一种硅片存放装置的制作方法

本技术属于硅片，尤其涉及一种硅片存放装置。

背景技术：

1、元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，硅是自然界中比较富的元素，在石英、玛瑙、燃石和普通的滩石中就可以发现硅元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅淀加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

2、目前在硅片的存放过程中因无法很好的使硅片保持干燥和通风，潮湿的环境和不稳定的温度容易使硅片受到损坏，无法使硅片长时间的存放，降低了硅片的质量，同时在硅片存取时偶尔会不小心将硅片掉落导致破碎，无法很好的保护硅片，也降低了硅片的存放率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决目前在硅片的存放过程中因无法很好的使硅片保持干燥和通风，使得硅片发生受损的问题，而提出的一种硅片存放装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅片存放装置，包括柜子与隔板，所述柜子的内侧壁与隔板的侧壁固定连接，所述柜子的侧壁上设置有拉门，所述柜子的内侧壁上设置有防潮组件，所述柜子的底面内壁上设置有保护组件；

3、所述防潮组件包括防护罩、驱动电机与连接杆，所述柜子的上表面与防护罩的下表面固定连接，所述驱动电机的下表面与隔板的上表面固定连接。

4、作为上述技术方案的进一步描述：

5、所述驱动电机的输出端固定安装有转动杆，所述转动杆的外表面固定安装有第一锥形齿轮与第二皮带轮，所述柜子的内侧壁上转动安装有带动杆。

6、作为上述技术方案的进一步描述：

7、所述带动杆的外表面固定安装有防潮盒，所述带动杆的一端固定安装有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合连接，所述第二皮带轮的外表面传动安装有皮带。

8、作为上述技术方案的进一步描述：

9、所述连接杆的外表面与柜子的内壁转动连接，所述连接杆的一端固定安装有风扇，所述连接杆的另一端延伸至柜子的内部并固定安装有第一皮带轮，所述第一皮带轮的外表面与皮带传动连接。

10、作为上述技术方案的进一步描述：

11、所述保护组件包括海绵板、活动杆与螺纹杆，所述海绵板的上表面固定安装有螺纹套与活动套，所述螺纹套的一端延伸至隔板的上表面，所述螺纹杆的外表面与螺纹套的内壁螺纹连接，所述活动套的一端延伸至隔板的上表面，所述活动杆的外表面与活动套的内壁滑动连接，所述隔板的上表面固定安装有固定块，所述螺纹杆的外表面与固定块的内壁转动连接，所述螺纹杆的一端固定安装有齿轮，所述活动杆的外表面与固定块的内壁转动连接，所述活动杆的一端与齿轮的侧壁固定连接。

12、作为上述技术方案的进一步描述：

13、所述拉门的侧壁上固定安装有齿带，所述齿带与齿轮啮合连接，所述柜子的顶面内壁固定安装有支撑块，所述支撑块的侧壁上转动安装有固定杆，所述固定杆的一端与齿轮的侧壁固定连接。

14、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

15、1、本实用新型中，通过设置有防潮组件，当硅片在柜子存放时，驱动电机带动转动杆转动，转动杆通过第一锥形齿轮带动第二锥形齿轮转动，第二锥形齿轮通过带动杆使防潮盒转动，转动杆带动第二皮带轮转动，第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动，第一皮带轮通过连接杆带动风扇转动，风扇将空气通过防护罩流通到柜子外，有效的使防潮盒内的防潮颗粒保持转动，提高了防潮盒内防潮颗粒的吸收效果，有效的使硅片在存放过程中保持干燥，同时通风使硅片存放过程的温度保持相对的稳定，有利于延长硅片的存放周期。

16、2、本实用新型中，通过设置有保护组件，当需要存取硅片时，将拉门向两侧拉动，齿带带动齿轮转动，齿轮带动螺纹杆与活动杆在固定块内转动，同时齿轮带动固定杆在支撑块内转动使拉门保持稳定移动，此时螺纹杆通过螺纹带动螺纹套移动，螺纹套移动的同时将隔板下面的海绵板移动出来，同时带动活动套在活动杆上移动，当关闭柜子时，将拉门两侧向中间推动，此时齿带带动齿轮转动，齿轮带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹套移动，螺纹套将海绵板移动到柜子内部，避免了在存取硅片时不小心将硅片掉落在地上导致破碎，有效的降低了硅片破碎的概率，避免了硅片材料的损坏，提高了硅片在存取时的安全性。

技术特征：

1.一种硅片存放装置，包括柜子(1)与隔板(5)，所述柜子(1)的内侧壁与隔板(5)的侧壁固定连接，所述柜子(1)的侧壁上设置有拉门(2)，其特征在于：所述柜子(1)的内侧壁上设置有防潮组件(3)，所述柜子(1)的底面内壁上设置有保护组件(4)；

2.根据权利要求1所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述驱动电机(32)的输出端固定安装有转动杆(33)，所述转动杆(33)的外表面固定安装有第一锥形齿轮(35)与第二皮带轮(311)，所述柜子(1)的内侧壁上转动安装有带动杆(312)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述带动杆(312)的外表面固定安装有防潮盒(34)，所述带动杆(312)的一端固定安装有第二锥形齿轮(36)，所述第一锥形齿轮(35)与第二锥形齿轮(36)啮合连接，所述第二皮带轮(311)的外表面传动安装有皮带(310)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述连接杆(38)的外表面与柜子(1)的内壁转动连接，所述连接杆(38)的一端固定安装有风扇(39)，所述连接杆(38)的另一端延伸至柜子(1)的内部并固定安装有第一皮带轮(37)，所述第一皮带轮(37)的外表面与皮带(310)传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述保护组件(4)包括海绵板(41)、活动杆(42)与螺纹杆(45)，所述海绵板(41)的上表面固定安装有螺纹套(47)与活动套(49)，所述螺纹套(47)的一端延伸至隔板(5)的上表面，所述螺纹杆(45)的外表面与螺纹套(47)的内壁螺纹连接，所述活动套(49)的一端延伸至隔板(5)的上表面，所述活动杆(42)的外表面与活动套(49)的内壁滑动连接，所述隔板(5)的上表面固定安装有固定块(46)，所述螺纹杆(45)的外表面与固定块(46)的内壁转动连接，所述螺纹杆(45)的一端固定安装有齿轮(44)，所述活动杆(42)的外表面与固定块(46)的内壁转动连接，所述活动杆(42)的一端与齿轮(44)的侧壁固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述拉门(2)的侧壁上固定安装有齿带(43)，所述齿带(43)与齿轮(44)啮合连接，所述柜子(1)的顶面内壁固定安装有支撑块(410)，所述支撑块(410)的侧壁上转动安装有固定杆(48)，所述固定杆(48)的一端与齿轮(44)的侧壁固定连接。

技术总结本技术公开了一种硅片存放装置，属于硅片技术领域，包括柜子与隔板，所述柜子的内侧壁与隔板的侧壁固定连接，所述柜子的侧壁上设置有拉门，所述柜子的内侧壁上设置有防潮组件，所述柜子的底面内壁上设置有保护组件；本技术中，通过设置有防潮组件，当硅片在柜子存放时，驱动电机带动转动杆转动，转动杆带动第二皮带轮转动，第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动，第一皮带轮通过连接杆带动风扇转动，风扇将空气通过防护罩流通到柜子外，有效的将防潮盒内的防潮颗粒保持转动，提高了防潮盒内防潮颗粒的吸收效果，有效的使硅片在存放过程中保持干燥，同时通风使硅片存放过程的温度保持相对的稳定，有利于延长硅片的存放周期。技术研发人员：贝静波,吴智伟,陈扬,王国良受保护的技术使用者：共青城和峰新能源科技有限公司技术研发日：20240124技术公布日：2024/7/18