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具有水平调节的单晶炉机架的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 12:47:33

本申请涉及单晶炉领域,具体而言,涉及一种具有水平调节的单晶炉机架。

背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶硅的生产过程中,首先需要用真空泵对单晶炉进行抽真空,使单晶炉保持在一种高真空状态下,排除多余的有害气体,然后再充入惰性气体作为保护气体。之后利用单晶炉内的石墨加热器对放置于石英坩埚内的块状多晶硅料进行加热融化,完成单晶硅的生产,在单晶硅的生产过程中,要持续不断的对单晶炉抽真空,并持续的充入惰性保护气体。

2、产品的结构可参照中国专利文献号202221192100.5中所公开的一种新型的大尺寸单晶炉的机架,包括机架本体,所述机架本体内部的两侧上均滑动设置有夹持框,所述机架本体上驱动组件,所述驱动组件用于驱使两个夹持框相向滑动,所述机架本体上设置有一驱动电机,所述机架本体底部上还设置有多组支撑筒,每个所述支撑筒内均滑动设置有一支撑柱,每个所述支撑柱底部上均设置有移动轮,所述驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动。通过机架本体、夹持框、驱动组件、驱动电机、支撑柱、移动轮以及驱动单元之间的配合,驱动电机通过驱动单元驱使多组支撑柱同步滑动,使得移动轮着地,便于移动,同时又通过驱动组件驱使夹持框相向滑动,提高该机架移动时单晶炉的稳定性。

3、单晶炉在使用时需要通过机架配合,从而方便与对应的设备连接,但是该专利中,由于机架具有一定的高度,从而不方便安装到机架上。

4、现在提供一种方便安装的单晶炉机架。

技术实现思路

1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思,这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征,也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

2、为了解决以上背景技术部分提到的技术问题,本申请的一些实施例提供了一种具有水平调节的单晶炉机架,包括:机架台,底部四角处均固接有支撑杆,且机架台上开设有安装槽;调节板,滑动安装在安装槽上;第一安装条,固接在机架台的底部;第二安装条,固接在调节板的底部;丝杆,转动安装在第一安装条上,且丝杆与第二安装条螺纹连接;第一伺服电机,固接在机架台的底部,且第一伺服电机的输出轴与丝杆固接;机架台上设置有运输组件;运输组件包括:连接板,设置为两个,且两个连接板之间均匀转动安装有多个输送辊,且连接板上对称固接有两个连接环;卷绕组件,设置为两个,且对称固接在机架台上;卷绕组件包括:安装板,设置为两个,且固接在机架台上;转轴,转动安装在两个安装板之间;第二伺服电机,固接其中一个安装板上,且第二伺服电机的输出轴与转轴固接;连接绳,设置为两个,一端固接在连接环上,另一端固接在对应的转轴上。

3、当需要将单晶炉安装到调节板上时,首先可将单晶炉架设到输送辊上,而刚开始的输送辊的高度较低,从而方便将单晶炉放到输送辊上,接着启动两端的第一伺服电机,从而使得第一伺服电机的输出轴带动转轴转动,从而对转轴上的连接绳进行收卷,从而使得两个连接板带动输送辊上的单晶炉上升,并使得连接板上升到与调节板齐平的位置,同时在第一限位杆的作用下,从而上升的过程中单晶炉晃动,接着可启动第二伺服电机,从而使得调节板移动,并使得调节板移动到靠近连接板,接着将单晶炉运输到调节板上,从而方便安装。

4、进一步地,所述机架台上对称固接有两个安装架,所述安装架上固接有第一限位杆,且对应的第一限位杆穿过对应的连接板。

5、进一步地,所述第一安装条上固接有第二限位杆,且第二限位杆穿过第二安装条。

6、进一步地,所述第二限位杆设置为两个。

7、进一步地,所述丝杆位于两个第二限位杆之间。

8、进一步地,每个所述转轴上分别固接有两组限位盘,每组限位盘为两个,且对应的连接绳位于对应的两个限位盘之间。

9、进一步地,所述安装槽的内壁上开设有稳定槽,所述调节板上固接有与稳定槽对应的稳定块。

10、进一步地,所述限位槽和限位块分别设置有两个。

11、进一步地,所述机架台上设置有四组导向组件,对应的导向组件与对应的连接绳对应,导向组件包括两个固定架,固接在机架台上,且两个固定架之间转动连接有转向辊,且对应的连接绳绕过转向辊。

12、进一步地,所述安装架为l型。

13、本申请的有益效果在于:提供了一种方便安装的单晶炉机架。

技术特征:

1.一种具有水平调节的单晶炉机架,包括:

2.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

5.根据权利要求4所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

6.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

7.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

8.根据权利要求7所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

9.根据权利要求1所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

10.根据权利要求2所述的具有水平调节的单晶炉机架,其特征在于:

技术总结本申请公开了一种具有水平调节的单晶炉机架,其属于单晶炉领域。包括:机架台,底部四角处均固接有支撑杆,且机架台上开设有安装槽;调节板,滑动安装在安装槽上;第一安装条,固接在机架台的底部;第二安装条,固接在调节板的底部;丝杆,转动安装在第一安装条上,且丝杆与第二安装条螺纹连接;第一伺服电机,固接在机架台的底部,且第一伺服电机的输出轴与丝杆固接;机架台上设置有运输组件;运输组件包括:连接板,设置为两个,且两个连接板之间均匀转动安装有多个输送辊,且连接板上对称固接有两个连接环。本申请的有益效果在于提供了一种方便安装的单晶炉机架。技术研发人员:宋陈栋,汪灯灯,王炎标,黄富炎,王熔受保护的技术使用者:绍兴市上虞区成达机械科技有限公司技术研发日:20230825技术公布日:2024/5/29

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