包括：

18.一种方法，包括：

19.根据权利要求18所述的方法，其中由所述第一组加固构件板形成所述第一网桥加固构件组件并且由所述第二组加固构件板形成所述第二网桥加固构件组件包括：

20.根据权利要求19所述的方法，其中由所述第一组加固构件板形成所述第一网桥加固构件组件并且由所述第二组加固构件板形成所述第二网桥加固构件组件进一步包括：

技术总结一种网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、以及用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的夹板。夹板包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括加强梁，所述加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、以及设置在第三对夹板上的第三加强梁。技术研发人员：本杰明·M·约翰逊,柳在明,瓦苏曼·加纳帕蒂·斯里兰卡,普雷斯顿·冯,大卫·科里沃,李卓,豪尔赫·阿雷利亚诺受保护的技术使用者：应用材料公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2