一种晶棒转移机构的制作方法

本技术涉及取晶设备，具体地说，涉及一种晶棒转移机构。

背景技术：

1、单晶硅片的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用单晶炉把多晶硅加热融化，再用籽晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的晶棒，晶棒从单晶炉中取出时需要利用取晶车接送。通常，大部分型号的单晶炉在取晶棒时都是将副室旋转90°至一边，取晶车推至副室下方，晶棒从副室内缓慢下降至取晶车内完成取晶。但是有些特定型号单晶炉的副室是无法旋转或无法单独旋转的，这就造成取晶棒只能在副室完成，晶棒长度较短时人力尚且能够满足。随着拉晶技术的快速发展，单炉拉制的晶棒根数越来越多，且晶棒的长度越来越长，而且人力取晶时晶棒是高温的，容易造成人员受伤，因此这种特定型号单晶炉的取晶棒已非人力能够满足，亟待设计一种特定的晶棒转移机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶棒转移机构，以解决上述背景技术中提出的单晶炉副室无法旋转时的取晶问题

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶棒转移机构，包括篮筐，所述篮筐的顶端安装有定位机构，篮筐包括底板，所述底板的顶部靠近侧边竖向安装有若干支撑杆，所述支撑杆的中部安装有定位圈，所述支撑杆的下部安装有垫板，晶棒放置在篮筐内，上端通过定位机构进行定位，篮筐底部通过配套的支撑套固定，所述支撑套的一侧安装有通过推车板，定位机构采用第一定位组件或者第二定位组件，所述推车板的外侧安装有连接杆，所述连接杆的外端连接有电动升降装置的小车。

3、作为优选，所述支撑杆的上部一侧安装有扶手。

4、作为优选，所述定位圈的一侧安装有压紧组件，所述压紧组件包括螺纹杆，所述螺纹杆与定位圈的外壁螺纹连接，所述螺纹杆的一端通过轴承转动安装有压板，所述压板的背面靠近定位圈处安装有导向杆，所述导向杆贯穿定位圈的外壁。

5、作为优选，所述压板为弧形结构，弧度与晶棒的外壁相适配。

6、作为优选，支撑杆的上部一侧安装有固定环，所述推车板的顶部安装有固定杆，所述固定杆与固定环插接配合。

7、作为优选，所述第一定位组件包括半圆管，所述半圆管两端开口，且内部滑动设置有弧形结构的伸缩杆，所述半圆管的外侧开设有滑槽，所述伸缩杆的外壁安装有推杆，所述推杆与滑槽滑动连接，所述半圆管靠近伸缩杆伸出口的一侧外壁安装有插销板，所述插销板的中部设置有插销孔，所述推杆滑动至插销板处时，通过插销穿过插销板进行限位。

8、作为优选，所述第二定位组件包括半圆环，所述半圆环的两端安装有直杆，一个所述直杆的端头处设置有弧形槽，另一个所述直杆的端头处通过销轴转动连接有档杆，所述档杆的底端一侧安装有弯折板，所述弯折板的表面设置有圆孔，圆孔内插有插杆，所述推车板的顶部一侧安装有l形的挡板，所述挡板将插杆限位，所述插杆水平移动脱离挡板时，所述档杆的一端落下并卡在弧形槽内。

9、作为优选，所述支撑套的尺寸与篮筐的尺寸相适配。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

11、该晶棒转移机构中，通过具有电动升降装置的小车能够将篮筐轻松地移到单晶炉副室闸板阀上方位置，通过设置的篮筐能够方便悬挂于副室内的较长晶棒的放置，且在取晶过程中能够保证对晶棒进行防护，避免其受到碰撞，且在运输中保证稳定不晃动，避免晶棒的损坏。该装置的定位机构方便进行拆卸，方便晶棒的快速放置和转移，且能够避免人工取晶时操作不当造成人员受伤。

技术特征：

1.一种晶棒转移机构，包括篮筐，其特征在于：所述篮筐的顶端安装有定位机构，篮筐包括底板(1)，所述底板(1)的顶部靠近侧边竖向安装有若干支撑杆(2)，所述支撑杆(2)的中部安装有定位圈(3)，所述支撑杆(2)的下部安装有垫板(4)，晶棒放置在篮筐内，上端通过定位机构进行定位，篮筐底部通过配套的支撑套(81)固定，所述支撑套(81)的一侧安装有通过推车板(8)，定位机构采用第一定位组件(6)或者第二定位组件(7)，所述推车板(8)的外侧安装有连接杆(10)，所述连接杆(10)的外端连接有电动升降装置的小车。

2.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述支撑杆(2)的上部一侧安装有扶手(5)。

3.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述定位圈(3)的一侧安装有压紧组件(9)，所述压紧组件(9)包括螺纹杆(91)，所述螺纹杆(91)与定位圈(3)的外壁螺纹连接，所述螺纹杆(91)的一端通过轴承转动安装有压板(92)，所述压板(92)的背面靠近定位圈(3)处安装有导向杆(93)，所述导向杆(93)贯穿定位圈(3)的外壁。

4.根据权利要求3所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述压板(92)为弧形结构，弧度与晶棒的外壁相适配。

5.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：支撑杆(2)的上部一侧安装有固定环(21)，所述推车板(8)的顶部安装有固定杆(82)，所述固定杆(82)与固定环(21)插接配合。

6.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述第一定位组件(6)包括半圆管(61)，所述半圆管(61)两端开口，且内部滑动设置有弧形结构的伸缩杆(62)，所述半圆管(61)的外侧开设有滑槽(611)，所述伸缩杆(62)的外壁安装有推杆(621)，所述推杆(621)与滑槽(611)滑动连接，所述半圆管(61)靠近伸缩杆(62)伸出口的一侧外壁安装有插销板(63)，所述插销板(63)的中部设置有插销孔，所述推杆(621)滑动至插销板(63)处时，通过插销穿过插销板(63)进行限位。

7.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述第二定位组件(7)包括半圆环(71)，所述半圆环(71)的两端安装有直杆(72)，一个所述直杆(72)的端头处设置有弧形槽(721)，另一个所述直杆(72)的端头处通过销轴转动连接有档杆(73)，所述档杆(73)的底端一侧安装有弯折板(731)，所述弯折板(731)的表面设置有圆孔，圆孔内插有插杆(74)，所述推车板(8)的顶部一侧安装有l形的挡板(83)，所述挡板(83)将插杆(74)限位，所述插杆(74)水平移动脱离挡板(83)时，所述档杆(73)的一端落下并卡在弧形槽(721)内。

8.根据权利要求1所述的晶棒转移机构，其特征在于：所述支撑套(81)的尺寸与篮筐的尺寸相适配。

技术总结本技术涉及取晶设备技术领域，具体为一种晶棒转移机构，包括篮筐，篮筐的顶端安装有定位机构，篮筐包括底板，底板的顶部靠近侧边竖向安装有若干支撑杆，支撑杆的中部安装有定位圈，支撑杆的下部安装有垫板，晶棒放置在篮筐内，上端通过定位机构进行定位，篮筐底部通过配套的支撑套固定，支撑套的一侧安装有通过推车板，定位机构采用第一定位组件或者第二定位组件。该晶棒转移机构中，通过具有电动升降装置的小车能够将篮筐轻松地移到单晶炉副室闸板阀上方位置，通过设置的篮筐能够方便悬挂于副室内的较长晶棒的放置，且在取晶过程中能够保证对晶棒进行防护，避免其受到碰撞，且在运输中保证稳定不晃动，避免晶棒的损坏。技术研发人员：杨国梁,高海军,郑欢欣,王伟棱,肖银平,赵亮,冯小娟,苏文霞,潘金平受保护的技术使用者：浙江海纳半导体股份有限公司技术研发日：20231108技术公布日：2024/6/18