换热器及单晶炉的制作方法

本技术涉及晶体生长，尤其涉及换热器及单晶炉。

背景技术：

1、在单晶硅的生产中，为了提高晶体生长速度，需要保证硅液上方的单晶硅棒具有一定的温度梯度。

2、目前，通常采用水冷屏包围住单晶硅棒，使得单晶硅棒能够快速冷却从而保证单晶硅棒的温度梯度。水冷屏包括换热器，换热器的内径通常与单晶硅棒的直径相匹配。

3、出于对不同硅片产品尺寸的需求，单晶硅生产时单晶硅棒的直径需要进行升级换代或更换，单晶硅棒的直径变化时，需对应更换换热器，以使更换后的换热器与变化后的单晶硅棒的直径相匹配。然而，现有技术中，换热器更换时为整体式更换，导致换热器的更换成本较高。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种换热器及单晶炉，旨在至少解决现有技术中换热器的更换成本较高的技术问题。

2、第一方面，本实用新型实施例提供了一种换热器，具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间，包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器，所述换热器主体与所述底换热器为分体结构；

3、所述换热器主体具有用于供冷却介质流通的流道，所述底换热器包括用于供所述冷却介质流通的管道，所述流道与所述管道相连通。

4、可选地，所述管道包括盘管部，所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。

5、可选地，所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接，或者，所述换热器主体与所述底换热器焊接。

6、可选地，所述换热器主体具有总进液口和总出液口，所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道，所述盘管部的底部具有下进液口，所述盘管部的顶部具有上出液口，所述下进液口与所述进液流道相连通，所述流道还包括与所述上出液口相连通的导流流道，所述导流流道与所述总出液口相连通。

7、可选地，所述管道还包括进液管段，所述下进液口通过所述进液管段与所述进液流道相连通。

8、可选地，所述换热器主体包括环状本体，所述环状本体内具有环状腔体，所述环状腔体内间隔设置有多个导流隔板，多个所述导流隔板将所述环状腔体分隔为多个所述导流流道，相邻的两个所述导流流道相连通，多个所述导流流道中位于底部的导流流道与所述上出液口相连通，位于顶部的导流流道与所述总出液口相连通。

9、可选地，所述盘管部具有靠近所述换热器主体的第一端和远离所述换热器主体的第二端，由所述盘管部的第一端至所述盘管部的第二端，所述盘管部的内径不变，或者，所述盘管部的内径逐渐减小。

10、可选地，所述管道的横截面为圆形。

11、可选地，所述管道的材质为合金，所述合金包括不锈钢或铜合金。

12、第二方面，本实用新型实施例提供了一种单晶炉，包括上述任一项所述的换热器。

13、本实用新型实施例中，换热器包括分体结构的换热器主体和底换热器，单晶硅棒的直径变化时，仅需更换底换热器，即可兼容不同直径的单晶硅棒，极大地降低了换热器的更换成本，进而降低了生产成本，避免了换热器更换时为整体式更换导致的资源浪费；此外，由于仅需更换底换热器，则只需重新设计并制造底换热器即可，减短了更换周期。

14、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

技术特征：

1.一种换热器，具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间，其特征在于，包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器，所述换热器主体与所述底换热器为分体结构；

2.根据权利要求1所述的换热器，其特征在于，所述管道包括盘管部，所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。

3.根据权利要求1所述的换热器，其特征在于，所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接，或者，所述换热器主体与所述底换热器焊接。

4.根据权利要求2所述的换热器，其特征在于，所述换热器主体具有总进液口和总出液口，所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道，所述盘管部的底部具有下进液口，所述盘管部的顶部具有上出液口，所述下进液口与所述进液流道相连通，所述流道还包括与所述上出液口相连通的导流流道，所述导流流道还与所述总出液口相连通。

5.根据权利要求4所述的换热器，其特征在于，所述管道还包括进液管段，所述下进液口通过所述进液管段与所述进液流道相连通。

6.根据权利要求4所述的换热器，其特征在于，所述换热器主体包括环状本体，所述环状本体内具有环状腔体，所述环状腔体内间隔设置有多个导流隔板，多个所述导流隔板将所述环状腔体分隔为多个所述导流流道，相邻的两个所述导流流道相连通，多个所述导流流道中位于底部的导流流道与所述上出液口相连通，位于顶部的导流流道与所述总出液口相连通。

7.根据权利要求2、4、5、6中任一项所述的换热器，其特征在于，所述盘管部具有靠近所述换热器主体的第一端和远离所述换热器主体的第二端，由所述盘管部的第一端至所述盘管部的第二端，所述盘管部的内径不变，或者，所述盘管部的内径逐渐减小。

8.根据权利要求1至6任一项所述的换热器，其特征在于，所述管道的横截面为圆形。

9.根据权利要求1至6任一项所述的换热器，其特征在于，所述管道的材质为合金，所述合金包括不锈钢或铜合金。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的换热器。

技术总结本技术公开了一种换热器及单晶炉，换热器包括换热器主体和连接在换热器主体的底部的底换热器，换热器主体与底换热器为分体结构；换热器主体具有用于供冷却介质流通的流道，底换热器包括用于供冷却介质流通的管道，流道与管道相连通。本技术实施例中，单晶硅棒的直径变化时，仅需更换底换热器即可，无需更换整个换热器，进而降低了换热器的更换成本，且减短了更换周期。技术研发人员：文永飞,马少林,程磊,丁彪,王莎莎,张朝光,马宝,杨少平,张恒,武刚,杜婷婷,潘振安受保护的技术使用者：隆基绿能科技股份有限公司技术研发日：20230918技术公布日：2024/5/29