一种切削液供液管路装置及磨切系统的制作方法

本申请涉及切削液管路设计，尤其涉及一种切削液供液管路装置及磨切系统。

背景技术：

1、切削液经磨切设备排出后，切削液内含有部分切割出来的固体粉末例如碳化硅粉末，切削液供液管路系统一般包括压滤机或离心机，通过压滤机或者离心机将磨切设备例如晶体加工设备排出的切削液中的大颗粒固体与液体分离开，使得切削液可以循环继续使用。

2、但是，从磨切设备流出的固液混合物(通常指切削液和磨切下来的固体粉末的混合物)一般需要经过供液管路系统中较长的管道才能够流入固液分离设备中，经过一定时间，管道内会淤积大量的沉淀，导致切削液供液管路装置管路堵塞，影响切割效果。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种切削液供液管路装置及磨切系统，能够实现对回液管道内沉积物的有效清洗，而且不会影响循环至供液管道内的切削液的浓度以及成分，从而达到了节能降耗、节省人工成本的目的。

2、根据本申请实施例的第一方面，提供了一种切削液供液管路装置，包括：

3、供液管道，所述供液管道的进口用于切削液流入，所述供液管道的出口用于与磨切设备连通；

4、回液管道，所述回液管道的进口与所述磨切设备连通，以接收从所述磨切设备内流出的固液混合物，所述回液管道的出口与分离装置连通，以通过所述分离装置将所述固液混合物中的切削液分离出；

5、冲洗管道，所述冲洗管道的进口用于切削液流入，所述冲洗管道的冲洗口与所述回液管道连通，所述冲洗管道被配置为使所述切削液以预设压力对所述回液管道进行冲洗。

6、在一种可行的实现方式中，所述供液管道包括主管道和多个支管道，所述多个支管道分别与所述主管道连通，且每个所述支管道对应一个所述磨切设备，且与对应的所述磨切设备连通；

7、所述冲洗管道与所述支管道并联设置，且均与所述主管道连通。

8、在一种可行的实现方式中，每个所述支管道对应设置有一个所述冲洗管道，且每个所述冲洗管道的管路上均设置有电磁阀，所述电磁阀用于控制所述冲洗管道内切削液的流通或关断。

9、在一种可行的实现方式中，沿所述回液管道内液体的流动方向，多个所述冲洗口依次间隔设置；

10、多个所述电磁阀被配置为，控制沿所述流动方向设置的多个所述冲洗口依次间隔预设时长打开，以实现对所述回液管道的接力冲洗；

11、每个所述冲洗口对所述回液管道的冲洗时长介于1～5分钟之间。

12、在一种可行的实现方式中，所述冲洗口包括冲洗喷嘴；

13、所述冲洗喷嘴的朝向与所述回液管道的流动方向一致；

14、或者，所述冲洗喷嘴距离所述回液管道的底部预设距离，且所述冲洗喷嘴朝向所述回液管道的底部倾斜设置。

15、在一种可行的实现方式中，所述冲洗喷嘴包括窄角扇形喷嘴或鸭嘴型喷嘴；

16、所述冲洗喷嘴为不锈钢冲洗喷嘴。

17、在一种可行的实现方式中，沿所述流动方向，所述回液管道具有预设角度的坡度；

18、所述回液管道包括管道本体和盖体，所述盖体可拆卸盖合于所述管道本体上。

19、在一种可行的实现方式中，所述切削液供液管路装置还包括可移动清洗管道，所述可移动清洗管道与所述支管道和所述冲洗管道并联设置；

20、所述可移动清洗管道的端部设置有开关手柄，所述开关手柄被配置为控制所述可移动清洗管道内切削液的流通或关断。

21、在一种可行的实现方式中，所述切削液供液管路装置还包括泵压装置，泵压装置设置于所述离心分离装置和所述主管道之间，所述泵压装置被配置为，将从所述离心分离装置分离出的切削液泵入所述主管道内。

22、根据本申请实施例的第二方面，提供了一种磨切系统，包括上述实施例所述的切削液供液管路装置，以及，

23、磨切设备，所述磨切设备分别与供液管道和回液管道连通。

24、本申请实施例提供的切削液供液管路装置及磨切系统。通过将流入供液管道内的切削液分流至冲洗管道内，并将冲洗管道的冲洗口设置在回液管道内，使得冲洗管道内的纯净切削液对回液管道进行冲洗，不仅能够实现对回液管道内沉积物的有效清洗，而且不会影响循环至供液管道内的切削液的浓度以及成分，从而达到了节能降耗、节省人工成本的目的，保证了切割效果。

技术特征：

1.一种切削液供液管路装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的切削液供液管路装置，其特征在于，所述供液管道(100)包括主管道(101)和多个支管道(102)，所述多个支管道(102)分别与所述主管道(101)连通，且每个所述支管道(102)对应一个所述磨切设备(600)，且与对应的所述磨切设备(600)连通；

3.根据权利要求2所述的切削液供液管路装置，其特征在于，每个所述支管道(102)对应设置有一个所述冲洗管道(300)，且每个所述冲洗管道(300)的管路上均设置有电磁阀(301)，所述电磁阀(301)用于控制所述冲洗管道(300)内切削液的流通或关断。

4.根据权利要求3所述的切削液供液管路装置，其特征在于，沿所述回液管道(200)内液体的流动方向，多个所述冲洗口(302)依次间隔设置；

5.根据权利要求4所述的切削液供液管路装置，其特征在于，所述冲洗口(302)包括冲洗喷嘴；

6.根据权利要求5所述的切削液供液管路装置，其特征在于，所述冲洗喷嘴包括窄角扇形喷嘴或鸭嘴型喷嘴；

7.根据权利要求4-6中任意一项所述的切削液供液管路装置，其特征在于，沿所述流动方向，所述回液管道(200)具有预设角度的坡度；

8.根据权利要求2-6中任意一项所述的切削液供液管路装置，其特征在于，所述切削液供液管路装置还包括可移动清洗管道(500)，所述可移动清洗管道(500)与所述支管道(102)和所述冲洗管道(300)并联设置，且分别与所述主管道(101)连通；

9.根据权利要求2-6中任意一项所述的切削液供液管路装置，其特征在于，所述切削液供液管路装置还包括压力提供装置，压力提供装置设置于所述分离装置和所述主管道(101)之间，所述压力提供装置被配置为，将从所述分离装置分离出的切削液泵入所述主管道(101)内。

10.一种磨切系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的切削液供液管路装置，以及，

技术总结本申请属于管路设计技术领域，本申请实施例提供一种切削液供液管路装置及磨切系统，包括供液管道，供液管道的进口用于切削液流入，供液管道的出口用于与磨切设备连通；回液管道，回液管道的进口与磨切设备连通，以接收从磨切设备内流出的固液混合物，回液管道的出口与分离装置连通，以通过分离装置将固液混合物中的切削液分离出；冲洗管道，冲洗管道的进口用于切削液流入，冲洗管道的冲洗口与回液管道连通，冲洗管道被配置为使切削液以预设压力对回液管道进行冲洗。本申请不仅能够实现对回液管道内沉积物的有效清洗，而且不会影响循环至供液管道内的切削液的浓度以及成分，从而达到了节能降耗、节省人工成本的目的，保证了切割效果。技术研发人员：请求不公布姓名,徐振锋,陈秀芳,王垚浩受保护的技术使用者：广州南砂晶圆半导体技术有限公司技术研发日：20231120技术公布日：2024/6/11