一种电子级硫酸生产用冷却器的制作方法
- 国知局
- 2024-08-01 00:56:39
本技术涉及电子级硫酸生产,具体地说,涉及一种电子级硫酸生产用冷却器。
背景技术:
1、电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的加工过程,用于硅晶片的清洗和蚀刻、除去晶片上的杂质。电子级硫酸的纯度和清洁度对电子元件的成品率、电子能及可靠性有着重要影响,电子级硫酸具有很强的穿透性。
2、现有技术中的硫酸冷却器大多采用循环冷却水冷却,但循环水在循环的过程中无法使其制冷,导致循环水随着多次冷却后温度会升高,并导致冷却效果较差,进而影响硫酸制备的质量。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种电子级硫酸生产用冷却器,旨在能够有效的解决现有技术中硫酸冷却器大多采用循环冷却水冷却,但循环水在循环的过程中无法使其制冷,导致循环水随着多次冷却后温度会升高的问题。
2、为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案:
3、一种电子级硫酸生产用冷却器,包括外壳,所述外壳的上方端口处插接有顶盖,所述顶盖和外壳之间设置有传动机构,所述外壳的内部固定连接有蛇形管,所述外壳的正面设置有观察窗,所述外壳的背面下方一侧固定连接有进液管,所述外壳的背面下方另一侧固定连接有出液管,所述外壳的内壁一侧固定安装有液位传感器,所述外壳的一侧且位于蛇形管的上方固定连接有排气管,所述顶盖的上方固定安装有制冷机,制冷机将冷气经过多个冷却棒传导至冷却水中,保证冷却水在循环的过程中始终保持冷却效果,从而该装置结构简单紧凑,尽量避免冷却水随着多次循环导致其温度升高,能有效地提升对硫酸冷却散热的效果,同时提升硫酸质量。
4、作为本实用新型的一种优选方案,所述蛇形管的两端均延伸至外壳的外侧,所述蛇形管位于外壳内部的外壁上固定套设有铜金属套。
5、作为本实用新型的一种优选方案,所述制冷机的下方等间距固定连接有多个冷却棒,多个所述冷却棒均延伸至外壳的内部且设置于蛇形管间隙之间。
6、作为本实用新型的一种优选方案,所述外壳的背面下方中间部位固定连接有第一支撑板,所述传动机构包括第一支撑板的下方固定安装的驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有主动齿轮,所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿轮,且所述从动齿轮转动连接于第一支撑板的下方,所述第一支撑板的上方转动连接有螺纹杆,且所述螺纹杆与从动齿轮同轴固定连接。
7、作为本实用新型的一种优选方案,所述顶盖的背面固定连接有第一连接板,所述第一连接板的另一端与螺纹杆螺纹连接。
8、作为本实用新型的一种优选方案,所述外壳的两侧下方均固定连接有第二支撑板,所述第二支撑板的上方均固定连接有限位杆。
9、作为本实用新型的一种优选方案,所述顶盖的两侧均固定连接有第二连接板,所述第二连接板的另一端均与对应的限位杆滑动连接。
10、相比于现有技术,本实用新型的优点在于:
11、(1)该设备中蛇形管采用玻璃材质,具备抗腐蚀效果,硫酸经过蛇形管进入外壳的内部,外壳的内部通过进液管向内加注冷却水,冷却水再由出液管排出循环,循环的冷却水液面完全没过蛇形管至液位传感器,同时铜金属具备良好的传导效果,铜金属套可对蛇形管中的热量进行散热,热量与冷却水接触产生的蒸气由排气管排出,制冷机将冷气经过多个冷却棒传导至冷却水中,保证冷却水在循环的过程中始终保持冷却效果,从而该装置结构简单紧凑,尽量避免冷却水随着多次循环导致其温度升高,能有效地提升对硫酸冷却散热的效果,同时提升硫酸质量。
12、(2)为了提升顶盖与外壳之间的开合便捷性,驱动电机可传动主动齿轮进行转动,主动齿轮转动的同时带动啮合的从动齿轮进行转动,从动齿轮转动的同时带动同轴的螺纹杆进行转动,由于第一连接板连接于顶盖和螺纹杆之间,因此螺纹杆转动的同时通过第一连接板传动顶盖与外壳之间自动开合,从而提升顶盖与外壳之间的开合便捷性,顶盖通过第一连接板沿螺纹杆升降的同时,两侧的第二连接板则沿限位杆进行滑动,从而对顶盖的位置进行限定,提升顶盖升降的稳定性。
技术特征:1.一种电子级硫酸生产用冷却器,包括外壳(1),所述外壳(1)的上方端口处插接有顶盖(2),所述顶盖(2)和外壳(1)之间设置有传动机构,其特征在于:所述外壳(1)的内部固定连接有蛇形管(3),所述外壳(1)的正面设置有观察窗(4),所述外壳(1)的背面下方一侧固定连接有进液管(6),所述外壳(1)的背面下方另一侧固定连接有出液管(7),所述外壳(1)的内壁一侧固定安装有液位传感器(8),所述外壳(1)的一侧且位于蛇形管(3)的上方固定连接有排气管(9),所述顶盖(2)的上方固定安装有制冷机(5)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述蛇形管(3)的两端均延伸至外壳(1)的外侧,所述蛇形管(3)位于外壳(1)内部的外壁上固定套设有铜金属套(301)。
3.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述制冷机(5)的下方等间距固定连接有多个冷却棒(501),多个所述冷却棒(501)均延伸至外壳(1)的内部且设置于蛇形管(3)间隙之间。
4.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述外壳(1)的背面下方中间部位固定连接有第一支撑板(10),所述传动机构包括第一支撑板(10)的下方固定安装的驱动电机(13),所述驱动电机(13)的输出端固定连接有主动齿轮(14),所述主动齿轮(14)的一侧啮合连接有从动齿轮(15),且所述从动齿轮(15)转动连接于第一支撑板(10)的下方,所述第一支撑板(10)的上方转动连接有螺纹杆(11),且所述螺纹杆(11)与从动齿轮(15)同轴固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述顶盖(2)的背面固定连接有第一连接板(12),所述第一连接板(12)的另一端与螺纹杆(11)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述外壳(1)的两侧下方均固定连接有第二支撑板(16),所述第二支撑板(16)的上方均固定连接有限位杆(17)。
7.根据权利要求6所述的一种电子级硫酸生产用冷却器,其特征在于:所述顶盖(2)的两侧均固定连接有第二连接板(18),所述第二连接板(18)的另一端均与对应的限位杆(17)滑动连接。
技术总结本技术公开了一种电子级硫酸生产用冷却器,涉及电子级硫酸生产技术领域,包括外壳,外壳的上方端口处插接有顶盖,顶盖和外壳之间设置有传动机构,外壳的内部固定连接有蛇形管,外壳的正面设置有观察窗,外壳的背面下方一侧固定连接有进液管,外壳的背面下方另一侧固定连接有出液管,外壳的内壁一侧固定安装有液位传感器,外壳的一侧且位于蛇形管的上方固定连接有排气管,顶盖的上方固定安装有制冷机,制冷机将冷气经过多个冷却棒传导至冷却水中,保证冷却水在循环的过程中始终保持冷却效果,从而该装置结构简单紧凑,尽量避免冷却水随着多次循环导致其温度升高,能有效地提升对硫酸冷却散热的效果,同时提升硫酸质量。技术研发人员:王俊平,胡斌,余炳华,彭玉兰受保护的技术使用者:江西万顺化工有限公司技术研发日:20231130技术公布日:2024/7/18本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240724/203153.html
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