一种光学系统的制作方法

本发明涉及ldi激光直写光刻，尤其涉及一种光学系统。

背景技术：

1、随着目前国内微纳加工行业的不断发展，对于无掩膜紫外多波段光刻镜头的需求也在不断增加，这种类型的镜头相比于无掩膜紫外窄波段光刻镜头应用范围更广，可满足更多应用需求。

2、但同时国内对于无掩膜紫外多波段光刻镜头设计起步较晚，且受限于材料的影响，量产的该类型镜头通常轴向色差以及倍率色差过大从而影响终端的应用。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提出一种光学系统，旨在解决现有的光学系统存在轴向色差以及倍率色差过大从而影响终端应用的问题。

2、为实现上述目的，本发明提出的一种光学系统，其中所述光学系统包括：分光棱镜、多个远心系统和合光棱镜，分光棱镜具有入射端和多个出射端，用于将自所述分光棱镜的入射端入射的混波光线分为多个不同的波段光，以使得各波段光自对应的所述分光棱镜的出射端出射；各所述远心系统具有入射端和出射端，所述远心系统的入射端与对应的所述分光棱镜的出射端相对设置，各所述远心系统包括可活动设置的调节镜组，所述调节镜组用于调节波段光的倍率；以及，合光棱镜具有多个入射端和出射端，所述合光棱镜的各所述入射端用于接收对应的所述远心系统的出射端所射出的波段光，所述合光棱镜用于将每一波段光自所述合光棱镜的出射端射出后，用于在所述合光棱镜的出射端形成对应的一焦平面；其中，在多个所述调节镜组的活动行程中，多个所述调节镜组用于调节多个所述焦平面的位置，以调节多个所述焦平面的距离差和倍率差。

3、可选地，所述分光棱镜和所述合光棱镜在纵向上间隔布设，所述分光棱镜的入射端与所述合光棱镜的出射端在纵向上相互背离设置；

4、所述远心系统设置有两个，两个所述远心系统分设于所述分光棱镜和所述合光棱镜处在横向上的两侧。

5、可选地，各所述远心系统包括：

6、第一透镜，设于所述分光棱镜对应的出光侧；

7、第一反射镜，设于所述第一透镜的出光侧，用于将所述第一透镜的出光端出射的波段光反射；

8、第二反射镜，设于所述第一反射镜的出光侧，用于将所述第一反射镜反射的波段光反射；以及，

9、第二透镜，设于所述第二反射镜的出光侧，用于将所述第二反射镜反射的波段光折射后出射至所述合光棱镜；

10、其中，所述第一透镜和所述第二透镜均沿对应的所述远心系统的光轴可活动的设置，所述第一透镜和所述第二透镜形成所述调节镜组。

11、可选地，所述第一透镜在其活动行程上具有第一初始位置和第一调节位置，所述第一调节位置距离所述第一初始位置之间的距离为d1，d1≤1mm。

12、可选地，所述第二透镜在其活动行程上具有第二初始位置和第二调节位置，所述第二调节位置距离所述第二初始位置之间的距离为d2，d2≤1mm。

13、可选地，所述第一透镜、所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述第二透镜均位于所述分光棱镜处在横向上的同一侧；

14、所述第一透镜和所述第一反射镜设于所述分光棱镜处在横向上的一侧；

15、所述第二反射镜和所述第二透镜设于所述合光棱镜处在横向上的一侧。

16、可选地，所述第一反射镜与所述第二反射镜呈夹角设置，所述夹角设置为90°。

17、可选地，所述分光棱镜的各所述出射端的端面设置有第一反射膜；和/或，

18、所述合光棱镜的各所述入射端的端面设置有第二反射膜。

19、可选地，所述光学系统还包括光刻物镜，所述光刻物镜设于所述合光棱镜的出光侧。

20、可选地，所述光学系统还包括用于对所述分光棱镜的入射端发射混波光线的空间光调制器，所述空间光调制器的发散半角设置为小于等于±5°。

21、本发明提供的技术方案中，通过分光棱镜将混波光线分为多个不同的波段光，多个不同的波段光对应射入多个对应的远心系统，远心系统中的调节镜组，通过改变调节镜组中透镜位置以改变物距和像距从而改变倍率，以调整倍率色差，通过改变调节镜组中透镜位置还可以改变波段光通过合光棱镜后所形成的焦平面位置，多个不同的波段光对应有多个不同的焦平面，通过调节多个调节镜组，以改变多个焦平面之间的间距以调整轴向色差，从而达到对混波光线进行色差矫正。

技术特征：

1.一种光学系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述分光棱镜和所述合光棱镜在纵向上间隔布设，所述分光棱镜的入射端与所述合光棱镜的出射端在纵向上相互背离设置；

3.如权利要求1所述的光学系统，其特征在于，各所述远心系统包括：

4.如权利要求3所述的光学系统，其特征在于，所述第一透镜在其活动行程上具有第一初始位置和第一调节位置，所述第一调节位置距离所述第一初始位置之间的距离为d1，d1≤1mm。

5.如权利要求3所述的光学系统，其特征在于，所述第二透镜在其活动行程上具有第二初始位置和第二调节位置，所述第二调节位置距离所述第二初始位置之间的距离为d2，d2≤1mm。

6.如权利要求3所述的光学系统，其特征在于，所述第一透镜、所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述第二透镜均位于所述分光棱镜处在横向上的同一侧；

7.如权利要求6所述的光学系统，其特征在于，所述第一反射镜与所述第二反射镜呈夹角设置，所述夹角设置为90°。

8.如权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述分光棱镜的各所述出射端的端面设置有第一反射膜；和/或，

9.如权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述光学系统还包括光刻物镜，所述光刻物镜设于所述合光棱镜的出光侧。

10.如权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述光学系统还包括用于对所述分光棱镜的入射端发射混波光线的空间光调制器，所述空间光调制器的发散半角设置为小于等于±5°。

技术总结本发明公开一种光学系统，包括：分光棱镜、多个远心系统和合光棱镜；分光棱镜用于将混波光线分为多个不同的波段光，以使得各波段光自对应的分光棱镜的出射端出射；远心系统的入射端与对应的分光棱镜的出射端相对设置，各远心系统包括可活动设置的调节镜组，用于调节波段光的倍率；合光棱镜各入射端用于接收对应的远心系统的出射端所射出的波段光，合光棱镜用于将每一波段光自合光棱镜的出射端射出，在合光棱镜的出射端形成对应的一焦平面；在多个调节镜组的活动行程中，多个调节镜组用于调节多个焦平面的位置，以调节多个焦平面的距离差和倍率差。本方案通过调节多个调节镜组位置以改善轴向色差和倍率色差，以提高对混波光线的色差矫正能力。技术研发人员：樊凯,陈劲松,朱红伟,邱盛平受保护的技术使用者：成都联江科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5