一种半导体用石英环快速抛光装置的制作方法

本技术涉及抛光装置，具体为一种半导体用石英环快速抛光装置。

背景技术：

1、半导体用石英环快速抛光装置是一种用于半导体制造中的石英环表面抛光的设备，其主要用途是在半导体加工过程中对石英环进行表面抛光，以提高石英环的表面质量和光洁度。现有的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置(公开号：cn216098223u)在使用中至少暴露出以下缺陷：

2、由于该装置在使用时，需要借助花键气缸、主轴减速电机、花键减速电机等多个耗能设备，提高了装置的使用成本。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种半导体用石英环快速抛光装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种半导体用石英环快速抛光装置，包括底座，所述底座顶部的两端中间固定连接有支架，所述支架的顶部设置有抛光组件，所述支架两端的底部开设有升降口，所述支架两端的顶部开设有安装口，所述抛光组件包括自锁电机，所述自锁电机和支架的顶部中心相固定，所述自锁电机的输出端贯穿支架且固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有抛光板，所述转轴外壁的顶部固定连接有第一带轮，所述安装口的内部设置有第二带轮，所述第一带轮、第二带轮之间传动连接有传动带，所述第二带轮的内部固定连接有单向轴承，所述单向轴承的内部固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆的外壁设置有升降组件。

4、优选的，所述往复丝杆的底部贯穿支架且和底座转动连接，所述往复丝杆设置在升降口的内部。

5、优选的，所述升降组件包括升降板，所述升降板和往复丝杆的外壁螺纹连接，所述升降板设置在升降口的内部且和升降口滑动连接。

6、优选的，所述升降板的第一端固定连接有抛光座，所述抛光座设置在抛光板的底部。

7、优选的，所述抛光座的第一端固定连接有连接板，所述连接板的第一端贯穿且滑动连接有滑杆。

8、优选的，所述滑杆设置在升降口的内部，所述滑杆的顶部和支架相固定，所述滑杆的底部和底座相固定。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、往复丝杆转动的同时，往复丝杆带动升降板沿着升降口进行上移，同步的，升降板带动抛光座上的半导体用石英环借助连接板沿着滑杆进行同步上移，当升降板、连接板上升至抛光位置时，控制自锁电机反向旋转，此时单向轴承停止带动往复丝杆转动，并利用转轴带动抛光板转动完成对抛光座上的半导体用石英环的抛光作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。

技术特征：

1.一种半导体用石英环快速抛光装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部的两端中间固定连接有支架(2)，所述支架(2)的顶部设置有抛光组件(3)，所述支架(2)两端的底部开设有升降口(5)，所述支架(2)两端的顶部开设有安装口(6)，所述抛光组件(3)包括自锁电机(301)，所述自锁电机(301)和支架(2)的顶部中心相固定，所述自锁电机(301)的输出端贯穿支架(2)且固定连接有转轴(302)，所述转轴(302)的底部固定连接有抛光板(303)，所述转轴(302)外壁的顶部固定连接有第一带轮(304)，所述安装口(6)的内部设置有第二带轮(305)，所述第一带轮(304)、第二带轮(305)之间传动连接有传动带(306)，所述第二带轮(305)的内部固定连接有单向轴承(307)，所述单向轴承(307)的内部固定连接有往复丝杆(308)，所述往复丝杆(308)的外壁设置有升降组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述往复丝杆(308)的底部贯穿支架(2)且和底座(1)转动连接，所述往复丝杆(308)设置在升降口(5)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述升降组件(4)包括升降板(401)，所述升降板(401)和往复丝杆(308)的外壁螺纹连接，所述升降板(401)设置在升降口(5)的内部且和升降口(5)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述升降板(401)的第一端固定连接有抛光座(402)，所述抛光座(402)设置在抛光板(303)的底部。

5.根据权利要求4所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述抛光座(402)的第一端固定连接有连接板(403)，所述连接板(403)的第一端贯穿且滑动连接有滑杆(404)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述滑杆(404)设置在升降口(5)的内部，所述滑杆(404)的顶部和支架(2)相固定，所述滑杆(404)的底部和底座(1)相固定。

技术总结本技术公开了一种半导体用石英环快速抛光装置，涉及抛光装置技术领域。包括底座，所述底座顶部的两端中间固定连接有支架，所述支架的顶部设置有抛光组件。本技术通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、往复丝杆转动的同时，往复丝杆带动升降板沿着升降口进行上移，同步的，升降板带动抛光座上的半导体用石英环借助连接板沿着滑杆进行同步上移，当升降板、连接板上升至抛光位置时，控制自锁电机反向旋转，此时单向轴承停止带动往复丝杆转动，并利用转轴带动抛光板转动完成对抛光座上的半导体用石英环的抛光作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。技术研发人员：邓南翔,华锦贤,龚子坤,郁佳琦受保护的技术使用者：无锡沃尼克半导体科技有限公司技术研发日：20231121技术公布日：2024/6/11