一种晶圆全自动压力烘箱的制作方法

本发明属于半导体加工设备，具体地说，是关于一种晶圆全自动压力烘箱。

背景技术：

1、硅是由石英砂所精炼出来的，晶圆便是硅元素加以纯化，并将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，在生产晶圆的过程中，时常需要将晶圆进行烘烤，通过烘烤适当温度将晶圆上的光刻胶体等进行物理性或是化学性的转变，例如热固化等等。

2、近年来发展迅速的晶圆级封装(wafer level packaging，缩写wlp)是一种先进的封装技术，因其具有尺寸小、电性能优良、散热好、成本低等优势，因此，有必要开发一款晶圆全自动压力烘箱设备适应此封装技术。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种晶圆全自动压力烘箱，运用晶圆机器人移载和加热的操作方式，通过精确的温度控制，来进行加压烘烤作业，以此使晶圆得以增强固化。

2、为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、作为本发明的一方面，提出一种晶圆全自动压力烘箱，其包括：

4、移载单元，对晶圆进行拾取；

5、烘烤单元，所述移载单元将拾取的晶圆放置烧烤单元内，烘烤单元对晶圆进行烘烤；

6、所述烘烤单元包括烘烤支撑部和仓体，所述仓体连接于烘烤支撑部上；所述仓体的一端为开口端，仓体的另一端为封闭端；所述仓体具有容纳空间，所述容纳空间与开口端相通；所述仓体内设有用于放置晶圆的晶圆层架，所述仓体的容纳空间内设有加热单元；所述仓体的容纳空间内设有降温单元；

7、所述烘烤支撑部上设有增压装置；增压装置的气流输出端与仓体的容纳空间相连通；

8、还包括仓门，活动连接于烘烤支撑部上，所述仓门与仓体的开口端相配合，仓门用于实现仓体的开口端的开启或关闭。

9、作为可选地，所述烘烤支撑部上设有转动动力单元，所述转动动力单元的输出端连接有叶轮，所述叶轮位于仓体的容纳空间内；所述叶轮位于降温单元的后方；所述加热单元位于晶圆层架的后方，所述降温单元位于加热单元的后方。

10、作为可选地，还包括过滤单元，所述过滤单元设于仓体的容纳空间内，所述过滤单元位于加热单元和晶圆层架之间。

11、作为可选地，还包括自动锁附单元，所述仓门通过自动锁附单元与仓体的开口端之间进行锁紧或松开；

12、所述自动锁附单元包括转动连接于仓体靠近开口端上的锁紧圈和连接于仓体上的驱动单元，所述驱动单元的输出端连接有主动部，所述锁紧圈上设有与主动部相配合的从动部；

13、还包括连接于烘烤支撑部上的升降单元，所述升降单元上连接有横移单元，所述仓门连接于横移单元上；仓门通过升降单元移至预设位置后，再通过横移单元使仓门与仓体的开口端相接，而后驱动单元工作，带动主动部转动，从动部跟随主动部转动，锁紧圈在仓体上转动与仓门进行配合，实现仓门与仓体之间的锁紧。

14、作为可选地，所述仓门的边缘按间隔设有若干凸起部，所述锁紧圈的内圈顶部按间隔设有若干与凸起部相配合的凹槽部，相邻两个凹槽部之间形成限位部，限位部与开口端之间具有用于凸起部配合的配合空间，限位部对仓门限位，实现仓体的锁紧；仓门处于松开状态时，凸起部与凹槽部在同一投影平面上；仓门处于锁紧状态时，凸起部位于限位部与开口端之间。

15、作为可选地，所述烘烤支撑部上转动连接有滚轴。

16、作为可选地，所述升降单元包括连接于烧烤支撑部上的升降动力部和转动连接于烘烤支撑部上的丝杆，所述升降动力部的输出端与丝杆的一端相连接；所述丝杆上螺纹连接有丝杆连接块，所述丝杆连接块上连接有固定座，所述固定座上连接有轴套所述轴套与设于烘烤支撑部上的导向轴滑动连接；

17、所述横移单元包括连接于固定座上的横移驱动部，所述横移驱动部的输出端上连接有仓门连接板，仓门连接于仓门连接板上；通过横移驱动部工作，带动仓门相对于仓体的开口端靠近或远离。

18、作为可选地，所述移载单元包括移载壳体，所述移载壳体上设有至少一个上料区，所述上料区具有承载部，

19、所述移载壳体内滑动连接有移载机械臂；所述移载机械臂在移载壳体内移动；所述移载机械臂的末端具有吸盘拾取部。

20、作为可选地，所述移载机械臂的底部连接有连接滑块，所述连接滑块与设于移载壳体上的直线导轨滑动连接；所述移载壳体上设有动力部，动力部的活动端与移载机械臂相连接。

21、作为可选地，还包括旋边机，所述旋边机设于移载壳体内；经旋边机调整后的晶圆通过移载机械臂和吸盘拾取部相配合移入晶圆层架上。

22、本发明的晶圆全自动压力烘箱，其有益效果，具体体现在：1、运用晶圆机器人移载和加热的操作方式，通过精确的温度控制，来进行加压烘烤作业，以此使晶圆得以增强固化；2、通过叶轮设计，使仓体内的温度控制更平稳；3、通过自动锁附单元设计，实现仓门的自动锁紧或松开，避免人工开关仓门所带来的不必要危险，如烫伤等；4、通过旋边机设计，保证晶圆在晶圆层架上的均一性，使晶圆受热均匀。

技术特征：

1.一种晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，其包括：

2.如权利要求1所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述烘烤支撑部上设有转动动力单元，所述转动动力单元的输出端连接有叶轮，所述叶轮位于仓体的容纳空间内；所述叶轮位于降温单元的后方；所述加热单元位于晶圆层架的后方，所述降温单元位于加热单元的后方。

3.如权利要求1所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述过滤单元位于加热单元和晶圆层架之间。

4.如权利要求1所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述自动锁附单元包括转动连接于仓体靠近开口端上的锁紧圈和连接于仓体上的驱动单元，所述驱动单元的输出端连接有主动部，所述锁紧圈上设有与主动部相配合的从动部；

5.如权利要求4所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述仓门的边缘按间隔设有若干凸起部，所述锁紧圈的内圈顶部按间隔设有若干与凸起部相配合的凹槽部，相邻两个凹槽部之间形成限位部，限位部与开口端之间具有用于凸起部配合的配合空间，限位部对仓门限位，实现仓体的锁紧；仓门处于松开状态时，凸起部与凹槽部在同一投影平面上；仓门处于锁紧状态时，凸起部位于限位部与开口端之间。

6.如权利要求4所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述烘烤支撑部上转动连接有滚轴。

7.如权利要求4所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述升降单元包括连接于烧烤支撑部上的升降动力部和转动连接于烘烤支撑部上的丝杆，所述升降动力部的输出端与丝杆的一端相连接；所述丝杆上螺纹连接有丝杆连接块，所述丝杆连接块上连接有固定座，所述固定座上连接有轴套所述轴套与设于烘烤支撑部上的导向轴滑动连接；

8.如权利要求1-7中任意一项所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述移载单元包括移载壳体，所述移载壳体上设有至少一个上料区，所述上料区具有承载部，

9.如权利要求8所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，所述移载机械臂的底部连接有连接滑块，所述连接滑块与设于移载壳体上的直线导轨滑动连接；所述移载壳体上设有动力部，动力部的活动端与移载机械臂相连接。

10.如权利要求8所述的晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，还包括旋边机，所述旋边机设于移载壳体内；经旋边机调整后的晶圆通过移载机械臂和吸盘拾取部相配合移入晶圆层架上。

技术总结本发明属于半导体加工技术领域，是关于一种晶圆全自动压力烘箱，其包括：移载单元，对晶圆进行拾取；烘烤单元，所述移载单元将拾取的晶圆放置烧烤单元内，烘烤单元对晶圆进行烘烤；所述烘烤单元包括烘烤支撑部和仓体，所述仓体连接于烘烤支撑部上；所述仓体内设有用于放置晶圆的晶圆层架，所述仓体内设有加热单元和降温单元；所述烘烤支撑部上设有增压装置；增压装置的气流输出端与仓体的容纳空间相连通；还包括仓门，活动连接于烘烤支撑部上，所述仓门与仓体的开口端相配合。采用上述结构后，其有益效果是：运用晶圆机器人移载和加热的操作方式，通过精确的温度控制，来进行加压烘烤作业，以此使晶圆得以增强固化。技术研发人员：徐宝贵受保护的技术使用者：幂帆科技（上海）股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/9