一种基于红外偏折术的机械狭缝光源装置的制作方法

本技术涉及光学检测领域，尤其涉及一种基于红外偏折术的机械狭缝光源装置。

背景技术：

1、大口径光学元件在镜面研磨阶段，需要产生极大的去除量，并且需要快速收敛至理想面形，去除量一般在几微米至几百微米不等。粗糙表面对可见光属于漫反射，不能采用干涉仪检测，对面形的检测带来了困难。而红外偏折系统是一种理想的非镜面检测解决方案，同时属于非零位测量方式，不需要补偿器即可完成元件快速测量。红外测量偏折术的主要挑战为红外光源的实现。理想的光源应具有良好的稳定性，高空间调制精度，高信噪比。

2、传统红外光源为一个薄的钨丝带，它可以产生焦耳热，产生一个矩形的伪黑体辐射源。钨丝在高温及重力作用下，容易产生低阶弯曲，影响镜面表面的重构精度。同时，钨丝经过多次循环使用后，会蒸发与降解，产生非均匀性辐射特性。钨丝作为一个伪黑体光源，通过增加有效的输入功率可以提高信号功率，但钨丝的输出光谱会向短波方向移动，不利于镜面检测。

技术实现思路

1、本实用新型意在提供一种基于红外偏折术的机械狭缝光源装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、本实用新型提供一种高稳定性高均匀性的长波红外辐射光源装置，包括：腔体底板、腔体、聚酰亚胺加热膜、加热膜基板、金属基板、出光狭缝。所述的聚酰亚胺加热膜粘接在发热片基板上，聚酰亚胺加热膜通过螺钉与腔体连接，出光狭缝位于金属基板中心，金属基板通过螺钉与腔体连接，腔体底板通过螺钉与腔体连接。

4、当发热片通电后，通过控制电压大小，改变发热片发热功率，发热片辐射2-14um的红外光，产生的红外光波通过狭缝直接向外辐射。聚酰亚胺发热片具有加热均匀性好、加热速率快、温度控制精准，易于安装等优点，是一种适用于红外偏折术测量的稳定的长波红外狭缝光源。

5、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

6、本实用新型通过设有一种常规腔体，结构简单，聚酰亚胺加热膜加热输出均匀，温度恒定，辐射长波红外波段稳定。腔体采用聚酰亚胺材料，具有良好的耐高温性能和机械性能，易于加工，便于与其他部件连接，出光狭缝可以通过机械加工为任意形状，图形几何形状稳定。光源具有温度调制功能，聚酰亚胺加热膜与发光狭缝尺寸接近，辐射稳定，背部噪音少，信噪比高，面形重构精度高。

技术特征：

1.一种基于红外偏折术的机械狭缝光源装置，包括腔体底板(1)，腔体(2)，聚酰亚胺加热膜(3)，加热膜基板(4)，金属基板(5)，出光狭缝(6)，其特征在于：所述的腔体底板(1)通过螺钉与腔体(2)固定，加热膜基板(4)通过螺钉固定在腔体(2)上，聚酰亚胺加热膜(3)粘接在加热膜基板(4)上，出光狭缝(6)位于金属基板(5)中心，金属基板(5)通过螺钉与腔体(2)连接。

技术总结本技术提供一种基于红外偏折术的机械狭缝光源装置，包括腔体底板、腔体、聚酰亚胺加热膜、加热膜基板、金属基板、出光狭缝。其中腔体底板与腔体通过螺钉连接，聚酰亚胺加热膜粘接在加热膜基板上，加热膜基板通过螺钉与腔体连接，金属基板与腔体通过螺钉与腔体连接。直流电源与加热膜相连，当电源接通时，通过控制加热膜两端电压调节辐射能量，使聚酰亚胺加热膜产生2‑14um红外光。聚酰亚胺加热膜直接作用于加热膜基板，通过狭缝向外均匀辐射红外光，且加热膜基板与出光狭缝所在金属基板之间存在空隙，金属基板自身不会由于受热向外辐射红外光影响测量精度。聚酰亚胺加热膜具有加热均匀性好、加热速率快、温度控制精准，易于安装等优点，是一种适用于红外偏折测量术的稳定的长波红外狭缝光源。技术研发人员：叶璐,李义民,王东方,廖小明,夏项团受保护的技术使用者：上海济物光电技术有限公司技术研发日：20230914技术公布日：2024/6/13