一种多工位加速度离心机的制作方法

本发明涉及实验设备，具体为一种多工位加速度离心机。

背景技术：

1、随着半导体的进一步快速和深入发展，业界对紫外，硅光电倍增管，激光二极管、光纤传感器等的要求也越来越高。考虑产品在日常使用过程中可能遇到包括冲击、振动、加速度等因素。因此很有必要使用稳态加速度离心机对器件进行恒定加速度试验，用于评估产品在长时间在离心力的作用下运行的可靠性以提前发现产品潜在问题。

2、根据中国专利公开号为cn113433351a，该专利提供一种半导体发光板的检测平台，其结构包括支撑架、机体、控制面板、检测台，所述机体和检测台底面焊接在支撑架顶部，所述控制面板设置在机体上表面，所述检测台位于机体右侧，所述检测台包括台体、电机、旋转板、检测器、保护机构，所述电机设置在台体内底部中心位置，所述旋转板底面中部与电机顶端活动配合，所述检测器位于旋转板上方，所述保护机构安装在台体中部内壁，且处于旋转板上方，由于旋转板上方的发光板受到旋转板的甩力作用位置发生偏移，出现发光板脱离旋转板上表面而掉落在检测台的内底部，通过保护机构的推杆将发光板推动复位，能够对发光板保护，减少发光板受到旋转板的甩力脱离旋转板表面，减少发光板损坏，有利于发光板正常使用。

3、上述利用旋转检测半导体板，旋转方式仅在单一的离心方向上实施，半导体制造的产品后续实际投入使用的过程中经常需要应对多方向产生的冲击、振动、加速度等因素，故而单一离心方向旋转检测难以满足多方向冲击、振动的实验需求，使得最终检测数据不够完善，而多方向的离心力检测在传统的加速度离心机内难以实现，同时多方向离心速度交替容易使半导体材料在离心检测过程中频繁振动，不仅会出现飞离料杯的风险，还因过度碰撞导致材料损坏。故而提出一种多工位加速度离心机来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种多工位加速度离心机，解决了半导体制造的产品会受到离心速度交替以及离心方向产生的冲击频繁振动，出现飞离料杯、过度碰撞损坏的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多工位加速度离心机，包括离心机本体、离心槽、转轴，控制部用于同步转轴的转速自适应调节对半导体材料的夹持紧度，防脱部用于防止半导体材料离心检测中频繁振动和飞脱，上料部用于同步转轴的转速自动调节另一个离心方向上的转速。

5、优选的，所述控制部包括套壳，所述套壳设置在离心槽内，所述套壳的外壁套设有环套，所述环套上开设有螺孔一，所述套壳上环绕开设有限位槽，所述转轴的底端套设有转套，所述转套的外壁环绕连接有铰接片，所述铰接片上铰接有伸缩杆，所述伸缩杆的内杆上连接有滑球，所述套壳的内壁滑动连接有滑壳，所述滑壳的外壁环绕连接有限位块，每个所述限位块分别滑动连接在对应的限位槽内，所述滑壳的内壁连接有环圈，所述环圈的底部开设有与滑球对应的滑道，所述滑球滑动连接在滑道内壁，所述滑壳的顶部连接有限位盘。

6、优选的，所述离心槽的内壁连接有底座，所述底座上开设有与螺孔一对应的螺纹槽一，所述套壳插接在底座的内壁，所述环套的螺孔一通过螺栓螺纹连接在底座的螺纹槽一上。

7、优选的，所述转轴的顶端安装有安装套，所述防脱部设置在安装套上，所述防脱部包括支板，所述支板的一侧与安装套的外壁固定连接，所述支板的两侧均连接有限位柱和限位垫，所述支板的顶部连接有支块，所述支块上通过合页铰接有挡块，所述支块上开设有螺孔二，所述挡块上开设有螺纹槽二，所述挡块的螺纹槽二通过螺栓与支块的螺孔二螺纹连接。

8、优选的，所述支板的两侧均通过插销铰接有摇臂，两个所述摇臂之间设置有连臂并通过连臂固定连接，两个所述摇臂的一端之间连接有连杆，所述连杆上转动套设有支臂一，所述支臂一远离连杆的一端上铰接有支臂二，所述支臂二远离支臂一的一端上安装有法兰盘，所述法兰盘上转动连接有盖盘，所述盖盘的外壁环绕连接有滑块。

9、优选的，所述防脱部的数量有四个，四个所述防脱部环绕安装在安装套的外壁，所述上料部设置在防脱部上。

10、优选的，所述上料部包括杯座，所述杯座安装在支板远离安装套的一侧，所述杯座的内壁贴合有料杯，所述料杯的杯口连接有环边，所述环边延伸至杯座的杯口外部，所述料杯和环边的内壁均开设有滑槽。

11、优选的，所述上料部的数量有四个，四个所述上料部分别安装在四个防脱部上，每个所述盖盘分别滑动连接在对应的料杯内壁，每个所述盖盘的滑块分别滑动连接在对应的滑槽内壁，每个所述挡块分别延伸至对应的环边顶部一侧。

12、优选的，每两个所述上料部中的两个杯座之间均连接有连接臂，所述离心槽的内壁连接有胶圈，四个所述上料部中的四个环边均与胶圈的内壁贴合。

13、优选的，所述离心槽均开设在离心机本体上，所述离心机本体上通过合页铰接有机盖，所述机盖遮挡离心槽，所述离心机本体上设置有控制面板。

14、(三)有益效果

15、与现有技术相比，本发明提供了一种多工位加速度离心机，具备以下有益效果：

16、1、该多工位加速度离心机，采用转轴高转速下，促使安装套上的四个上料部以转轴为轴心离心旋转进行测试，四个料杯提供四个工位提高检测数量和检测效率，料杯上的环边始终贴合胶圈，并通过与胶圈挤压产生的摩擦力，进一步地促使环边沿着胶圈内表面圆周运动的同时产生自旋转，从而令料杯在杯座内壁自旋转，实现工件在离心槽内进行两个离心方向同步检测，模拟工件在恶劣环境下的冲击、振动、加速度等受力影响，能更大限度地检测工件抗力程度，从而得到更加精确的检测数据。

17、2、该多工位加速度离心机，采用转轴高转速下，强离心力促使伸缩杆延长带动滑球，并推动滑壳上升对摇臂进行限位，随着离心力的增大半导体工件沿着料杯内壁偏移程度越大，利用限位盘限制摇臂翻转，促使盖盘始终压在料杯的内部限制半导体工件的偏移轨迹，料杯内部的半导体工件会因同时受到两个方向的力而产生振动，进一步利用盖盘对料杯进行封口，防止半导体材料离心检测中频繁振动和飞脱的风险。

18、3、该多工位加速度离心机，采用转轴高转速下，半导体工件所受离心力大且偏移量大，并且振动频率高，通过高转速下限位盘持续上升推动摇臂的弧形端上升，从而令摇臂带动支臂一和支臂二做曲线运动，继而推动盖盘深入料杯内，进一步地压紧半导体工件，控制部同步转轴的转速持续推动并限位摇臂翻转，进而促使摇臂在离心力的作用下自适应地调节盖盘对半导体材料的夹持紧度，降低半导体工件在强离心力下震动幅度，避免因震动造成半导体工件自身结构过度损伤。

技术特征：

1.一种多工位加速度离心机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述控制部(5)包括套壳(51)，所述套壳(51)设置在离心槽(2)内，所述套壳(51)的外壁套设有环套(52)，所述环套(52)上开设有螺孔一，所述套壳(51)上环绕开设有限位槽(53)，所述转轴(3)的底端套设有转套(54)，所述转套(54)的外壁环绕连接有铰接片，所述铰接片上铰接有伸缩杆(55)，所述伸缩杆(55)的内杆上连接有滑球(56)，所述套壳(51)的内壁滑动连接有滑壳(57)，所述滑壳(57)的外壁环绕连接有限位块(58)，每个所述限位块(58)分别滑动连接在对应的限位槽(53)内，所述滑壳(57)的内壁连接有环圈(59)，所述环圈(59)的底部开设有与滑球(56)对应的滑道，所述滑球(56)滑动连接在滑道内壁，所述滑壳(57)的顶部连接有限位盘(510)。

3.根据权利要求2所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述离心槽(2)的内壁连接有底座(4)，所述底座(4)上开设有与螺孔一对应的螺纹槽一，所述套壳(51)插接在底座(4)的内壁，所述环套(52)的螺孔一通过螺栓螺纹连接在底座(4)的螺纹槽一上。

4.根据权利要求3所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述转轴(3)的顶端安装有安装套(6)，所述防脱部(7)设置在安装套(6)上，所述防脱部(7)包括支板(71)，所述支板(71)的一侧与安装套(6)的外壁固定连接，所述支板(71)的两侧均连接有限位柱(72)和限位垫(73)，所述支板(71)的顶部连接有支块(74)，所述支块(74)上通过合页铰接有挡块(75)，所述支块(74)上开设有螺孔二，所述挡块(75)上开设有螺纹槽二，所述挡块(75)的螺纹槽二通过螺栓与支块(74)的螺孔二螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述支板(71)的两侧均通过插销铰接有摇臂(76)，两个所述摇臂(76)之间设置有连臂并通过连臂固定连接，两个所述摇臂(76)的一端之间连接有连杆，所述连杆上转动套设有支臂一(77)，所述支臂一(77)远离连杆的一端上铰接有支臂二(78)，所述支臂二(78)远离支臂一(77)的一端上安装有法兰盘(79)，所述法兰盘(79)上转动连接有盖盘(710)，所述盖盘(710)的外壁环绕连接有滑块(711)。

6.根据权利要求5所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述防脱部(7)的数量有四个，四个所述防脱部(7)环绕安装在安装套(6)的外壁，所述上料部(8)设置在防脱部(7)上。

7.根据权利要求6所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述上料部(8)包括杯座(81)，所述杯座(81)安装在支板(71)远离安装套(6)的一侧，所述杯座(81)的内壁贴合有料杯(82)，所述料杯(82)的杯口连接有环边(83)，所述环边(83)延伸至杯座(81)的杯口外部，所述料杯(82)和环边(83)的内壁均开设有滑槽(84)。

8.根据权利要求7所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述上料部(8)的数量有四个，四个所述上料部(8)分别安装在四个防脱部(7)上，每个所述盖盘(710)分别滑动连接在对应的料杯(82)内壁，每个所述盖盘(710)的滑块(711)分别滑动连接在对应的滑槽(84)内壁，每个所述挡块(75)分别延伸至对应的环边(83)顶部一侧。

9.根据权利要求8所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：每两个所述上料部(8)中的两个杯座(81)之间均连接有连接臂(9)，所述离心槽(2)的内壁连接有胶圈(10)，四个所述上料部(8)中的四个环边(83)均与胶圈(10)的内壁贴合。

10.根据权利要求9所述的一种多工位加速度离心机，其特征在于：所述离心槽(2)均开设在离心机本体(1)上，所述离心机本体(1)上通过合页铰接有机盖，所述机盖遮挡离心槽(2)，所述离心机本体(1)上设置有控制面板。

技术总结本发明涉及实验设备技术领域，且公开了一种多工位加速度离心机，包括离心机本体，离心槽，转轴，控制部用于同步转轴的转速自适应调节对半导体材料的夹持紧度，采用转轴高转速下，促使安装套上的四个上料部以转轴为轴心离心旋转进行测试，四个料杯提供四个工位提高检测数量和检测效率，料杯上的环边始终贴合胶圈，并通过与胶圈挤压产生的摩擦力，进一步地促使环边沿着胶圈内表面圆周运动的同时产生自旋转，从而令料杯在杯座内壁自旋转，实现工件在离心槽内进行两个离心方向同步检测，模拟工件在恶劣环境下的冲击、振动、加速度等受力影响，能更大限度地检测工件抗力程度，从而得到更加精确的检测数据。技术研发人员：方方,林凯旋,熊国庆受保护的技术使用者：广东金鉴实验室科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/26