节能式内部环境智能平衡系统的制作方法

本技术涉及一种空调系统，特别涉及一种适用于半导体制程的节能式内部环境智能平衡系统。

背景技术：

1、随着高端产品的质量要求越来越高，现今半导体或工业制造制程也日益精密，但因一般制程设备于生产过程中，有的会产生些微的热量、湿气，进而改变温度，湿度，而有的则会改变特定气体浓度，若是上述改变导致其内部环境与外部环境产生差异，将会直接影响到制程的精密度，甚至会影响作业环境的安全性。所以为了确保所述制程设备的内部环境的稳定度，目前业界已研发出多种空调系统。

2、参阅图1与图2，一种现有的空调系统1包含制程设备11，及空调设备12。所述制程设备11包括供气体进入的进气口111，及供所述气体排出的排气口112。所述空调设备12包括壳座121、设置于所述壳座121内且具有入风口122与出风口123的风道124、设置于所述风道124且可驱使所述气体从所述入风口122吹向所述出风口123的风机125、连通所述出风口123与所述进气口111且将所述气体导入所述制程设备11的风管126、设置于所述风道124的空调单元13，及设置于所述壳座121内的加热器14与加湿器15。所述空调单元13具有压缩机131、冷凝器132、膨胀阀133，及蒸发器134。使用时以冷媒为工作流体，依序在所述压缩机131、所述冷凝器132、所述膨胀阀133，及所述蒸发器134中循环流通，而能用于调控温度与湿度。

3、然而，现有的冷媒多由氯氟碳化合物组成，所述氯氟碳化物会加速臭氧层的破坏，十分不环保。而且所述空调单元13构造复杂，所述压缩机131与所述冷凝器132非常耗电。再者，经过所述蒸发器134与所述压缩机131处理过的所述气体的温度与湿度通常会过低，所以必须再通过较大功率的所述加热器14与所述加湿器15来调高温度与湿度，所以会相对增加整体耗能而较不经济。因此所述现有的空调系统1设计仍有待改善。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的节能式内部环境智能平衡系统。

2、本实用新型的节能式内部环境智能平衡系统，包含至少一制程设备、控风设备，及环控模块。所述控风设备用于将气体送入或/及排出所述至少一制程设备，并包括至少一连通所述至少一制程设备的控风单元，所述至少一控风单元具有入风口与出风口，及可产生使所述气体从所述入风口吹向所述出风口的气流的风机。所述环控模块能驱使所述控风设备运作，使得所述气流通过所述至少一个制程设备进而排出所述至少一个制程设备的内部环境的气体。

3、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述环控模块包括直接驱使所述控风设备连续或间歇运作的环境控制器。

4、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述环控模块包括数量相同于所述至少一制程设备且用于侦测所述至少一制程设备的内部环境的内部传感器，及耦接所述至少一内部传感器的环境控制器，所述环境控制器接收所述至少一内部传感器的侦测结果，并在根据所述侦测结果判定为所述至少一制程设备的内部环境发生变异时发出触发所述控风设备连续或间歇运作的信号。

5、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述环控模块包括数量相同于所述至少一制程设备且用于侦测所述至少一制程设备的内部环境的内部传感器、用于侦测所述至少一制程设备的外部环境的外部传感器，及耦接所述至少一内部传感器与所述外部传感器的环境控制器，所述环境控制器接收所述至少一内部传感器与所述外部传感器的侦测结果，并在根据所述侦测结果判定为所述至少一制程设备的内部环境发生变异时发出触发所述控风设备连续或间歇运作的信号。

6、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述至少一制程设备包括供所述气体进入的进气口，及供所述气体排出的排气口。

7、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述控风设备仅包括一个所述控风单元，所述控风单元的出风口连通所述至少一制程设备的进气口。

8、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述控风设备仅包括一个所述控风单元，所述控风单元的入风口连通所述至少一制程设备的排气口。

9、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述控风设备包括两个相分离的所述控风单元，所述控风单元中的一个的出风口连通所述至少一制程设备的进气口，且所述控风单元中的另一个的入风口连通所述至少一制程设备的排气口。

10、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述控风设备包括两个相并合且一体连接的所述控风单元，所述控风单元中的一个的出风口连通所述至少一制程设备的进气口，且所述控风单元中的另一个的入风口连通所述至少一制程设备的排气口。

11、本实用新型的所述节能式内部环境智能平衡系统，所述控风设备还包括化滤单元，所述化滤单元具有至少一化学滤网，所述至少一化学滤网设置于所述至少一控风单元的所述入风口或/及所述出风口，或/及所述至少一控风单元内，或/及所述至少一控风单元与所述至少一制程设备间，所述至少一化学滤网可用于过滤所述气体中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。

12、本实用新型的有益效果在于：通过所述控风设备与所述环控模块的设置，即能驱使所述内部环境与所述外部环境达成平衡状态，可降低耗能与用电量。

技术特征：

1.一种节能式内部环境智能平衡系统，包含：至少一个制程设备及至少一个控风设备，所述控风设备用于将气体送入或/及排出所述至少一个制程设备，并包括至少一个连通所述至少一个制程设备的控风单元，所述至少一个控风单元具有入风口与出风口及能够产生使所述气体从所述入风口吹向所述出风口的气流的风机，

2.根据权利要求1所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述环控模块包括直接驱使所述控风设备连续或间歇运作的环境控制器。

3.根据权利要求1所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述环控模块包括数量相同于所述至少一个制程设备的数量且用于侦测所述至少一个制程设备的内部环境的内部传感器及耦接所述至少一个内部传感器的环境控制器，所述环境控制器接收所述至少一个内部传感器的侦测结果，并在根据所述侦测结果判定为所述至少一个制程设备的内部环境发生变异时发出触发所述控风设备连续或间歇运作的信号。

4.根据权利要求1所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述环控模块包括数量相同于所述至少一个制程设备的数量且用于侦测所述至少一个制程设备的内部环境的内部传感器、用于侦测所述至少一个制程设备的外部环境的外部传感器及耦接所述至少一个内部传感器与所述外部传感器的环境控制器，所述环境控制器接收所述至少一个内部传感器与所述外部传感器的侦测结果，在根据所述侦测结果判定为所述至少一个制程设备的内部环境发生变异时发出触发所述控风设备连续或间歇运作的信号。

5.根据权利要求2、3或4所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述至少一个制程设备包括供所述气体进入的进气口及供所述气体排出的排气口。

6.根据权利要求5所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述控风设备仅包括一个所述控风单元，所述控风单元的出风口连通所述至少一个制程设备的进气口。

7.根据权利要求5所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述控风设备仅包括一个所述控风单元，所述控风单元的入风口连通所述至少一个制程设备的排气口。

8.根据权利要求5所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述控风设备包括两个相分离的所述控风单元，所述控风单元中的一个的出风口连通所述至少一个制程设备的进气口，且所述控风单元中的另一个的入风口连通所述至少一个制程设备的排气口。

9.根据权利要求5所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述控风设备包括两个相并合且一体连接的所述控风单元，所述控风单元中的一个的出风口连通所述至少一个制程设备的进气口，且所述控风单元中的另一个的入风口连通所述至少一个制程设备的排气口。

10.根据权利要求1所述的节能式内部环境智能平衡系统，其特征在于，所述控风设备还包括化滤单元，所述化滤单元具有至少一个化学滤网，所述至少一个化学滤网设置于所述至少一个控风单元的所述入风口或/及所述出风口、或/及所述至少一个控风单元内、或/及所述至少一个控风单元与所述至少一个制程设备之间，所述至少一个化学滤网能够用于过滤所述气体中的酸、碱、有机物中的至少一种物质。

技术总结本技术提供一种节能式内部环境智能平衡系统，包含至少一制程设备、控风设备，及环控模块。所述控风设备用于将气体送入或/及排出所述至少一制程设备，并包括至少一连通所述至少一制程设备的控风单元，所述至少一控风单元具有入风口与出风口，及可产生使所述气体从所述入风口吹向所述出风口的气流的风机。所述环控模块能驱使所述控风设备运作，使得所述至少一制程设备的内部环境与外部环境逐渐达成平衡状态。所述节能式内部环境智能平衡系统通过所述控风设备及所述环控模块的设置，使得所述至少一制程设备的内部环境保持稳定，从而减少系统整体的耗能。技术研发人员：林彦伯受保护的技术使用者：科斯迈股份有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/7/18