一种电子纸的制作方法及电子纸与流程

本发明涉及显示设备，特别涉及一种电子纸的制作方法及电子纸。

背景技术：

1、电子纸是同时具有如下两大特点的电子显示器：1、像纸一样轻便；2、像屏幕一样可以改变内容。基材主要为聚酯类化合物，表面涂布电路，通过外加电场的变化来控制电路中电子胶囊的移动距离，进行文字图像的变换。电子纸具有低功耗和可弯折工功能，画面显示细腻和可视角宽，在阳光下可视效果好，无死角。

2、电子纸可以分为lcd型，粒子型，电化学型，机械型四大类，目前量产较多的是粒子型中的epd模式的产品，其中微胶囊电子墨水e-ink，微杯电子墨水sipix两种产品已经相对成熟，但是微胶囊电子墨水结构因为胶囊分散不均匀且零散，彩色化实现困难，而微杯结构大小一致并以数组方式排列，可以有规律的给不同微孔添加不同的颜色，从而实现彩色化。

3、目前微杯电子墨水生产微杯结构的工艺主要是用模具在镀有透明ito导体的pet塑料膜的树脂上注塑成3d微杯结构或者压印形成微杯结构，这种方式与显示产业的产线匹配性差，成本较高。

技术实现思路

1、本发明提供了一种电子纸的制作方法及电子纸，上述电子纸的制作方法能够节约制作成本，能够提高电子纸画面分辨率(ppi)。

2、为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

3、一种电子纸的制作方法，包括：

4、在第一基底的一侧形成透明电极层；

5、在所述透明电极层背离所述第一基底的一侧形成微杯层；

6、在所述微杯层背离所述第一基底的一侧形成无机绝缘层，并对所述无机绝缘层进行图案化；

7、以图案化后的所述无机绝缘层为硬掩膜对所述微杯层进行干刻刻蚀，形成微杯结构，所述微杯结构包括微杯层、键合层以及贯穿所述微杯层和所述键合层的多个通孔，所述键合层由被刻蚀后的所述无机绝缘层形成，所述多个通孔呈网格状分布；

8、在所述通孔中填充带电粒子和电介质液体；

9、在所述微杯结构背离所述第一基底的一侧形成密封层。

10、可选地，对所述微杯层进行干刻刻蚀使用的刻蚀气体包括chf3。

11、可选地，所述刻蚀气体中o2与cf3气体的比例为600:1至50:4。

12、可选地，所述对所述无机绝缘层进行图形化，包括：

13、在所述无机绝缘层背离所述第一基底的一侧形成光刻胶层；

14、通过曝光显影工艺对所述光刻胶层进行图案化；

15、以图案化后的所述光刻胶层对所述无机绝缘层进行干刻刻蚀，形成图案化后的无机绝缘层。

16、可选地，所述对所述无机绝缘层进行图案化，包括：

17、在所述无机绝缘层背离所述第一基底的一侧形成对位标记；

18、所述在所述微杯结构背离所述第一基底的一侧形成密封层，包括：

19、根据所述对位标记对所述键合层与所述密封层进行键合对位。

20、可选地，所述在第一基底的一侧形成透明电极层之前，包括：

21、在刚性基板上形成所述第一基底；

22、所述在所述微杯结构背离所述第一基底的一侧形成密封层之后，包括：

23、在所述密封层背离所述第一基底的一侧形成保护层，并进行压合，以在所述刚性基板上形成电子纸母板；

24、对所述电子纸母板进行切割，剥离所述保护层以及刚性基板，形成多个电子纸子板；

25、将电子纸子板的密封层与驱动基板贴合，形成电子纸的结构。

26、本发明还提供一种电子纸，包括：

27、第一基底；

28、透明电极层，位于所述第一基底的一侧；

29、微杯层，所述微杯层位于所述透明电极层背离所述第一基底的一侧；

30、键合层，所述键合层位于所述微杯层背离所述第一基底的一侧，所述键合层与所述微杯层上具有贯穿所述键合层和所述微杯层的多个通孔，所述多个通孔呈网格状分布，所述通孔内填充有带电离子以及电介质液体；

31、密封层，所述密封层位于所述键合层背离所述第一基底的一侧，用于对所述多个通孔进行密封。

32、可选地，所述微杯层朝向所述透明电极层的表面为第一表面，所述第一表面与所述通孔的侧壁之间的夹角为70°至90°。

33、可选地，所述通孔由位于所述键合层上的第一通孔和位于所述微杯层上的第二通孔组成，所述第一通孔的侧壁与第一表面之间的夹角为70°至80°，所述第二通孔的侧壁与第一表面之间的夹角为85°至90°。

34、可选地，所述通孔的截面形状为六边形或者圆形。

35、可选地，当所述通孔的截面形状为圆形时，所述通孔的直径为1微米至15微米。

36、可选地，所述第一基底的材料为塑料材质，所述微杯层的材料为柔性有机材料。

37、可选地，所述键合层的材料为无机材料。

38、可选地，还包括驱动基板，所述驱动基板与所述密封层贴合，且所述驱动基板与所述透明电极层电连接。

39、本发明实施例提供的一种电子纸的制作方法及电子纸，该电子纸的制作方法中，首先，在第一基底的一侧形成透明电极层，在透明电极层背离第一基底的一侧形成微杯层；然后，在微杯层背离第一基底的一侧形成无机绝缘层，并对无机绝缘层进行图案化；接着，以图案化后的无机绝缘层为硬掩膜对微杯层进行干刻刻蚀，形成微杯结构；然后，在微杯结构的通孔中填充带电粒子和电介质液体，在微杯结构背离第一基底的一侧形成密封层，对微杯结构上的通孔进行密封。上述电子纸的制作方法中，以图案化后的无机绝缘层为硬掩膜，通过干刻工艺形成微杯结构，这样能够通过显示产线的干刻设备就能实现电子纸中微杯结构上通孔的制作，与现有技术相比，能够节约制作成本，并且干刻工艺能够对微杯结构上通孔的形状、大小进行严格卡控，从而能够提高电子纸画面分辨率(ppi)。

技术特征：

1.一种电子纸的制作方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电子纸的制作方法，其特征在于，对所述微杯层进行干刻刻蚀使用的刻蚀气体包括chf3。

3.根据权利要求2所述的电子纸的制作方法，其特征在于，所述刻蚀气体中o2与cf3气体的比例为600:1至50:4。

4.根据权利要求1所述的电子纸的制作方法，其特征在于，所述对所述无机绝缘层进行图形化，包括：

5.根据权利要求4所述的电子纸的制作方法，其特征在于，所述对所述无机绝缘层进行图案化，包括：

6.根据权利要求1-4任一项所述的电子纸的制作方法，其特征在于，所述在第一基底的一侧形成透明电极层之前，包括：

7.一种电子纸，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的电子纸，其特征在于，所述微杯层朝向所述透明电极层的表面为第一表面，所述第一表面与所述通孔的侧壁之间的夹角为70°至90°。

9.根据权利要求8所述的电子纸，其特征在于，所述通孔由位于所述键合层上的第一通孔和位于所述微杯层上的第二通孔组成，所述第一通孔的侧壁与第一表面之间的夹角为70°至80°，所述第二通孔的侧壁与第一表面之间的夹角为85°至90°。

10.根据权利要求7-9任一项所述的电子纸，其特征在于，所述通孔的截面形状为六边形或者圆形。

11.根据权利要求10所述的电子纸，其特征在于，当所述通孔的截面形状为圆形时，所述通孔的直径为1微米至15微米。

12.根据权利要求7-9任一项所述的电子纸，其特征在于，所述第一基底的材料为塑料材质，所述微杯层的材料为柔性有机材料。

13.根据权利要求7-9任一项所述的电子纸，其特征在于，所述键合层的材料为无机材料。

14.根据权利要求7-9任一项所述的电子纸，其特征在于，还包括驱动基板，所述驱动基板与所述密封层贴合，且所述驱动基板与所述透明电极层电连接。

技术总结本发明涉及显示设备技术领域，公开了一种电子纸的制作方法及电子纸，该电子纸的制作方法包括：在第一基底的一侧形成透明电极层；在透明电极层背离第一基底的一侧形成微杯层；在微杯层背离第一基底的一侧形成无机绝缘层，并对无机绝缘层进行图案化；以图案化后的无机绝缘层为硬掩膜对微杯层进行干刻刻蚀，形成微杯结构，微杯结构包括微杯层、键合层以及贯穿微杯层和键合层的多个通孔，键合层由被刻蚀后的无机绝缘层形成，多个通孔呈网格状分布；在通孔中填充带电粒子和电介质液体；在微杯结构背离第一基底的一侧形成密封层。该制作方法能够节约制作成本，能够提高电子纸画面分辨率(PPI)。技术研发人员：贺家煜,曲燕,胡合合,宁策,李正亮,姚念琦,黄杰,赵坤,李菲菲,郭晖,温芳卿受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/11