一种用于电子半导体行业的废气处理系统的制作方法

本发明涉及废气处理，具体涉及一种用于电子半导体行业的废气处理系统。

背景技术：

1、随着社会的进步，工业化的进程也飞速发展，工业生产不断发展会对大气中排放大量的工业残余气体，这样的气体排放到大气中，会导致很多严重的后果，例如：产生环境污染，对工厂的厂房，尤其是现代化的钢结构厂房有很大的腐蚀作用，造成不可挽回的损失，对成品及再制品的表面质量产生影响，特别是酸气会导致铜及铜合金带材表面产生腐蚀、锈斑，另外酸碱废气对人的身体健康也有很大的危害，半导体废气排放也不例外，半导体制造工艺中需要使用多种特殊的气体、大量的酸、碱等化学品以及 有机溶剂和挥发性液体，工艺气体有硅烷、磷化氢、三氢化砷、氨、三氯化硼、 氯、二氯磺酞、四氯化硅、氢化硫、三氯甲苯、碘化硫；酸性液体有hf、h2so4、 hcl、hno3；碱性液体有nh4oh、naoh；溶剂有丙酮、二甲苯、ipa、pgmea、nmp 等，这些气体和化学品在半导体制造工艺中，如果不通过集中收集并且处理， 将造成严重的问题，将会影响人体的身体健康，造成环境污染，甚至会产生爆炸，对工人的人身安全带来影响，于是半导体废气处理的废气燃烧处理设备应运而生

2、而现有的废气燃烧处理设备通过在燃烧箱内设立陶瓷传热板，将进入的废气进行预热，使其燃烧更为充分，而经过陶瓷传热板时，上层废气热量低于与陶瓷传热板直接接触的废气热量，后续进行燃烧时燃烧箱内不同高度的废气燃烧温度并不均匀，从而无法充分燃烧。因此，亟需设计一种用于电子半导体行业的废气处理系统来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种用于电子半导体行业的废气处理系统，以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种用于电子半导体行业的废气处理系统，包括进气口、过滤箱、酸碱中和箱、点火组件和焚烧室，所述焚烧室一侧设置有预热装置、所述预热装置包括保温箱、换热室、换热管和导气管，所述换热室固定安装在所述焚烧室上侧，所述换热管固定安装在所述换热室内，所述导气管一端与换热室一侧固定连接，所述导气管另一端与保温箱一侧固定连接，所述保温箱内壁周侧设置有陶瓷传热板，所述保温箱内固定安装有陶瓷传热杆，所述陶瓷传热杆周侧固定安装有螺旋型导流板，所述螺旋型导流板外壁与陶瓷传热板紧密贴合，所述陶瓷传热杆内设置有加热棒，所述加热棒与陶瓷传热杆内壁紧密贴合，所述换热室一侧固定安装有分流管，所述分流管一侧与所述点火组件相连接，所述换热管一端与焚烧室相连接，所述保温箱外壁内部设置有空腔。

4、通过设置的换热室、换热管，从而能够对废气进行充分预热，使其后续能够在焚烧室内充分燃烧。

5、所述换热管为多段连续弯曲形状，所述换热管一端设置有排气口，所述排气口位于所述换热室上侧。

6、所述点火组件包括点火器、燃料加注管和第一风机，所述点火器固定安装在所述焚烧室内壁底部，所述燃料加注管一端与所述点火器一侧固定连接，所述第一风机一侧设置有管道，所述第一风机通过所述管道与所述点火器固定连接，所述分流管另一端与所述管道系相连接，所述第一风机输入端设置有过滤进风口。

7、所述焚烧室上侧设置有出气管，所述出气管输出端与所述换热管输入端固定连接。

8、所述焚烧室一侧设置有连接口，所述保温箱一侧设置有排气管，所述排气管与所述焚烧室一侧的连接口固定连接。

9、所述进气口设置在所述过滤箱一侧，所述过滤箱上侧设置有第二风机，所述第二风机输出端固定安装有连接管，所述第二风机输出端与所述过滤箱相连通。

10、所述第二风机通过连接管与酸碱中和箱一侧固定连接。

11、所述过滤箱内壁之间设置有第一过滤网和第二过滤网，所述第一过滤网位于所述第二过滤网上侧，所述第一过滤网的滤孔直径小于第二过滤网的滤孔直径，所述过滤箱内设置有清理组件。

12、通过设置的第一过滤网和第二过滤网，能够对对废气进行过滤除尘处理

13、所述清理组件包括水箱、输送管和喷水管，所述水箱设置在所述过滤箱一侧，所述水箱通过所述输送管与所述喷水管固定连接，所述喷水管固定安装在所述过滤箱内，所述喷水管位于所述第一过滤网上侧，所述喷水管下侧固定安装有多个雾化喷头，所述喷水管整体为网格形状，所述过滤箱一侧底部固定安装有排污管，所述排污管一侧设置有阀门。

14、通过设置的清理组件，能够对第一过滤网和第二过滤网进行清理，避免第一过滤网和第二过滤网出现堵塞的情况

15、所述酸碱中和箱一侧设置有第三风机，所述第三风机输入端与所述酸碱中和箱固定连接，所述第三风机输出端与所述保温箱固定连接。

16、在上述技术方案中，本发明提供的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，有益效果为：

17、（1）通过设置的换热室、换热管，能够将通过焚烧室高温焚烧后的气体输送至换热管内，然后在点火组件抽取外部空气时，通过分流管将一部分空气传输至换热室内，然后空气与换热管接触，将换热管内的热气吸收，然后通过导气管传输至保温箱内与未焚烧的废气进行混合，从而能够对废气进行充分预热，使其后续能够在焚烧室内充分燃烧。

18、（2）通过设置的螺旋型导流板，能够使得废气与加热后的空气通过螺旋型导流板在保温箱内进行螺旋流动，使得废气通过保温箱的速度减慢，延长废气与加热后的空气混合的时间，从而使得废气能够与加热后的空气进行充分混合，提高对废气的预热效果。

19、（3）通过设置的加热棒和陶瓷传热杆，能够在废气进入保温箱内时，通过启动加热棒，然后陶瓷传热杆将加热棒的热量传输至保温箱内对废气进行再次预热，且通过螺旋型导流板的金属材质，能够吸收陶瓷传热杆的热量，对流动的废气进行进一步预热，同时通过保温箱的空腔能够增加保温箱的保温效果。

技术特征：

1.一种用于电子半导体行业的废气处理系统，包括进气口（3）、过滤箱（1）、酸碱中和箱（6）、点火组件（11）和焚烧室（9），其特征在于，所述焚烧室（9）一侧设置有预热装置（7）、所述预热装置（7）包括保温箱（24）、换热室（12）、换热管（22）和导气管（14），所述换热室（12）固定安装在所述焚烧室（9）上侧，所述换热管（22）固定安装在所述换热室（12）内，所述导气管（14）一端与换热室（12）一侧固定连接，所述导气管（14）另一端与保温箱（24）一侧固定连接，所述保温箱（24）内壁周侧设置有陶瓷传热板（37），所述保温箱（24）内固定安装有陶瓷传热杆（26），所述陶瓷传热杆（26）周侧固定安装有螺旋型导流板（27），所述螺旋型导流板（27）外壁与陶瓷传热板（37）紧密贴合，所述陶瓷传热杆（26）内设置有加热棒（30），所述加热棒（30）与陶瓷传热杆（26）内壁紧密贴合，所述换热室（12）一侧固定安装有分流管（20），所述分流管（20）一侧与所述点火组件（11）相连接，所述换热管（22）一端与焚烧室（9）相连接，所述保温箱（24）外壁内部设置有空腔（29）。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述换热管（22）为多段连续弯曲形状，所述换热管（22）一端设置有排气口（13），所述排气口（13）位于所述换热室（12）上侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述点火组件（11）包括点火器（21）、燃料加注管（19）和第一风机（17），所述点火器（21）固定安装在所述焚烧室（9）内壁底部，所述燃料加注管（19）一端与所述点火器（21）一侧固定连接，所述第一风机（17）一侧设置有管道，所述第一风机（17）通过所述管道与所述点火器（21）固定连接，所述分流管（20）另一端与所述管道系相连接，所述第一风机（17）输入端设置有过滤进风口（18）。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述焚烧室（9）上侧设置有出气管（10），所述出气管（10）输出端与所述换热管（22）输入端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述焚烧室（9）一侧设置有连接口，所述保温箱（24）一侧设置有排气管（23），所述排气管（23）与所述焚烧室（9）一侧的连接口固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述进气口（3）设置在所述过滤箱（1）一侧，所述过滤箱（1）上侧设置有第二风机（5），所述第二风机（5）输出端固定安装有连接管（4），所述第二风机（5）输出端与所述过滤箱（1）相连通。

7.根据权利要求6所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述第二风机（5）通过连接管（4）与酸碱中和箱（6）一侧固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述过滤箱（1）内壁之间设置有第一过滤网（35）和第二过滤网（36），所述第一过滤网（35）位于所述第二过滤网（36）上侧，所述第一过滤网（35）的滤孔直径小于第二过滤网（36）的滤孔直径，所述过滤箱（1）内设置有清理组件（2）。

9.根据权利要求8所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述清理组件（2）包括水箱（31）、输送管（32）和喷水管（33），所述水箱（31）设置在所述过滤箱（1）一侧，所述水箱（31）通过所述输送管（32）与所述喷水管（33）固定连接，所述喷水管（33）固定安装在所述过滤箱（1）内，所述喷水管（33）位于所述第一过滤网（35）上侧，所述喷水管（33）下侧固定安装有多个雾化喷头（34），所述喷水管（33）整体为网格形状，所述过滤箱（1）一侧底部固定安装有排污管（15），所述排污管（15）一侧设置有阀门（16）。

10.根据权利要求1所述的一种用于电子半导体行业的废气处理系统，其特征在于，所述酸碱中和箱（6）一侧设置有第三风机（8），所述第三风机（8）输入端与所述酸碱中和箱（6）固定连接，所述第三风机（8）输出端与所述保温箱（24）固定连接。

技术总结本发明公开了一种用于电子半导体行业的废气处理系统，包括进气口、过滤箱、酸碱中和箱、点火组件和焚烧室，焚烧室一侧设置有预热装置、预热装置包括保温箱、换热室、换热管和导气管，换热室固定安装在焚烧室上侧，换热管固定安装在换热室内，导气管一端与换热室一侧固定连接，导气管另一端与保温箱一侧固定连接，保温箱内壁周侧设置有陶瓷传热板，保温箱内固定安装有陶瓷传热杆。本发明通过设置的换热室、换热管，能够将通过焚烧室高温焚烧后的气体输送至换热管内，然后在点火组件抽取外部空气时，通过分流管将一部分空气传输至换热室内，然后冷空气与换热管接触，将换热管内的热气吸收，然后通过导气管传输至保温箱内与未焚烧的废气进行混合。技术研发人员：陈龙亮受保护的技术使用者：广东泽铭生态环境科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5