一种碳化硅外延工艺尾气处理设备的制作方法

本发明涉及尾气处理领域，尤其涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备。

背景技术：

1、外延层是在晶圆的基础上，经过外延工艺生长出特定单晶薄膜，衬底晶圆和外延薄膜合称外延片。其中在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层制得碳化硅同质外延片，在碳化硅外延层加工时会产生尾气，直接排放会加重环境污染，需要对产生的尾气进行处理，减少环境污染。

2、碳化硅加工时产生的尾气中含有一氧化碳等气体，直接排放会对环境产生影响，一般会将尾气排入到加热筒中用加热棒将其加热至燃点，燃烧尾气以达到处理尾气的目的，现有的尾气处理时会直接往加热筒内通入压缩空气来辅助尾气燃烧，而加热筒内部空间为负压，直接通入压缩空气会被很快的抽走，使得加热筒内部的氧气浓度较低，不利于尾气进行燃烧处理，若通入大量的压缩空气会导致加热筒内部的热量被带走，加热温度容易流失，不利于设备对尾气进行处理，并且现有的加热棒连接为螺母式连接方法，加热棒直接与加热筒上端螺母连接，使加热棒在高温500-700度时的热传递，导致螺母的变形，很难维护更换加热棒，还会导致加热棒末端温度偏高，可能造成安全隐患。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，包括主体，所述主体内部安装有加热机构，所述主体的内部安装有导气机构，所述导气机构位于加热机构的外侧，所述主体包括内壳，所述内壳的顶部固定连接有内板，所述加热机构包括套筒，所述套筒的底部与内板的上表面固定连接，所述套筒的内部安装有保护套，所述保护套的内部安装有加热棒，所述导气机构包括进气管，所述进气管安装在内板上，所述进气管的底部安装有导气块，所述导气块的内部开设有分气槽，所述分气槽朝向加热棒的方向设置，所述内板的中心固定连接有废气进入管。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述主体还包括外壳，所述内壳位于外壳的内部，所述外壳与内壳之间设置有空腔，所述外壳的底部固定连接有底板，所述内壳的底部与底板的上表面固定连接。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述外壳的顶部固定连接有顶板，所述顶板的上表面固定连接有围挡。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述保护套的外表面开设有通孔，所述通孔的数量为多个，所述保护套的顶部固定连接有中心支架，所述中心支架位于套筒的上方，所述中心支架的外侧边开设有弧形槽，所述弧形槽的内部安装有耐高温氟圈。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述加热棒的外表面套设有固定支架，所述固定支架位于中心支架的上方。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述加热棒的顶部固定连接有连接环，所述连接环位于固定支架的上方，所述加热棒的外侧套设有第一垫片，所述第一垫片位于固定支架与连接环之间，所述连接环的顶部设置有第二垫片，所述固定支架上安装有螺栓，所述第一垫片、连接环与第二垫片通过螺栓固定在固定支架上。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述套筒的顶部安装有卡箍，所述卡箍位于套筒与固定支架之间。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述进气管的顶部固定连接有连接口，所述连接口位于顶板的上方。

17、作为上述技术方案的进一步描述：

18、所述内板的顶部固定连接有热电偶检测管，所述热电偶检测管的底部位于内壳的内部。

19、本发明具有如下有益效果：

20、1、与现有技术相比，该一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，通过导气机构，在使用时往进气管内部通入压缩空气，压缩空气会从导气块上的分气槽中排出，分气槽为朝向加热棒设置，会让进入到内壳的压缩空气吹向加热棒处，提高加热棒周围的氧气浓度，此时加热棒对尾气进行加热，可以使其快速达到燃点进行燃烧，有效地提高尾气燃烧效率，相较于现有的尾气处理设备在进行尾气处理时会直接往加热筒内通入压缩空气来辅助尾气燃烧，而加热筒内部空间为负压，直接通入压缩空气会被很快的抽走，使得加热筒内部的氧气浓度较低，不利于尾气进行燃烧处理，若通入大量的压缩空气会导致加热筒内部的热量被带走，加热温度容易流失，不利于设备对尾气进行处理，该碳化硅外延工艺尾气处理设备在使用时可以精准的提高加热棒周围的氧气浓度，让尾气快速达到燃点进行燃烧，可以有效地提高尾气燃烧效率。

21、2、与现有技术相比，该一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，通过加热机构，在使用时加热棒套筒与内板焊接，形成安装加热棒的支架，使安装的加热棒与套筒形成间隙，有效减少热传递，相较于现有的加热棒直接与加热筒上端螺母连接，使加热棒在高温500-700度时的热传递，导致螺母的变形，很难维护更换加热棒，还会导致加热棒末端温度偏高，可能造成安全隐患，该碳化硅外延工艺尾气处理设备加热棒的下端产生热量不会影响加热棒上端的电路，可以有效地降低加热棒工作时的安全隐患，并且固定加热棒的螺栓位于内壳的外侧，可以避免高温导致螺栓变形，便于加热棒后期进行更换维护。

技术特征：

1.一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)内部安装有加热机构(2)，所述主体(1)的内部安装有导气机构(3)，所述导气机构(3)位于加热机构(2)的外侧，所述主体(1)包括内壳(105)，所述内壳(105)的顶部固定连接有内板(106)，所述加热机构(2)包括套筒(201)，所述套筒(201)的底部与内板(106)的上表面固定连接，所述套筒(201)的内部安装有保护套(202)，所述保护套(202)的内部安装有加热棒(204)，所述导气机构(3)包括进气管(301)，所述进气管(301)安装在内板(106)上，所述进气管(301)的底部安装有导气块(303)，所述导气块(303)的内部开设有分气槽(304)，所述分气槽(304)朝向加热棒(204)的方向设置，所述内板(106)的中心固定连接有废气进入管(5)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述主体(1)还包括外壳(101)，所述内壳(105)位于外壳(101)的内部，所述外壳(101)与内壳(105)之间设置有空腔，所述外壳(101)的底部固定连接有底板(104)，所述内壳(105)的底部与底板(104)的上表面固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述外壳(101)的顶部固定连接有顶板(102)，所述顶板(102)的上表面固定连接有围挡(103)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述保护套(202)的外表面开设有通孔，所述通孔的数量为多个，所述保护套(202)的顶部固定连接有中心支架(203)，所述中心支架(203)位于套筒(201)的上方，所述中心支架(203)的外侧边开设有弧形槽，所述弧形槽的内部安装有耐高温氟圈(210)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述加热棒(204)的外表面套设有固定支架(206)，所述固定支架(206)位于中心支架(203)的上方。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述加热棒(204)的顶部固定连接有连接环(205)，所述连接环(205)位于固定支架(206)的上方，所述加热棒(204)的外侧套设有第一垫片(207)，所述第一垫片(207)位于固定支架(206)与连接环(205)之间，所述连接环(205)的顶部设置有第二垫片(208)，所述固定支架(206)上安装有螺栓(209)，所述第一垫片(207)、连接环(205)与第二垫片(208)通过螺栓(209)固定在固定支架(206)上。

7.根据权利要求5所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述套筒(201)的顶部安装有卡箍(211)，所述卡箍(211)位于套筒(201)与固定支架(206)之间。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述进气管(301)的顶部固定连接有连接口(302)，所述连接口(302)位于顶板(102)的上方。

9.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，其特征在于：所述内板(106)的顶部固定连接有热电偶检测管(4)，所述热电偶检测管(4)的底部位于内壳(105)的内部。

技术总结本发明涉及尾气处理技术领域，尤其是指一种碳化硅外延工艺尾气处理设备，包括主体，所述主体内部安装有加热机构，所述主体的内部安装有导气机构，所述导气机构位于加热机构的外侧，所述主体包括内壳，所述内壳的顶部固定连接有内板，所述加热机构包括套筒，所述套筒的底部与内板的上表面固定连接，所述套筒的内部安装有保护套，所述保护套的内部安装有加热棒，所述导气机构包括进气管，所述进气管安装在内板上，所述进气管的底部安装有导气块，所述导气块的内部开设有分气槽，所述分气槽朝向加热棒的方向设置，所述内板的中心固定连接有废气进入管。本发明，可以将加热棒周围的氧气浓度提高，来有效地提高尾气燃烧效率。技术研发人员：赵小瑜受保护的技术使用者：苏州博旭机械科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/19