除害装置、堆积物除去机构及堆积物除去方法与流程

本发明涉及除害装置、将堆积于除害装置的堆积物除去的堆积物除去机构及将堆积于除害装置的堆积物除去的堆积物除去方法。

背景技术：

1、从半导体制造装置等排出的排出气体中含有有害成分，所以需要借助除害装置将排出气体无害化。若排出气体发生氧化反应，则氧化物堆积在除害装置内，所以需要定期除去该堆积物。

2、例如专利文献1中记载了一种除害装置的结构：具备被处理气体用喷嘴、清扫头、刮刀、驱动装置，前述被处理气体用喷嘴在燃烧室的顶面配设有将被处理气体导入燃烧室内的气体导入孔出口，前述清扫头在被处理气体用喷嘴内上下移动而将附着于被处理气体用喷嘴内的堆积物从气体导入孔出口向燃烧室内排出除去，前述刮刀与顶面对置而能够水平旋转地配设在燃烧室内，将附着于燃烧室的顶面的堆积物除去，前述驱动装置以清扫头和刮刀不干涉的方式驱动清扫头和刮刀。根据该结构，能够将附着并堆积于被处理气体通路的内壁及燃烧室的壁面的堆积物简单地且在短期间内刮落而除去。

3、专利文献1：日本特许第6777472号公报。

4、发明所要解决的课题

5、然而，专利文献1是将堆积物用刮刀刮落的结构，所以不能除去附着于刮刀物理上无法到达的部位的堆积物。因此，专利文献1在更高效率地除去堆积物的方面有改良的余地。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述的实际情况作出的，其目的在于高效率地除去附着于除害装置内的堆积物。

2、为了实现上述目的，本发明的一方案是一种除害装置，具备堆积物除去机构，前述堆积物除去机构除去将排出气体除害时生成的堆积物，前述除害装置的特征在于，前述堆积物除去机构包括存积部、气体供给部、阀，前述存积部存积液体，前述气体供给部将加压的气体供给至前述存积部，前述阀对存积于前述存积部的前述液体和由前述气体供给部供给的前述气体的混合流体进行喷雾。

3、此外，上述结构中，优选还具备压力传感器和控制部，前述压力传感器检测前述排出气体的入口的压力，前述控制部控制前述阀的开闭动作，前述控制部基于前述入口的压力超过了阈值的情况而将前述阀控制为打开。

4、此外，上述结构中，优选前述控制部在打开前述阀后至经过既定时间的期间，保持打开前述阀的状态。

5、此外，上述结构中，优选前述既定时间设定成，超过存积于前述存积部的前述液体全部被喷雾的时间的时间。

6、此外，上述结构中，优选前述控制部在前述除害装置将前述排出气体除害的期间将前述阀以为关闭状态。

7、为了实现上述目的，本发明的另外的方案是一种堆积物除去机构，应用于将排出气体除害的除害装置，除去将前述排出气体除害时生成的堆积物，其特征在于，前述堆积物除去机构包括存积部、气体供给部、阀，前述存积部存积液体，前述气体供给部将加压的气体供给至前述存积部，前述阀对存积于前述存积部的前述液体和由前述气体供给部供给的前述气体的混合流体进行喷雾。

8、为了实现上述目的，本发明的另外的方案是一种堆积物除去方法，除去在将排出气体除害的除害装置生成的堆积物，其特征在于，包括第1步骤、第2步骤、第3步骤，在前述第1步骤中存积液体，在前述第2步骤中将被加压的气体供给至前述第1步骤中存积的前述液体，在前述第3步骤中将前述第2步骤中生成的前述液体和前述气体的混合流体对前述堆积物进行喷雾，除去该堆积物。

9、发明效果

10、根据本发明，能够高效率地除去附着于除害装置内的堆积物。另外，上述以外的问题、结构及效果根据以下的实施方式的说明而变得更为明确。

技术特征：

1.一种除害装置，具备堆积物除去机构，前述堆积物除去机构除去将排出气体除害时生成的堆积物，前述除害装置的特征在于，

2.如权利要求1所述的除害装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的除害装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的除害装置，其特征在于，

5.如权利要求2至4中任一项所述的除害装置，其特征在于，

6.一种堆积物除去机构，应用于将排出气体除害的除害装置，除去将前述排出气体除害时生成的堆积物，其特征在于，

7.一种堆积物除去方法，除去在将排出气体除害的除害装置生成的堆积物，其特征在于，

技术总结本发明高效率地除去附着于除害装置内的堆积物。一种除害装置(4)，具备堆积物除去机构(40)，前述堆积物除去机构(40)除去将排出气体除害时生成的堆积物(17)，堆积物除去机构包括存积部(P3)、气体供给部(P1)、阀(41)，前述存积部(P3)存积液体，前述气体供给部(P1)将加压的气体供给至存积部，前述阀(41)将存积于存积部的液体和由气体供给部供给的气体的混合流体喷雾。技术研发人员：高桥克典,田中正宏,管锦泉受保护的技术使用者：埃地沃兹日本有限公司技术研发日：技术公布日：2024/4/17