一种高纯钨制备装置的制作方法

本技术涉及钨酸制备，尤其涉及一种高纯钨制备装置。

背景技术：

1、六氟化钨作为一种电子特种气体在半导体制造中具有广泛的应用。六氟化钨本身具有极强的吸湿性，在空气中会潮解形成钨酸和氟化氢气体。因此在高纯六氟化钨的生产过程中，系统中少量的空气进入会产生少量的固体废料，其主要为氟氧和钨的化合物。

2、目前制备钨酸的主要方法有两种，一种时使用钨酸钙与盐酸反应生成钨酸。

3、cawo4+2hcl→h2wo4+cacl2

4、另一种方法是使用精钨酸铵溶液用盐酸酸解，得到钨酸。

5、5(nh4)2o·12wo3+10hcl+7h2o→12h2wo4+10nh4cl

6、但以上方法操作简单，但无法制备纯度≥99.9％以上的钨酸。

7、公开号为cn210699723u一种生物混合搅拌罐，包括罐体和罐盖，所述罐盖上设置有进料口，所述罐体的底部设置有排料口，罐体的侧壁上端设置有注液口，所述进料口位于所述罐盖的正中央，且罐盖上还开设有对称分布于所述进料口两侧的第一轴孔、第二轴孔，所述第一轴孔、第二轴孔内分别转动安装有竖直布置的第一搅拌轴、第二搅拌轴，所述第一搅拌轴、第二搅拌轴分别连接有固定在罐盖上表面的第一电机、第二电机，所述第一搅拌轴上均布有多组第一搅拌叶，每组第一搅拌叶由两个对称固定在第一搅拌轴上且外端向下弯的叶瓣组成，所述第二搅拌轴上均布有多组第二搅拌叶，每组第二搅拌叶由两个对称固定在第二搅拌轴上且外端向上弯的叶瓣组成，所述第一搅拌轴和第二搅拌轴的下端皆固定有搅拌刀。

8、未安装过滤结构，会导致制配完成的成品内惨杂杂质，影响成品质量，造成经济损失。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高纯钨制备装置，用于解决现有的高纯钨酸制备复杂，罐体出料管未安装过滤结构以及过滤结构容易堵塞的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种高纯钨制备装置，包括罐体，所述罐体外顶部设置有超纯水管路接口、高纯氮气管路接口、高纯六氟化钨管路接口和气孔，所述罐体外顶部安装有电机，所述罐体内设置有第一传动轴，所述电机的传动轴穿过所述罐体顶板，所述第一传动轴上安装有第一搅拌叶片，所述第一传动轴下方固定连接有第二传动轴，所述第二传动轴上安装有第二搅拌叶片，所述罐体底部设置有出料口，所述出料口上安装有上出料管，所述罐体外壁上安装有保温板，所述罐体侧壁内安装有加热管。

4、进一步的，所述超纯水管路接口、所述高纯氮气管路接口、所述高纯六氟化钨管路开口和所述气孔上均安装有法兰接头。

5、进一步的，所述罐体内顶板上安装有喷嘴，所述喷嘴通过导管与所述超纯水管路接口连接。

6、进一步的，所述电机通过安装架固定安装在所述罐体外顶部。

7、进一步的，所述上出料管下方通过密封接头连接有下出料管，所述下出料管通过安装板与所述密封接头相连接，所述下出料管内安装有滤网，所述密封接头的直径大于所述上出料管和所述下出料管的直径,所述下出料管的端部连接有开关阀。

8、进一步的，所述第二搅拌叶片位于上出料管内，所述滤网位于所述第二搅拌叶片下方。

9、进一步的，所述第一传动轴与所述罐体顶板之间通过密封轴承转动连接。

10、进一步的，所述罐体底部安装有温度传感器。

11、本实用新型的积极效果为：

12、1、装置上安装有下出料管，下出料管上安装有滤网，通过滤网能将制备完成的成品中的杂质滤除，同时在上出料管上安装有第二搅拌叶片，通过第二搅拌叶片的搅拌能提高过滤结构的通顺性。

13、2、本装置采用氮气压滤的方式，相对于真空抽滤能有效缩短过滤时间。

14、3、制备过程设计原料种类少、工艺简单，采用一体式设备减少了工艺设备和步骤，同时提纯度较高，具有良好的工业应用前景。

技术特征：

1.一种高纯钨制备装置，其特征在于，包括罐体(1)，所述罐体(1)外顶部设置有超纯水管路接口(2)、高纯氮气管路接口(3)、高纯六氟化钨管路接口(4)和气孔(17)，所述罐体(1)外顶部安装有电机(5)，所述罐体(1)内设置有第一传动轴(6)，所述电机(5)的传动轴穿过所述罐体(1)顶板，所述第一传动轴(6)上安装有第一搅拌叶片(7)，所述第一传动轴(6)下方固定连接有第二传动轴(8)，所述第二传动轴(8)上安装有第二搅拌叶片(9)，所述罐体(1)底部设置有出料口，所述出料口上安装有上出料管(10)，所述罐体(1)外壁上安装有保温板(11)，所述罐体(1)侧壁内安装有加热管(12)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述超纯水管路接口(2)、所述高纯氮气管路接口(3)、所述高纯六氟化钨管路接口(4)和所述气孔(17)上均安装有法兰接头。

3.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述罐体(1)内顶板上安装有喷嘴，所述喷嘴通过导管与所述超纯水管路接口(2)连接。

4.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述电机(5)通过安装架固定安装在所述罐体(1)外顶部。

5.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述上出料管(10)下方通过密封接头(14)连接有下出料管(19)，所述下出料管(19)通过安装板(13)与所述密封接头(14)相连接，所述下出料管(19)安装有滤网(18)，所述密封接头(14)的直径大于所述上出料管(10)和所述下出料管(19)的直径,所述下出料管(19)的端部连接有开关阀(15)。

6.根据权利要求5所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述第二搅拌叶片(9)位于上出料管(10)内，所述滤网(18)位于所述第二搅拌叶片(9)下方。

7.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述第一传动轴(6)与所述罐体(1)顶板之间通过密封轴承转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种高纯钨制备装置，其特征在于，所述罐体(1)底部安装有温度传感器(16)。

技术总结本技术公开了一种高纯钨制备装置，包括罐体，所述罐体外顶部设置有超纯水管路接口、高纯氮气管路接口、高纯六氟化钨管路接口和气孔，所述罐体外顶部安装有电机，所述罐体内设置有第一传动轴，所述电机的第一传动轴穿过所述罐体顶板，所述第一传动轴上安装有第一搅拌叶片，所述第一传动轴下方固定连接有第二传动轴，所述第二传动轴上安装有第二搅拌叶片，所述罐体底部设置有出料口，所述出料口上安装有上出料管，所述罐体外壁上安装有保温板，所述罐体侧壁内安装有加热管。因此采用一种高纯钨制备装置能解决工艺复杂和出料管容易堵塞的问题。技术研发人员：郝帅国,李绍波,申永明,罗建志,杨万吉,骆华江受保护的技术使用者：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司技术研发日：20230613技术公布日：2024/7/9