前开式晶圆盒装载设备的制作方法

本技术涉及半导体，尤其涉及一种前开式晶圆盒装载设备。

背景技术：

1、前开式晶圆盒(front opening unified pod，缩写为foup)用于装载晶圆，实现晶圆在不同的半导体设备间的传输。前开式晶圆盒装载设备主要应用于承载前开式晶圆盒的装载端口，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆并输送至机台进行相应的制程，待晶圆加工处理后，再由操作机械手将晶圆收纳至晶圆盒内。

2、随着国内半导体行业的发展，前开式晶圆盒装载设备的使用范围越来越广，对前开式晶圆盒装载设备的安装速度、可靠性、稳定性以及安全性的要求越来越高，对降低安装成本的要求也相应的提高。但是在安装时和安装后对现有的前开式晶圆盒装载设备进行位置调整的过程十分不方便，调试困难；且现有的前开式晶圆盒装载设备体积大，占用空间，在安装和拆卸过程中都需要投入大量人力进行整体搬运，费时费力，成本较高。

3、因此，有必要提供一种新型的前开式晶圆盒装载设备以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种前开式晶圆盒装载设备，以解决上述现有技术中存在的至少一种缺陷，本实用新型所述的前开式晶圆盒装载设备拥有配套的带有滚轮的折叠支腿机构，在移动时能够减少人力投入，进而提高工作效率，节约资源。

2、为实现上述目的，本实用新型的所述前开式晶圆盒装载设备，包括装载台主体和至少两个折叠支腿组件；两个所述折叠支腿组件分设在所述装载台主体两侧，并与所述装载台主体连接，所述装载台主体用于装载前开式晶圆盒；每个所述折叠支腿组件包括与所述装载台主体活动连接的第一连接杆、设置在所述第一连接杆的端部的活动板、与所述活动板对应设置的第一旋转柱塞、与所述第一连接杆固定连接的支腿、第二连接杆和至少两个滚轮，其中，所述第二连接杆的一侧与所述支腿远离所述第一连接杆的一端连接，另一侧与所述滚轮连接；所述第一旋转柱塞活动贯穿所述活动板并与所述装载台主体可拆连接，当所述第一旋转柱塞与所述装载台主体连接时，所述装载台主体和所述第一连接杆相互固定，从而使得所述支腿与所述装载台主体相互固定，进而使得在外力下所述支腿能通过所述滚轮带动所述装载台主体移动。

3、进一步地，所述装载台主体上设置有连接板，每个所述折叠支腿组件还包括至少两个设置在所述连接板与所述第一连接杆之间的铰链，以使所述第一连接杆和所述装载台主体活动连接；所述第一旋转柱塞活动贯穿所述活动板与所述连接板的端部可拆连接，当所述第一旋转柱塞与所述连接板连接时，所述铰链被锁定使所述连接板和所述第一连接杆相互固定，从而所述装载台主体和所述第一连接杆相互固定。

4、进一步地，所述第二连接杆上设置有固定板，所述固定板上设置有第二旋转柱塞，所述装载台主体上还设置有挂板；当所述第一旋转柱塞活动脱离所述活动板不与所述连接板的端部连接时，所述铰链被解锁，所述第一连接杆带动所述支腿围绕所述铰链旋转直至所述固定板和所述挂板重叠，所述第二旋转柱塞贯穿所述固定板与所述挂板连接以使所述支腿被折叠。

5、进一步地，还包括固定调整组件，所述固定调整组件包括与所述连接板固定连接的滑块以及与所述滑块滑动连接的轨道；所述滑块在外力下可在所述轨道内滑动以带动所述装载台主体改变位置。

6、进一步地，所述装载台主体上还设置有连接臂，所述连接臂与所述滑块连接以使所述装载台主体连接所述滑块。

7、进一步地，所述固定调整组件还包括与所述连接臂固定连接的锁定件、卡接件和用于连接外接设备的固定杆；所述锁定件与设置在所述固定杆上的所述卡接件可拆连接，以固定所述滑块在所述轨道上的位置，进而固定所述装载台主体的位置。

8、进一步地，所述固定杆上设置有凹槽，所述轨道固定在所述凹槽内以使所述装载台主体通过所述滑块和所述固定杆与所述外接设备连接。

9、进一步地，所述固定调整组件还包括至少两个顶丝，所述顶丝设置在所述固定杆的侧面，所述顶丝的底端依次贯穿所述凹槽和所述轨道的侧壁，与所述滑块连接；通过调整所述顶丝伸入所述轨道内的长度以调整所述滑块在所述轨道内的位置使所述滑块在所述轨道内保持水平。

10、进一步地，相邻铰链之间设置有与所述滑块固定连接的承重块，所述承重块的一侧与所述连接板连接；当所述第一旋转柱塞活动贯穿所述活动板并与所述连接板的端部连接时，所述承重块的另一侧与所述第一连接杆抵接，以支撑所述连接板，进而支撑所述装载台主体。

11、进一步地，所述滑块包括连接部和从所述连接部向外突出的滑动部，所述滑动部容纳于所述轨道内并与所述轨道滑动连接，所述连接部远离所述滑动部的一侧与所述连接板、所述承重块连接以在外力下通过所述滑动部带动所述装载台主体移动。

12、本实用新型所述的前开式晶圆盒装载设备的有益效果在于：

13、本实用新型所述的前开式晶圆盒装载设备拥有两个配套的折叠支腿组件，所述支腿通过所述第一连接杆与所述装载台主体活动连接，当所述第一旋转柱塞活动贯穿所述活动板与所述装载台主体连接时，所述装载台主体和所述第一连接杆相互固定，从而使得所述支腿与所述装载台主体相互固定，进而使得在外力下所述支腿能通过所述滚轮带动所述装载台主体移动，在安装搬移所述前开式晶圆盒装载设备的过程中，可以减少搬运人员的数量，大大的减少人员的投入，省时省力，进而提高了工作效率，降低了成本，节约了资源。

技术特征：

1.一种前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，包括装载台主体和至少两个折叠支腿组件；

2.根据权利要求1所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述装载台主体上设置有连接板，每个所述折叠支腿组件还包括至少两个设置在所述连接板与所述第一连接杆之间的铰链，以使所述第一连接杆和所述装载台主体活动连接；

3.根据权利要求2所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述第二连接杆上设置有固定板，所述固定板上设置有第二旋转柱塞，所述装载台主体上还设置有挂板；

4.根据权利要求2所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，还包括固定调整组件，所述固定调整组件包括与所述连接板固定连接的滑块以及与所述滑块滑动连接的轨道；

5.根据权利要求4所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述装载台主体上还设置有连接臂，所述连接臂与所述滑块连接以使所述装载台主体连接所述滑块。

6.根据权利要求5所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述固定调整组件还包括与所述连接臂固定连接的锁定件、卡接件和用于连接外接设备的固定杆；

7.根据权利要求6所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述固定杆上设置有凹槽，所述轨道固定在所述凹槽内以使所述装载台主体通过所述滑块和所述固定杆与所述外接设备连接。

8.根据权利要求7所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述固定调整组件还包括至少两个顶丝，所述顶丝设置在所述固定杆的侧面，所述顶丝的底端依次贯穿所述凹槽和所述轨道的侧壁，与所述滑块连接；

9.根据权利要求4所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，相邻铰链之间设置有与所述滑块固定连接的承重块，所述承重块的一侧与所述连接板连接；

10.根据权利要求9所述的前开式晶圆盒装载设备，其特征在于，所述滑块包括连接部和从所述连接部向外突出的滑动部，所述滑动部容纳于所述轨道内并与所述轨道滑动连接，所述连接部远离所述滑动部的一侧与所述连接板、所述承重块连接以在外力下通过所述滑动部带动所述装载台主体移动。

技术总结本技术提供了一种前开式晶圆盒装载设备，包括装载台主体和至少两个折叠支腿组件；两个折叠支腿组件位于装载台主体两侧且与装载台主体连接；每个折叠支腿组件包括与装载台主体活动连接的第一连接杆、设置在第一连接杆上的活动板、第一旋转柱塞、与第一连接杆固定连接的支腿、第二连接杆和至少两个滚轮，其中，第二连接杆的一侧与支腿连接，另一侧与滚轮连接；第一旋转柱塞贯穿活动板并与装载台主体可拆连接，当第一旋转柱塞与装载台主体连接时，装载台主体和第一连接杆固定使得支腿与装载台主体固定，使得在外力下支腿能带动装载台主体移动。本技术的前开式晶圆盒装载设备拥有折叠支腿组件，在移动时能够减少人力，进而提高工作效率。技术研发人员：朱玉东,何海龙,富文涛,刘春廷受保护的技术使用者：中科芯微智能装备（沈阳）有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/11