腔内露点调节装置和三温测试设备的制作方法

本技术涉及半导体测试，特别是涉及一种腔内露点调节装置和三温测试设备。

背景技术：

1、目前，诸如存储器(memory)等半导体产品的需求量较大，市场前景较好。由于半导体产品通常都需要进行三温测试，其测试温度范围通常在-55℃至150℃之间，因此为了达到合适的低温测试环境，一般会一对一外接制冷系统(chiller)的形式，通过整机管路内低温介质的循环，来实现降低卡盘(chuck)的盘面温度至低温测试所需的温度。

2、由于在低温测试过程中，腔体内部存在的空气会与低温卡盘所承载的晶圆接触并换热，导致空气中的水分结露凝霜在晶圆上，会造成漏电过大或探针无法接触到晶圆电极而导致低温测试失败；此外，回温时冰霜融化会导致水滴落在机台内部元器件的线路或导轨上，导致线路短路或导轨锈蚀，影响三温探针台的安全性能。因此，在三温探针台中，涉及低温测试时需要向腔体内部通入干燥气体，以降低腔体内部的露点，杜绝低温结露凝霜的情况发生。

3、然而，现有的技术方案是将潮湿的空气经过干燥器干燥后，直接经由pu气管(聚氨酯管)通入腔体内部，进而通过腔体内部带有小孔的pu气管进行转接并保持常开状态；这虽然能够整体降低腔体内部的露点至低温测试所需，但是通入的干燥气不仅会直吹卡盘上的晶圆，造成测试干扰，而且还会因微弱的压差变化而导致较大的流量变化，容易形成干燥气流量分配不均的问题，造成腔体内部各处的露点不一致。

技术实现思路

1、本实用新型的一个优势在于提供一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其能够在避免对低温测试造成干扰的同时，保持腔内各处的干燥气流量保持一致，以便确保腔体内部各处的露点一致。

2、本实用新型的另一个优势在于提供一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其中，在本实用新型的一个实施例中，所述腔内露点调节装置能够实现对通入腔体的干燥气气量和温度及腔体内部的露点进行监控，以便确保测试作业顺利进行及设备安全。

3、本实用新型的另一个优势在于提供一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其中，在本实用新型的一个实施例中，所述腔内露点调节装置能够在随着高低温测试切换自动通断干燥气的同时，动态调节通入腔体内部的干燥气流量，以便减少低温测试时的冷量耗散和高温测量时的卡盘温度波动。

4、本实用新型的另一优势在于提供一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其中为了达到上述目的，在本实用新型中不需要采用昂贵的材料或复杂的结构。因此，本实用新型成功和有效地提供一种解决方案，不只提供一种简单的腔内露点调节装置和三温测试设备，同时还增加了所述腔内露点调节装置和三温测试设备的实用性和可靠性。

5、为了实现本实用新型的上述至少一优势或其他优点和目的，本实用新型提供了一种腔内露点调节装置，包括：

6、测试腔体；

7、载片台，被设置在所述测试腔体之内，其中所述载片台具有用于承载半导体的承载面，并且所述载片台的所述承载面远离所述测试腔体的底部；

8、供气模块，用于可调控地供应干燥气；

9、送气管，被布置在所述测试腔体的底部，其中所述送气管具有与所述供气模块连通的进气端和贯穿管壁的多个通气孔，并且多个所述通气孔的孔径沿着远离所述进气端的方向逐渐增大；以及

10、露点传感器，被设置在所述测试腔体之内，用于检测腔内露点。

11、根据本申请的一个实施例，所述露点传感器布置于所述载片台的所述承载面。

12、根据本申请的一个实施例，所述送气管环绕着所述载片台布置。

13、根据本申请的一个实施例，所述通气孔位于所述送气管上邻近所述载片台的一侧。

14、根据本申请的一个实施例，所述供气模块包括供气管路、温度传感器、供气电磁阀以及控制板，所述温度传感器和所述供气电磁阀对应地安装于所述供气管路，并且所述温度传感器和所述供气电磁阀电连接于所述控制板。

15、根据本申请的一个实施例，所述供气模块进一步包括被安装于所述供气管路的流量传感器，所述流量传感器电连接于所述控制板。

16、根据本申请的一个实施例，所述流量传感器位于所述供气电磁阀和所述温度传感器之间的气路中，并且所述温度传感器位于所述供气管路上邻近所述送气管的所述进气端的部位。

17、根据本申请的一个实施例，所述供气模块进一步包括与所述温度传感器和所述控制板电连接的温控器，用于显示经由所述温度传感器采集到的干燥气温度。

18、根据本申请的一个实施例，所述供气模块进一步包括安装壳体和与所述安装壳体固定连接的可视盖体，其中所述供气电磁阀、所述控制板以及所述温控器被固装于所述安装壳体，并且所述可视盖体具有与所述温控器对应的窗口。

19、根据本申请的另一方面，本申请的一个实施例进一步提供了一种三温测试设备，包括：

20、上述任一所述的腔内露点调节装置；

21、控温装置，所述控温装置可导热地连接于所述腔内露点调节装置的载片台，用于控制经由所述载片台所承载的半导体的测试温度；以及

22、测试装置，所述测试装置被设置于所述腔内露点调节装置的测试腔体，用于对该半导体进行三温测试。

23、综上，本申请的腔内露点调节装置一方面通过送气管从该测试腔体的底部向测试腔体的内部输送干燥气，防止干燥气直吹载片台的承载面所承载的半导体，有利于避免造成测试干扰，另一方面又通过该送气管上孔径沿着远离进气端的方向逐渐增大的多个通气孔，使得该送气管上不同通气孔所排出的干燥气流量基本保持一致，形成干燥气流量的均匀分配，有助于增强腔内露点的整体调控，以便确保腔体内部各处的露点始终保持一致，提升露点调控效率，进而提升半导体测试效率和稳定性。

技术特征：

1.腔内露点调节装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述露点传感器(50)布置于所述载片台(20)的所述承载面(200)。

3.根据权利要求1所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述送气管(40)环绕着所述载片台(20)布置。

4.根据权利要求3所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述通气孔(42)位于所述送气管(40)上邻近所述载片台(20)的一侧。

5.根据权利要求1至4中任一所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述供气模块(30)包括供气管路(31)、温度传感器(32)、供气电磁阀(33)以及控制板(34)，所述温度传感器(32)和所述供气电磁阀(33)对应地安装于所述供气管路(31)，并且所述温度传感器(32)和所述供气电磁阀(33)电连接于所述控制板(34)。

6.根据权利要求5所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述供气模块(30)进一步包括被安装于所述供气管路(31)的流量传感器(35)，所述流量传感器(35)电连接于所述控制板(34)。

7.根据权利要求6所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述流量传感器(35)位于所述供气电磁阀(33)和所述温度传感器(32)之间的气路中，并且所述温度传感器(32)位于所述供气管路(31)上邻近所述送气管(40)的所述进气端(41)的部位。

8.根据权利要求5所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述供气模块(30)进一步包括与所述温度传感器(32)和所述控制板(34)电连接的温控器(36)，用于显示经由所述温度传感器(32)采集到的干燥气温度。

9.根据权利要求8所述的腔内露点调节装置，其特征在于，所述供气模块(30)进一步包括安装壳体(37)和与所述安装壳体(37)固定连接的可视盖体(38)，其中所述供气电磁阀(33)、所述控制板(34)以及所述温控器(36)被固装于所述安装壳体(37)，并且所述可视盖体(38)具有与所述温控器(36)对应的窗口(380)。

10.三温测试设备，其特征在于，包括：

技术总结本技术涉及一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其能够在避免对低温测试造成干扰的同时，保持腔内各处的干燥气流量保持一致，以便确保腔体内部各处的露点一致。该腔内露点调节装置，包括：测试腔体；载片台，被设置在该测试腔体之内，其中该载片台具有用于承载半导体的承载面，并且该载片台的该承载面远离该测试腔体的底部；供气模块，用于可调控地供应干燥气；送气管，被布置在该测试腔体的底部，其中该送气管具有与该供气模块连通的进气端和贯穿管壁的多个通气孔，并且多个该通气孔的孔径沿着远离该进气端的方向逐渐增大；以及露点传感器，被设置在该测试腔体之内，用于检测腔内露点。技术研发人员：陆鸣旭,李抱抱,邱国志受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/7/11