一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒的制作方法

本技术涉及硅烷燃烧筒，具体为一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒。

背景技术：

1、硅烷废气是半导体制造行业中常见的废气之一，由于硅烷在半导体制造过程中广泛使用，导致了一定量的硅烷废气产生，硅烷废气主要由硅烷、氢气、氮气、甲烷等成分组成，其中硅烷是主要成分，占据了废气中的绝大部分，由于硅烷废气的高毒性和易燃性，对环境和人体健康造成了一定的威胁，因此需要采用硅烷燃烧筒对硅烷废气进行处理，以减少对环境和人的危害；

2、例如公告号为cn218209602u的授权专利(一种硅烷燃烧筒)：包括支撑柱，所述支撑柱的上半部之间连接有燃烧筒，所述燃烧筒的上部分开口连接有延长筒，且延长筒上固定安装有贯穿延长筒的排气管，所述延长筒的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽，且滑动槽内活动安装有铁丝筛网，所述延长筒的内腔相对于铁丝筛网的上方转动安装有旋转杆，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板，且支撑板的顶面相对于四个支撑柱之间安装有积灰箱；

3、上述现有技术虽然方便尽量减小烟灰出现结块，但是在对气体进行喷洒时需要从外部供水，不能对水体进行循环利用，浪费大量水资源，实用性差；因此市场急需研制一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒来帮助人们解决现有的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，以解决上述背景技术中提出的在对气体进行喷洒时需要从外部供水，不能对水体进行循环利用，浪费大量水资源，实用性差的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，包括处理筒，所述处理筒内部的底部固定安装有底块，所述底块的上端面为倾斜面，所述处理筒一侧的下方固定安装有循环箱，所述循环箱的内部分别设置有水腔和收集腔，且水腔位于收集腔的上方，所述水腔与处理筒连通，所述水腔的内部设置有过滤板，且过滤板与循环箱通过螺丝固定连接，所述水腔的内部沿收集腔的上方设置有导流板，所述导流板的下方固定安装有支撑柱，所述循环箱的上方固定安装有顶盖。

3、优选的，所述处理筒的内部固定安装有内封块，所述内封块的内部设置有置放凹槽，所述置放凹槽的内部设置有安放环板，所述安放环板的下方固定安装有过滤筒，所述过滤筒穿出内封块的内部。

4、优选的，所述处理筒的一侧沿循环箱的上方固定安装有增压泵，所述增压泵的一侧固定安装有抽水管，所述抽水管远离增压泵的一端插入循环箱的水腔的内部，所述增压泵的上方固定安装有供水管，所述供水管远离增压泵的一端延伸进处理筒的内部并插入过滤筒的内部，所述供水管的外侧固定安装有喷头，且喷头设置有多个。

5、优选的，所述处理筒的另一侧固定安装有燃烧箱，且处理筒与燃烧箱连通，所述燃烧箱的一侧固定安装有废气管，所述燃烧箱的一侧沿废气管的上方固定安装有空气管。

6、优选的，所述处理筒的内部沿燃烧箱的一侧固定安装有隔板。

7、优选的，所述处理筒的上方固定安装有排气管，所述处理筒内部的上方固定安装有除湿器。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1.该实用新型通过在处理筒的底部设置底块，且底块的上端面为倾斜面，使处理筒底部的水体能够向循环箱内流动，通过过滤板的作用，能够对水体进行过滤，使水体内粉末被阻留，干净水体穿过过滤板，实现对水体的过滤处理能力，方便在硅烷废气处理过程中，能够对处理用的水体进行循环利用，降低了对水资源的消耗，并且在处理筒的内部设置有收集腔，使水体内阻留的粉末能够落入收集腔内收集，方便粉末的统一清理，并在收集腔的顶部设置有导流板，可以降低水体从处理筒流入循环箱内时，对收集腔内的冲击，有利于粉末的稳定收集。

10、2.该实用新型通过在处理筒的内部设置内封块，并在内封块的内部设置有过滤筒，使得在硅烷废气燃烧后气体在向上流动时，通过过滤筒的作用，能够对气体进行过滤，对气体中的粉末进行阻留，实现了粉末气体的分离能力，防止硅烷废气燃烧处理后产生的粉末排出至空气中，降低了对空气的污染，增加了硅烷燃烧筒的实用性。

11、3.该实用新型通过燃烧箱的设置，在燃烧箱的一侧设置有空气管，方便外部空气向燃烧箱内输送，方便硅烷废气的燃烧处理，增加了硅烷燃烧筒的实用性。

技术特征：

1.一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，包括处理筒(1)，其特征在于：所述处理筒(1)内部的底部固定安装有底块(13)，所述底块(13)的上端面为倾斜面，所述处理筒(1)一侧的下方固定安装有循环箱(6)，所述循环箱(6)的内部分别设置有水腔(10)和收集腔(11)，且水腔(10)位于收集腔(11)的上方，所述水腔(10)与处理筒(1)连通，所述水腔(10)的内部设置有过滤板(12)，且过滤板(12)与循环箱(6)通过螺丝固定连接，所述水腔(10)的内部沿收集腔(11)的上方设置有导流板(19)，所述导流板(19)的下方固定安装有支撑柱(20)，所述循环箱(6)的上方固定安装有顶盖(18)。

2.根据权利要求1所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的内部固定安装有内封块(16)，所述内封块(16)的内部设置有置放凹槽(22)，所述置放凹槽(22)的内部设置有安放环板(23)，所述安放环板(23)的下方固定安装有过滤筒(17)，所述过滤筒(17)穿出内封块(16)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的一侧沿循环箱(6)的上方固定安装有增压泵(7)，所述增压泵(7)的一侧固定安装有抽水管(8)，所述抽水管(8)远离增压泵(7)的一端插入循环箱(6)的水腔(10)的内部，所述增压泵(7)的上方固定安装有供水管(9)，所述供水管(9)远离增压泵(7)的一端延伸进处理筒(1)的内部并插入过滤筒(17)的内部，所述供水管(9)的外侧固定安装有喷头(21)，且喷头(21)设置有多个。

4.根据权利要求1所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的另一侧固定安装有燃烧箱(2)，且处理筒(1)与燃烧箱(2)连通，所述燃烧箱(2)的一侧固定安装有废气管(3)，所述燃烧箱(2)的一侧沿废气管(3)的上方固定安装有空气管(4)。

5.根据权利要求1所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的内部沿燃烧箱(2)的一侧固定安装有隔板(14)。

6.根据权利要求1所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的上方固定安装有排气管(5)，所述处理筒(1)内部的上方固定安装有除湿器(15)。

技术总结本技术公开了一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，涉及硅烷燃烧筒技术领域，为解决现有技术中的在对气体进行喷洒时需要从外部供水，不能对水体进行循环利用，浪费大量水资源，实用性差的问题。所述处理筒内部的底部固定安装有底块，所述底块的上端面为倾斜面，所述处理筒一侧的下方固定安装有循环箱，所述循环箱的内部分别设置有水腔和收集腔，且水腔位于收集腔的上方，所述水腔与处理筒连通，所述水腔的内部设置有过滤板，且过滤板与循环箱通过螺丝固定连接，所述水腔的内部沿收集腔的上方设置有导流板，所述导流板的下方固定安装有支撑柱，所述循环箱的上方固定安装有顶盖。技术研发人员：邵震受保护的技术使用者：江苏超日净化科技有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/6/20