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一种高温高压晶体生长高温炉的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 12:33:26

本技术涉及高温炉,更具体地说,涉及一种高温高压晶体生长高温炉。

背景技术:

1、晶体生长高温炉是一种用于高温下进行材料生长的设备,通常,这些设备使用的是电阻加热或电弧加热等方法,可以在高温下使材料熔化,并通过控制温度梯度来控制材料的结晶过程,常见的晶体生长高温炉包括布里奇曼炉、高频感应炉、定向凝固炉等,其中,布里奇曼炉是一种使用预制材料的设备,通过缓慢地下降材料来控制温度梯度,从而在高温下形成单晶。

2、公开号为cn202482484u的实用新型,公开了一种晶体生长炉,包括有固定于底座上的炉体,炉体的内部设有晶体生长模具,炉体的外壁上设有多级台阶,其中一级台阶的台阶面上设有开孔并安装有透明视窗,透明视窗位于晶体生长模具的上方,炉体的上端设有开口并安装有保温罩。本实用新型结构合理,观察窗的位置由炉体的正面改为炉体外壁的台阶面上,在不影响观察效果的前提下,观察窗的位置远离炉内核心高温区,并配合保温罩使用,有效减少了炉内热量的散失,保证了炉内温场的均匀性和稳定性。

3、对于上述方案,本申请人认为,上述方案虽能够实现观察窗的设置不易影响到炉内温度的情况,但现有大多数情况下高温炉在使用后往往需要进行冷却,并通过降温使高温炉内侧的晶体能够顺利生长,因此一般采用风冷或水冷的降温方式,实现对高温炉的降温,但现有大多数高温炉进行水冷降温时,需要采用大量的水资源,不仅会增加水资源的消耗,并且会因大量水资源的存储占用大量的空间。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种高温高压晶体生长高温炉,它可有效的解决现有大多数高温炉进行水冷降温时,需要采用大量的水资源,不仅会增加水资源的消耗,并且会因大量水资源的存储占用大量的空间的问题。

2、为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案:

3、一种高温高压晶体生长高温炉,包括高温炉本体和密封盖板,所述高温炉本体与所述密封盖板的外侧设置有第二法兰,所述高温炉本体的外侧设置有降温机构,所述高温炉本体的外侧还设置有调整机构。

4、作为本实用新型的一种优选方案,所述降温机构包括固定连接在所述高温炉本体外侧的保温管,所述保温管的一端固定连接有第一连通管,所述第一连通管的一端固定连接有水箱,所述水箱的一侧固定连接有水泵,且所述水泵设置在所述第一连通管的外侧,所述第一连通管的两端分别与所述保温管和所述水箱相连通,所述保温管的另一端固定连接有第二连通管,所述第二连通管的一端固定连接有连接箱体,所述第二连通管的外侧设置有第一单向阀,所述连接箱体的下侧固定连接有第三连通管,且所述第三连通管的两端分别贯穿所述连接箱体和水箱,所述保温管的外侧固定连接有防护板。

5、作为本实用新型的一种优选方案,所述调整机构包括设置在所述高温炉本体一侧的气体瓶,所述气体瓶的上侧设置有进气管,所述进气管与所述气体瓶之间设置有第一法兰,所述进气管的外侧设置有气泵,所述进气管的一端贯穿所述高温炉本体,所述高温炉本体的内部固定连接有出气管,所述出气管的一端贯穿所述高温炉本体,所述出气管的外侧设置有第一阀体。

6、作为本实用新型的一种优选方案,所述水箱的上侧通过合页活动铰接有第一铰轴门板,所述第一连通管的外侧设置有第二单向阀,且所述第二单向阀设置在所述水泵远离所述水箱的一侧。

7、作为本实用新型的一种优选方案,所述水箱的内部开设有安装槽,所述水箱位于所述安装槽的内部固定连接有半导体制冷片。

8、作为本实用新型的一种优选方案,所述第二连通管的外侧固定连接有连接块,所述连接块的上侧固定连接有放置块。

9、作为本实用新型的一种优选方案,所述出气管的一端设置有闭合环块,所述连接箱体的下侧固定连接有加固板,且所述加固板与所述水箱之间固定连接,所述连接箱体的上侧固定连接有排气管,所述排气管与所述连接箱体之间相互连通,所述排气管的上侧设置有第二阀体。

10、相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

11、1.本装置中高温炉本体的外侧设置有降温机构,降温机构的设置,使得当高温炉本体在使用后需要进行降温时,不仅能够顺利的通过水源进行降温,并且降温时能够减少水资源的消耗。

12、2.本装置中调整机构的设置,能够有效的对高温炉本体内部的空气进行调整,使高温炉本体内部的含氧量能够根据需要进行降低,从而增加晶体生长时的纯净度和质量。

技术特征:

1.一种高温高压晶体生长高温炉,包括高温炉本体(1)和密封盖板(2),其特征在于:所述高温炉本体(1)与所述密封盖板(2)的外侧设置有第二法兰(10),所述高温炉本体(1)的外侧设置有降温机构,所述高温炉本体(1)的外侧还设置有调整机构。

2.根据权利要求1所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述降温机构包括固定连接在所述高温炉本体(1)外侧的保温管(31),所述保温管(31)的一端固定连接有第一连通管(32),所述第一连通管(32)的一端固定连接有水箱(34),所述水箱(34)的一侧固定连接有水泵(33),且所述水泵(33)设置在所述第一连通管(32)的外侧,所述第一连通管(32)的两端分别与所述保温管(31)和所述水箱(34)相连通,所述保温管(31)的另一端固定连接有第二连通管(35),所述第二连通管(35)的一端固定连接有连接箱体(36),所述第二连通管(35)的外侧设置有第一单向阀(39),所述连接箱体(36)的下侧固定连接有第三连通管(38),且所述第三连通管(38)的两端分别贯穿所述连接箱体(36)和水箱(34),所述保温管(31)的外侧固定连接有防护板(9)。

3.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述调整机构包括设置在所述高温炉本体(1)一侧的气体瓶(61),所述气体瓶(61)的上侧设置有进气管(62),所述进气管(62)与所述气体瓶(61)之间设置有第一法兰(7),所述进气管(62)的外侧设置有气泵(63),所述进气管(62)的一端贯穿所述高温炉本体(1),所述高温炉本体(1)的内部固定连接有出气管(64),所述出气管(64)的一端贯穿所述高温炉本体(1),所述出气管(64)的外侧设置有第一阀体(65)。

4.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述水箱(34)的上侧通过合页活动铰接有第一铰轴门板(42),所述第一连通管(32)的外侧设置有第二单向阀(41),且所述第二单向阀(41)设置在所述水泵(33)远离所述水箱(34)的一侧。

5.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述水箱(34)的内部开设有安装槽(131),所述水箱(34)位于所述安装槽(131)的内部固定连接有半导体制冷片(132)。

6.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述第二连通管(35)的外侧固定连接有连接块(81),所述连接块(81)的上侧固定连接有放置块(82)。

7.根据权利要求3所述的一种高温高压晶体生长高温炉,其特征在于:所述出气管(64)的一端设置有闭合环块(15),所述连接箱体(36)的下侧固定连接有加固板(5),且所述加固板(5)与所述水箱(34)之间固定连接,所述连接箱体(36)的上侧固定连接有排气管(12),所述排气管(12)与所述连接箱体(36)之间相互连通,所述排气管(12)的上侧设置有第二阀体(16)。

技术总结本技术公开了一种高温高压晶体生长高温炉,涉及高温炉领域,包括高温炉本体和密封盖板,高温炉本体与密封盖板的外侧设置有第二法兰,高温炉本体的外侧设置有降温机构,高温炉本体的外侧还设置有调整机构,述降温机构包括固定连接在高温炉本体外侧的保温管,保温管的一端固定连接有第一连通管,改善了现有大多数高温炉进行水冷降温时,需要采用大量的水资源,不仅会增加水资源的消耗,并且会因大量水资源的存储占用大量的空间的问题,本装置中高温炉本体的外侧设置有降温机构,降温机构的设置,使得当高温炉本体在使用后需要进行降温时,不仅能够顺利的通过水源进行降温,并且降温时能够减少水资源的消耗。技术研发人员:毋俊颖,洪杨,苏江滨受保护的技术使用者:福州致卓晶体光电科技有限公司技术研发日:20230927技术公布日:2024/5/19

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